超高精度激光位移传感器 - 高速高频激光位移传感器 - 高精度激光测距传感器无锡泓川科技有限公司

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激光位移传感器如何对薄膜进行测厚？

2023 - 03 - 09

激光位移传感器被广泛应用于各种领域中。其中一个很有用的应用是测量薄膜厚度。这种传感器可以在离表面很近的距离下进行高精度测量，因此非常适合这种应用。本文将介绍激光位移传感器如何用于测量薄膜厚度，包括测量方法、测量原理和市场应用。一、测量方法测量薄膜厚度的基本思路是利用激光位移传感器测量薄膜前后表面的距离差，然后通过几何公式计算出薄膜厚度。在实际操作中，测量方法大致可分为以下几种：1. 手持式测量手持式测量通常用于快速的现场检测。用户只需要将激光位移传感器靠近待测表面，然后通过读取显示屏上的数值判断薄膜厚度是否符合要求。这种方法不需要复杂的设备和步骤，非常易于使用。但是由于人手的震动和误差等因素，手持式测量的精度相对较低，只适用于需求不是特别高的场合。2. 自动化在线测量自动化在线测量一般用于工业生产线上的质量控制。这种方法需要将激光位移传感器与自动化设备相连接，将测量数据传递给计算机进行分析。在这种情况下，测量过程可以完全自动化，精度也可以得到保证。但是相对于手持式测量来说，这种方法需要的设备和技术要求更高，成本也更高。3. 显微镜下测量显微镜下测量常用于对细小薄膜厚度的测量。在这种情况下，用户需要将激光位移传感器与显微镜相结合进行测量。由于显微镜的存在，可以大大增强测量精度。但是相对于其他两种方法，这种方法需要的设备更多，并且技巧要求也更高。二、测量原理激光位移传感器利用的是激光三...
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光学传感器：薄膜涂布生产工艺的革新驱动力（下）

2025 - 01 - 14

四、光学传感器应用对薄膜涂布生产的影响4.1 提升生产效率4.1.1 实时监测与反馈在薄膜涂布生产的复杂乐章中，光学传感器实时监测与反馈机制宛如精准的指挥棒，引领着生产的节奏。凭借其卓越的高速数据采集能力，光学传感器能够如同闪电般迅速捕捉涂布过程中的关键参数变化。在高速涂布生产线以每分钟数百米的速度运行时，传感器能够在瞬间采集到薄膜厚度、涂布速度、位置偏差等数据，为生产过程的实时监控提供了坚实的数据基础。这些采集到的数据如同及时的情报，被迅速传输至控制系统。控制系统则如同智慧的大脑，对这些数据进行深入分析。一旦发现参数偏离预设的理想范围，控制系统会立即发出指令，如同指挥官下达作战命令，对涂布设备的相关参数进行精准调整。当检测到薄膜厚度略微超出标准时，控制系统会迅速调整涂布头的压力，使涂布量精确减少，确保薄膜厚度回归正常范围。这种实时监测与反馈机制的存在，使得生产过程能够始终保持在最佳状态。它避免了因参数失控而导致的生产中断和产品质量问题，如同为生产线安装了一个智能的 “稳定器”。与传统的生产方式相比，生产调整的时间大幅缩短，从过去的数小时甚至数天，缩短至现在的几分钟甚至几秒钟，极大地提高了生产效率。4.1.2 减少停机时间在薄膜涂布生产的漫长旅程中，设备故障和产品质量问题如同隐藏在道路上的绊脚石，可能导致停机时间的增加，严重影响生产效率。而光学传感器的实时监测功能，就像一位警惕的卫...
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详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

