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49
突破精度极限:LTC100光谱共焦位移传感器——国产高精度测量的新标杆30nm精度
2024
-
11
-
20
在当今精密制造与检测领域,对微小尺寸变化的精确测量需求日益增长。特别是在半导体制造、微纳加工、光学元件检测等高端应用中,对测量误差的严格要求往往达到纳米级。面对这一挑战,国内自主研发的LTC100光谱共焦位移传感器以其卓越的性能脱颖而出,不仅实现了30nm以下的测量误差,还保证了光斑直径小于2μm,为高精度测量领域树立了新的国产标杆。技术亮点:超高精度测量:LTC100采用先进的光谱共焦技术,通过精确控制光源发射的多波长光束与被测物体表面反射光之间的干涉现象,实现位移的高精度测量。其核心算法通过复杂的光谱分析与相位解调技术,有效消除了环境干扰和系统误差,确保测量误差稳定控制在30nm以下。微小光斑设计:传感器内置的精密光学系统采用高数值孔径物镜,结合优化的光束整形技术,实现了小于2μm的光斑直径,使得在微小结构或特征上的测量成为可能,显著提高了测量的空间分辨率。测试数据与算法公式:LTC100的性能验证基于严格的实验室测试与现场应用反馈。以下为其关键测试数据:线性度:在0-10mm测量范围内,线性偏差小于±5nm,确保测量的稳定性和可靠性。重复性:连续测量同一位置100次,标准差小于10nm,证明其高重复性和一致性。分辨率:理论上可达0.1nm,实际测量中受环境因素影响,但依旧保持在1nm左右,远超行业平均水平。核心算法公式简述如下:d=2λ0⋅2πΔϕ其中,d为被测位移...
50
泓川科技 LTP 系列激光位移传感器全国产化制造流程细节全披露
2025
-
06
-
22
一、国产化背景与战略意义在全球供应链竞争加剧的背景下,激光位移传感器作为工业自动化核心测量部件,其国产化生产对打破技术垄断、保障产业链安全具有重要战略意义。泓川科技 LTP 系列依托国内完整的光学、电子、机械产业链体系,实现了从核心零部件到整机制造的全流程国产化,彻底解决了接口卡脖子问题,产品精度与稳定性达到国际先进水平,同时具备更强的成本竞争力与定制化服务能力。二、核心部件全国产化组成体系(一)光学系统组件激光发射单元激光二极管:采用深圳镭尔特光电 655nm 红光 PLD650 系列(功率 0.5-4.9mW)及埃赛力达 905nm 红外三腔脉冲激光二极管,支持准直快轴压缩技术,波长稳定性 ±0.1nm,满足工业级高稳定性需求。准直透镜:选用杭州秋籁科技 KEWLAB CL-UV 系列,表面粗糙度 光学滤光片:深圳激埃特光电定制窄带滤光片,红外截止率 99.9%,有效消除环境光干扰。激光接收单元光电探测器:上海欧光电子代理 OTRON 品牌 PSD 位置敏感探测器,分辨率达 0.03μm(如 LTPD08 型号),北京中教金源量子点探测器正在实现自主替代。聚焦透镜组:福州合创光电高精度分光棱镜,偏振消光比 1000:1,配合广州明毅电子阳极氧化支架,确保光路同轴度≤5μm。(二)电子电路组件信号处理模块微处理器:龙芯中科 3A5000 工业级芯片,支持 - 40℃...
51
基于非接触传感器的材料单双张检测方案
2023
-
09
-
30
引言:在搬送薄片材料时,准确辨别材料的单双张对于生产流程的顺利进行至关重要。即使材料的材质发生了变化,我们仍然可以利用非接触传感器实现稳定的检测。本文介绍了两种常用方式:激光位移传感器和超声波传感器,在机械搬运过程中通过测量材料的厚度来判断其单双张状态。主体:1. 激光位移传感器方案:(a)准备工作:安装两个激光位移传感器,使其形成对射式布置。在中间放置一张标准厚度的材料,并通过上位机软件进行校准设定。(b)测量与校准:激光位移传感器通过测量材料的厚度,获得距离总和,并与设定的固定差值进行比较。当机械搬运过程中出现误差导致厚度与之前的距离数据明显不同时,激光位移传感器将发出错误信号,指示材料为双张状态。2. 超声波传感器方案:(a)准备工作:使用对射式超声波传感器,并先安装一张标准材料来校准基准能量。(b)测量与判断:超声波传感器利用能量穿透原理,通过测量接收端收取到的能量来判断材料的状态。当材料为单张时,接收端将收到接近基准值的能量;而当材料为双张或多张时,接收端收到的能量明显小于标准值,此时超声波传感器将发出报警信号。3. 激光位移传感器方案的优势:- 高精度测量:激光位移传感器具有高精度,可以精确测量材料的厚度变化,从而能够准确判断材料的单双张状态。- 实时监测:传感器反应速度快,并可以实时检测材料的厚度变化,确保在搬运过程中能够及时发现错误信号并进行处理。- 非接触式:激光...