2023 - 09 - 16

大家好，今天给大家详细说明下目前我们市面上用的激光位移传感器内部构造及详细原理、应用、市场种类、及未来发展，我在网上搜索了很多资料，发现各大平台或者厂商提供的信息大多千篇一律或者式只言片语，要么是之说出大概原理，要买只讲出产品应用，对于真正想了解激光位移传感器三角回差原理的朋友们来说总是没有用办法说透，我今天花点时间整理了各大平台的大牛们的解释，再结合自己对产品这么多年来的认识，整理出以下这篇文章，希望能给想要了解这种原理的小伙伴一点帮助！好了废话不多说我们直接上干货首先我们要说明市面上的激光测量位移或者距离的原理有很多，比如最常用的激光三角原理，TOF时间飞行原理，光谱共焦原理和相位干涉原理，我们今天给大家详细介绍的是激光三角测量法和激光回波分析法，激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量，而激光回波分析法则用于远距离测量，下面分别介绍激光三角测量原理和激光回波分析原理。让我们给大家分享一个激光位移传感器原理图，一般激光位移传感器采用的基本原理是光学三角法：半导体激光器：半导体激光器①被镜片②聚焦到被测物体⑥。反射光被镜片③收集，投射到CMOS阵列④上；信号处理器⑤通过三角函数计算阵列④上的光点位置得到距物体的距离。一、激光位移传感器原理之激光三角测量法原理1．激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面，经物体反射的激光通过接收器镜头，被内部的CCD线性相机接收，根据...
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白光干涉测厚传感器在晶圆水膜厚度测量中的应用及操作步骤详解

2024 - 01 - 21

白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备，广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理，通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光（白光）投射到待测薄膜表面上，并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射，两个反射面之间的光程差会导致不同波长（颜色）的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱，可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度测量中具有以下优势：1. 测量范围广：能够测量几微米到1mm左右范围的厚度。2. 小光斑和高速测量：采用SLD（Superluminescent Diode）作为光源，具有小光斑和高速测量的特点，能够实现快速准确的测量。下面是使用白光干涉测厚仪测量晶圆上水膜厚度的详细步骤：1. 准备工作：确保待测晶圆样品表面清洁平整，无杂质和气泡。2. 参数设置：调整白光干测厚涉仪到合适的工作模式，并确定合适的测量参数和光学系统设置。根据具体要求选择光谱范围、采集速度等参数。3. 样品放置：将待测晶圆放置在白光干涉测厚仪的测量台上，并固定好位置，使其与光学系统保持稳定的接触。确保样品与测量台平行，并避免外界干扰因素。4. 启动测量：启动白光干涉测厚仪，开始测量水膜厚度。通过记录和分析返回光的光谱，可以得到晶圆上水膜的厚度信息。可以通过软件实时显示和记录数据。5. 连续监测：对于需要连续监测晶圆上水膜厚度变...
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泓川科技LTC2600与基恩士CL-P015光谱共焦传感器全方位对比及国产替代

2025 - 03 - 22

一、核心性能参数对比：精度与场景适配性参数泓川科技LTC2600（标准版）泓川LTC2600H（定制版）基恩士CL-P015（标准版）参考距离15 mm15 mm15 mm测量范围±1.3 mm±1.3 mm±1.3 mm光斑直径9/18/144 μm（多模式）支持定制（最小φ5 μm）ø25 μm（单点式）重复精度50 nm50 nm100 nm线性误差±0.49 μm（标准模式）分辨率0.03 μm0.03 μm0.25 μm（理论值）防护等级IP40IP67（定制）IP67耐温范围0°C ~ +50°C-20°C ~ +200°C（定制）0°C ~ +50°C真空支持不支持支持（10^-3 Pa，定制）支持（10^-6 Pa，标准版）重量228 g250 g（高温版）180 g性能深度解析精度碾压：LTC2600的重复精度（50 nm）显著优于CL-P015（100 nm），线性误差（光斑灵活性：LTC2600支持多光斑模式（最小φ5 μm定制），可兼顾微小目标检测与粗糙面稳定性；CL-P015仅提供单点式光斑（ø25 μm），适用场景受限。环境适应性：CL-P015标准版支持超高真空（10^-6 Pa），但C2600通过...
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激光测量技术在（ADAS）驾驶辅助系统的应用案例（一）

2025 - 01 - 16

一、引言1.1 研究背景与目的在汽车行业迈向智能化与自动化的进程中，先进驾驶辅助系统（ADAS）作为关键技术，正发挥着愈发重要的作用。ADAS 凭借多种传感器与智能算法，能够实时监测车辆周边环境，为驾驶员提供预警与辅助控制，极大地提升了驾驶的安全性与舒适性。本报告旨在深入剖析《ADAS 相关工具核心功能 & 技术》中所涉及的 ADAS 相关工具应用案例，通过详细描述各案例的具体应用场景、工作原理及达成的效果，深度挖掘这些工具在汽车制造及 ADAS 系统开发过程中的重要价值，为行业内相关人员提供具有实际参考意义的信息，助力推动 ADAS 技术的进一步发展与广泛应用。 1.2 研究方法与数据来源本报告通过对《ADAS 相关工具核心功能 & 技术》进行全面细致的整理与深入分析，从中系统地提取出各类 ADAS 相关工具的应用案例。在分析过程中，对每个案例的技术原理、应用场景以及所实现的功能进行了详细阐述，并结合实际情况进行了深入探讨。本文所引用的 ADAS 相关工具的应用案例及技术原理均来自《ADAS 相关工具核心功能 & 技术》文档，该文档为此次研究提供了丰富且详实的一手资料，确保了研究的准确性与可靠性。二、车载相机应用案例剖析2.1 底部填充胶涂抹高度测量2.1.1 案例描述在汽车电子制造中，车载相机的底部填充胶涂抹高度对于确保相机的...
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国产工业光学传感器大致现状