52
光谱共焦位移传感器的那些事儿
2024
-
12
-
22
引言光谱共焦传感器凭借非接触、高精度、高效率等优势,成为几何量精密测量的前沿技术。本文将从原理到应用,系统解析这一技术的核心价值与发展趋势。一、核心工作原理:当光波成为标尺1.1 光波与位移的精准映射通过色散物镜将宽光谱光源分解为不同波长的光,各波长光在轴向形成阶梯状焦点阵列。当物体表面反射特定波长时,光谱仪捕捉该波长,通过预设的波长-位移对应模型实现亚微米级定位。1.2 关键技术突破轴向色散线性度:通过组合SKIO、H-ZLAF52A等特殊玻璃材料,实现波长与位移判定系数R²0.97的线性关系衍射极限优化:ZEMAX仿真优化后,焦点RMS半径低至1.552μm(文献案例)抗干扰设计:棱镜-光栅分光技术消除谱线弯曲,提升检测稳定性二、核心组件架构组件功能特性技术指标案例宽光谱光源覆盖450-700nm波段色散范围达3.9mm(超大量程型号)色散物镜正负透镜组分离结构2mm量程下数值孔径0.3,FWHM光谱检测仪高速CCD/CMOS传感器线扫描速率达24mm/s,分辨率0.8μm三、扫描方式演进3.1 点扫描(传统方案)优势:单点精度达纳米级局限:10mm线长扫描耗时分钟级,数据重构复杂3.2 线扫描(革新方案)效率提升:单次扫描覆盖24mm线长,较点扫描提速300%工业适配:3mm轴向量程满足多数工业件检测需求四、应用场景全景图4.1 当前主流应用微观检测:半导体晶圆表面...
53
光谱共焦传感器在IC芯片测量领域的应用剖析(下)
2025
-
01
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20
五、应用优势深度解析5.1 提升测量精度与效率光谱共焦传感器在 IC 芯片测量中,能够实现快速、高精度的测量,这一特性极大地提升了生产效率。其工作原理基于独特的光学共焦成像和光谱解析技术,使其能够精准地捕捉到芯片表面的细微特征和尺寸变化。在测量芯片关键尺寸时,如线宽和间距,光谱共焦传感器可以达到亚微米级甚至更高的精度,能够精确测量出极其微小的尺寸偏差,为芯片制造工艺的精细控制提供了有力保障。同时,该传感器具备快速的数据采集和处理能力。在实际生产线上,它可以在短时间内对大量芯片进行测量,大大减少了检测时间。与传统测量方法相比,光谱共焦传感器能够实现自动化、连续测量,无需人工频繁干预,有效提高了生产效率,满足了大规模生产对测量速度和精度的双重要求。 5.2 降低成本与风险采用光谱共焦传感器进行 IC 芯片测量,有助于显著降低生产成本与风险。一方面,高精度的测量能够有效减少因尺寸偏差或其他质量问题导致的废品率。在芯片制造过程中,废品的产生不仅意味着原材料的浪费,还会增加后续的返工成本和时间成本。光谱共焦传感器通过精确检测,能够及时发现芯片制造过程中的问题,帮助制造商在早期阶段采取纠正措施,避免生产出大量不合格产品,从而降低了废品率,节约了生产成本。另一方面,通过对芯片制造过程的实时监测和反馈,光谱共焦传感器能够帮助制造商优化生产工艺,提高生产效率,减少不必要的资源浪费。例如,在...