2023 - 03 - 20

介绍工业光电传感器是现代制造业中最常用的检测设备之一，广泛应用于自动化生产线、机械加工、装配、物流搬运等行业。随着国民经济的不断发展，中国的工业光电传感器制造业也不断发展壮大，成为制造业的一支重要力量。本文旨在对中国产的工业光电传感器现状进行描述。发展历史20世纪80年代初期，我国的工业自动化程度比较低，大部分生产线仍采用人力操作，制造业存在高人力成本、低效率、品质难以保证等问题。为了提高制造业的效率和品质，中国开始引入外国的工业自动化设备，其中就包括工业光电传感器。80年代中后期，国内开始试水制造工业光电传感器，并逐步发展壮大。90年代初期，随着国民经济的增长和工业自动化的加速推进，中国的工业光电传感器制造业进入快速发展期。如今，中国的工业光电传感器制造业已经处于全球领先地位，成为世界闻名的光电传感器生产基地之一。产业链分析商业模式中国的工业光电传感器制造业商业模式主要是以生产销售为主，较少采用研发生产销售一体化模式。生产企业主要供应给自动化设备制造商，然后这些自动化设备制造商销售给最终用户，最终用户则使用这些设备来自动化生产线。除此之外，还有一些企业将工业光电传感器产品应用到自己的设备制造中，以提高自己产品的品质和效率，然后再将自己的产品销售给最终用户。在商业模式上，中国的工业光电传感器制造业与欧美等发达国家还存在一定的差距。技术研发中国的工业光电传感器制造业在技术研发方面逐渐...
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泓川科技国产激光位移传感器HCM系列深度剖析与前景洞察

2025 - 01 - 22

一、引言1.1 研究背景与目的在当今科技迅猛发展的时代，传感器作为获取信息的关键设备，在工业自动化、智能制造、航空航天、汽车制造等众多领域中发挥着不可或缺的重要作用。激光位移传感器凭借其高精度、非接触式测量、快速响应等显著优势，成为了现代精密测量领域的核心设备之一。近年来，随着国内制造业的转型升级以及对高精度测量需求的不断攀升，我国传感器市场呈现出蓬勃发展的态势。然而，长期以来，高端激光位移传感器市场大多被国外品牌所占据，这不仅限制了国内相关产业的自主发展，还在一定程度上影响了国家的产业安全。在此背景下，国产激光位移传感器的研发与推广显得尤为重要。本研究聚焦于国产激光位移传感器 HCM 系列，旨在深入剖析该系列产品的技术特点、性能优势、应用场景以及市场竞争力。通过对 HCM 系列产品的全面研究，期望能够为相关行业的企业提供有价值的参考依据，助力其在设备选型、技术升级等方面做出更为明智的决策。同时，本研究也希望能够为推动国产激光位移传感器行业的发展贡献一份力量，促进国内传感器产业的技术进步与创新，提升我国在高端传感器领域的自主研发能力和市场竞争力。1.2 研究方法与数据来源本研究综合运用了多种研究方法，以确保研究的全面性、准确性和可靠性。在研究过程中，首先进行了广泛的文献研究，收集并深入分析了国内外关于激光位移传感器的学术论文、行业报告、专利文献等资料，从而对激光位移传感器的发展历程...

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泓川科技的光学楞镜如何解决光谱共焦传感器在狭小空间中大量程测量的难题？ 2025 - 08 - 12 在半导体芯片制造、精密电子组装等高端工业场景中，一个棘手的矛盾始终存在：一方面，设备内部空间日益紧凑，毫米级的安装高度都可能成为 “禁区”；另一方面，随着产品结构复杂化，对测量量程的需求不断提升，5mm 以上的大量程检测已成为常态。如何在狭小空间内实现大量程精密测量？无锡泓川科技给出了突破性答案 ——光学转折镜，以创新设计让光谱共焦传感器的测量方向 “直角转向”，既节省安装空间，又兼容大量程需求，重新定义精密测量的空间可能性。传统方案的痛点：空间与量程难以两全在精密测量领域，侧出光传感器曾是狭小空间的 “救星”。泓川科技旗下 LTCR 系列作为 90° 侧向出光型号，凭借紧凑设计广泛应用于深孔、内壁等特征测量。但受限于结构设计，其量程多集中在 2.5mm 以内（如 LTCR4000 量程为 ±2mm），难以满足半导体晶圆厚度、大型精密构件高度差等大量程场景的需求。若选择传统端面出光的大量程传感器（如 LTC10000 量程 ±5mm、LTC20000 量程 ±10mm、LTC50000 量程 ±25mm），虽能覆盖测量需求，却因轴向出光设计需预留足够安装高度，在半导体设备的密闭腔室、精密仪器的紧凑模组中 “寸步难行”。空间与量程，似乎成了不可调和的矛盾。光学转折镜：让大量程探头 “直角转身”，释放空间潜力泓川科技创新研发的光学转折镜...

泓川科技 LTP 系列激光位移传感器全国产化制造流程细节全披露 2025 - 06 - 22 一、国产化背景与战略意义在全球供应链竞争加剧的背景下，激光位移传感器作为工业自动化核心测量部件，其国产化生产对打破技术垄断、保障产业链安全具有重要战略意义。泓川科技 LTP 系列依托国内完整的光学、电子、机械产业链体系，实现了从核心零部件到整机制造的全流程国产化，彻底解决了接口卡脖子问题，产品精度与稳定性达到国际先进水平，同时具备更强的成本竞争力与定制化服务能力。二、核心部件全国产化组成体系（一）光学系统组件激光发射单元激光二极管：采用深圳镭尔特光电 655nm 红光 PLD650 系列（功率 0.5-4.9mW）及埃赛力达 905nm 红外三腔脉冲激光二极管，支持准直快轴压缩技术，波长稳定性 ±0.1nm，满足工业级高稳定性需求。准直透镜：选用杭州秋籁科技 KEWLAB CL-UV 系列，表面粗糙度光学滤光片：深圳激埃特光电定制窄带滤光片，红外截止率 99.9%，有效消除环境光干扰。激光接收单元光电探测器：上海欧光电子代理 OTRON 品牌 PSD 位置敏感探测器，分辨率达 0.03μm（如 LTPD08 型号），北京中教金源量子点探测器正在实现自主替代。聚焦透镜组：福州合创光电高精度分光棱镜，偏振消光比 1000:1，配合广州明毅电子阳极氧化支架，确保光路同轴度≤5μm。（二）电子电路组件信号处理模块微处理器：龙芯中科 3A5000 工业级芯片，支持 - 40℃...

有没有量程1米，测量精度误差1mm的国产激光位移传感器，频率5Khz以上？ 2025 - 06 - 19 有！LTM 系列三款国产激光位移传感器满足需求在工业检测领域，量程 1 米、精度误差 1mm、频率 5KHz 以上的激光位移传感器是高端测量的刚需，而国产传感器常因精度或频率不足被进口品牌垄断。无锡泓川科技的 LTM2-800W、LTM3-800W、LTM5-800W 三款产品，不仅全面覆盖上述指标，更以进口品牌一半的成本优势，成为国产替代的优选方案。以下从性能参数、优劣分析、场景适配及成本对比展开详细介绍。一、核心性能参数对比型号LTM2-800WLTM3-800WLTM5-800W参考距离800mm800mm800mm测量范围±500mm（总量程 1000mm）±500mm（总量程 1000mm）±500mm（总量程 1000mm）光斑尺寸450×6000μm450×6000μm450×6000μm重复精度45μm45μm45μm线性误差采样频率5KHz10KHz31.25KHz工业接口485 串口 / 模拟信号（二选一）以太网 / 485 串口 / 模拟信号以太网 / 485 串口 / 模拟信号光源660nm，Max.50mW660nm，Max.50mW660nm，Max.50mW防护等级IP67IP67IP67工作温度0~+50℃0~+50℃0~+50℃功耗约 2.0W约 2.0W约 2.0W二、产品优势分析（一）...

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