54
蓝光光源激光位移传感器:优势、原理与特殊场景解决方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制方案解析
2025
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10
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21
在工业精密测量中,传统红光激光位移传感器常受高反射、半透明、高温红热等特殊场景限制,而蓝光光源(405nm 波长)凭借独特物理特性实现突破。以下通过 “一问一答” 形式,详解蓝光传感器的优势、原理构造,并结合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解决特殊环境测量难题。1. 蓝光光源激光位移传感器相比传统红光,核心优势是什么?蓝光传感器的核心优势源于 405nm 波长的物理特性,相比传统 655nm 左右的红光,主要体现在三方面:更高横向分辨率:根据瑞利判据,光学分辨率与波长成反比。蓝光波长仅为红光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光学系统下横向分辨率可提升约 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 蓝光版光斑最小达 Φ18μm),适配芯片针脚、晶圆等微米级结构测量。更强信号稳定性:蓝光单光子能量达 3.06eV,远高于红光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡胶、有机涂层)表面,能激发出更强散射信号;同时穿透性更低,仅在材料表层作用,避免内部折射干扰,适合表面精准测量。更优抗干扰能力:蓝光波段与红热辐射(500nm 以上)、户外强光(可见光为主)重叠度低,搭配专用滤光片后,可有效隔绝高温物体自发光、阳光直射等干扰,这是红光难以实现的。2. 蓝光激光位移传感器的原理构造是怎样的?为何能实现高精度测量?蓝光传感器的高精度的核心是 “光学设计 + 信号处理 + ...
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激光位移传感器在汽车行业各种应用案例
2023
-
02
-
20
1、激光位移传感器在轮胎转速测量中有重要作用。通常,一台汽车的轮胎都包含有激光位移传感器,它可以准确地测量出车轮的输出速度。该传感器利用轮胎上绕着水平或垂直线的激光点来测量轮胎行驶距离和变速器输出转速,从而确定变速比。此外,它还能准确地测量车轮上的前后运动,特别是对于汽车行驶的直线行驶和转弯的控制都有着重要的作用。2、激光位移传感器在防撞技术中也得到了广泛应用。它通常会被安装在前脸和侧面,通过测量前脸物体和周围物体的距离来调整外防撞车身和限速 门控驾驶,从而有效地防止汽车发生碰撞,保护汽车行驶的安全。 3、激光位移传感器在停车技术中也得到了广泛应用。它不仅可以测量汽车行驶距离、角度和速度,还可以准确地记录汽车在停车时的位置,并在遇到障 害的情况下立即触发保护电路或自动脱离,从而避免发生碰撞事故。 4、激光位移传感器也被广泛用于汽车行驶辅助系统中,它可以准确地测量出汽车行驶距离、方向及车速, 为汽车驾驶员提供实时信息,以增加驾驶操控质量,帮助驾驶员进行准确的行驶安排和调整。 5、激光位移传感器也在汽车悬挂系统中得到应用,它可以测量每个车轮的距离及方向,并建立一个三维的实时图像 。这种三维的实时图像可以非常准确地反映出汽车悬挂系统的表现,从而使汽车行驶的平稳性和操控性都大大提高。6、激光位移传感器还可用于汽车智能辅助驾驶系统中, 这种系统结合了导航、安全显...
56
汽车发动机缸孔内壁瑕疵检测报告--激光光纤内孔内管孔壁测量仪
2024
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11
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24
样品检查报告书添加图片注释,不超过 140 字(可选)□ 全部可检出 □ 全部可检出(存在过度判定) ■ 部分可检出(6个孔中有2个可检出) □ 不可检出 □ 需要追加检查检查结果】由于未收到客户对于本次检查对象孔洞的判定结果,我们已通过⽬视确认将可⻅的划痕作为缺陷进⾏了检测。在6个被检孔洞中,有2个孔洞通过⽬视检测到了可⻅的划痕。剩余的4个孔洞,⽆论是通过⽬视还是数据分析,均未发现划痕或其他缺陷,因此未检出。(请参考第5⻚及之后的成像数据)【制造商意⻅】请客户也确认本次检测出的缺陷部位是否符合缺陷规格,即这些是否确实为应检出的缺陷。另外,在检测出缺陷的第②和第⑤个⼯作件中,还存在对⾮缺陷部位的误检。如果是在清洗前的状态下进⾏检查,由于污垢的附着,可能会导致难以捕捉到真正的缺陷部位,或者像本次⼀样,将污垢误判为缺陷。因此,如果考虑引⼊系统进⾏检测,请考虑将其安排在清洗后的⼯序中进⾏。此外,关于④A和④B两个孔洞,由于本次提供了切割⼯作件作为样本,因此能够进⾏拍摄。但在正规产品中,可能会因为探头⽀架等部件的接触⽽⽆法进⾏全⻓度的检查。考虑到实际的检查环境,我们认为有必要评估在产品状态下进⾏检查的可⾏性。(详情请参阅第3⻚)【后续推进⽅案】基于本次结果,如果您考虑引⼊内孔瑕疵检测系统,我们⾸先建议在图纸上评估④A和④B部位在产品状态下是否可以进⾏检查,并随后进⾏n次追加验证(有偿)。在...
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蓝光光源激光位移传感器:优势、原理与特殊场景解决方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制...
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在工业精密测量中,传统红光激光位移传感器常受高反射、半透明、高温红热等特殊场景限制,而蓝光光源(405nm 波长)凭借独特物理特性实现突破。以下通过 “一问一答” 形式,详解蓝光传感器的优势、原理构造,并结合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解决特殊环境测量难题。1. 蓝光光源激光位移传感器相比传统红光,核心优势是什么?蓝光传感器的核心优势源于 405nm 波长的物理特性,相比传统 655nm 左右的红光,主要体现在三方面:更高横向分辨率:根据瑞利判据,光学分辨率与波长成反比。蓝光波长仅为红光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光学系统下横向分辨率可提升约 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 蓝光版光斑最小达 Φ18μm),适配芯片针脚、晶圆等微米级结构测量。更强信号稳定性:蓝光单光子能量达 3.06eV,远高于红光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡胶、有机涂层)表面,能激发出更强散射信号;同时穿透性更低,仅在材料表层作用,避免内部折射干扰,适合表面精准测量。更优抗干扰能力:蓝光波段与红热辐射(500nm 以上)、户外强光(可见光为主)重叠度低,搭配专用滤光片后,可有效隔绝高温物体自发光、阳光直射等干扰,这是红光难以实现的。2. 蓝光激光位移传感器的原理构造是怎样的?为何能实现高精度测量?蓝光传感器的高精度的核心是 “光学设计 + 信号处理 + ...
泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览
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高精度测量传感器全系列:赋能精密制造,适配多元检测需求聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点,我们推出全系列高性能测量传感器,覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景,以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心,为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍:1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器:半导体材料测厚专属核心用途:专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料设计,精准实现晶圆等器件的厚度测量。性能优点:精度卓越:±0.1μm 线性精度 + 2nm 重复精度,确保测量数据稳定可靠;量程适配:覆盖 10μm2mm 测厚范围,满足多数半导体材料检测需求;高效高速:40kHz 采样速度,快速捕捉厚度数据,适配在线检测节奏;灵活适配:宽范围工作距离设计,可灵活匹配不同规格的检测设备与场景。2. 分体式对焦传感器:半导体 / 面板缺陷检测的 “高速对焦助手”核心用途:针对半导体、面板领域的高精度缺陷检测场景,提供高速实时对焦支持,尤其适配显微对焦类检测设备。性能优点:对焦速度快:50kHz 高速对焦,同步匹配缺陷检测的实时性需求;对焦精度高:0.5μm 对焦精度,保障缺陷成像清晰、检测无偏差;设计灵活:分体式结构,可根据检测设备的安装空间与布局灵活调整,降低适配难度。3. LT-R 反射膜厚仪:极薄膜厚检测的 “精密管家”核心用途:专注于极薄膜...
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泓川科技激光位移传感器产品技术报告尊敬的客户: 感谢您对泓川科技激光位移传感器产品的关注与信任。为帮助您全面了解我司产品,现将激光位移传感器相关技术信息从参数指标、设计原理、结构设计等八大核心维度进行详细说明,为您的选型、使用及维护提供专业参考。一、参数指标我司激光位移传感器涵盖 LTP400 系列与 LTP450 系列,各型号核心参数经纳米级高精度激光干涉仪标定验证,确保数据精准可靠,具体参数如下表所示:表 1:LTP400EA参数表参数类别具体参数LTP400EA备注基础测量参数测量中心距离400mm以量程中心位置计算(*1)量程200mm-重复精度(静态)3μm测量标准白色陶瓷样件,50kHz 无平均,取 65536 组数据均方根偏差(*2)线性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用纳米级激光干涉仪标定(*3)光源与光斑光源类型-激光功率可定制,部分型号提供 405nm 蓝光版本(*4)光束直径聚焦点光斑 Φ300μm中心位置直径,两端相对变大(*5)电气参数电源电压DC9-36V-功耗约 2.5W-短路保护反向连接保护、过电流保护-输出与通信模拟量输出(选配)电压:0-5V/010V/-1010V;电流:420mA探头可独立提供电压、电流与 RS485 输出(*6)通讯接口RS485 串口、TCP/IP 网口可选配模拟电压 / 电流输出模块(*7)响应...
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