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泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览

日期: 2025-09-05
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来自 泓川科技
发表于: 2025-09-05
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高精度测量传感器全系列:赋能精密制造,适配多元检测需求

聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点,我们推出全系列高性能测量传感器,覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景,以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心,为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍:

泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览

泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览

1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器:半导体材料测厚专属

核心用途:专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料设计,精准实现晶圆等器件的厚度测量。
性能优点


  • 精度卓越:±0.1μm 线性精度 + 2nm 重复精度,确保测量数据稳定可靠;

  • 量程适配:覆盖 10μm~2mm 测厚范围,满足多数半导体材料检测需求;

  • 高效高速:40kHz 采样速度,快速捕捉厚度数据,适配在线检测节奏;

  • 灵活适配:宽范围工作距离设计,可灵活匹配不同规格的检测设备与场景。

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2. 分体式对焦传感器:半导体 / 面板缺陷检测的 “高速对焦助手”

核心用途:针对半导体、面板领域的高精度缺陷检测场景,提供高速实时对焦支持,尤其适配显微对焦类检测设备。
性能优点


  • 对焦速度快:50kHz 高速对焦,同步匹配缺陷检测的实时性需求;

  • 对焦精度高:0.5μm 对焦精度,保障缺陷成像清晰、检测无偏差;

  • 设计灵活:分体式结构,可根据检测设备的安装空间与布局灵活调整,降低适配难度。

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3. LT-R 反射膜厚仪:极薄膜厚检测的 “精密管家”

核心用途:专注于极薄膜厚度测量,广泛适用于光学膜、功能膜、半导体工艺中的极薄涂层 / 薄膜检测。
性能优点


  • 极薄检测能力:最小测量厚度低至 20nm,>20nm 测厚范围覆盖多数极薄膜场景;

  • 超高准确度:±1nm 准确度 + 0.05nm 重复精度,精准捕捉极细微厚度变化,严控工艺偏差;

  • 在线适配:最高 100Hz 采样速度,可融入生产线实现快速在线检测,不影响生产节奏。

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4. LT-C 光谱共焦位移传感器:复杂环境测量 “多面手”

核心用途:应对真空、曲面、多层透明体等复杂测量环境,适配镜面体、多层透明材料、异形件的位移与厚度检测。
性能优点


  • 环境适配强:支持 1e-4Pa 真空环境,<8mm 纤细探头外径,可深入狭小空间检测;

  • 高速同步:最高 32kHz 采样速度,支持 16 通道全同步采样,适配多工位同时检测;

  • 测量灵活:最小探头口径 φ38mm、最大测量角度 60°,对多层透明体、曲面等特殊被测物均能稳定测量;

  • 精度保障:3nm 重复精度,确保复杂场景下的测量数据可靠。

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5. 白光干涉测厚传感器:涂层 / 薄膜测厚的 “稳定之选”

核心用途:专注于涂层、薄膜的厚度测量,覆盖单层及多层膜结构,适用于电子、光学等领域的薄膜类产品检测。
性能优点


  • 工作距离优:50mm 工作距离,减少探头与被测物的距离限制,操作更便捷;

  • 量程适配:1μm~100μm 测厚范围(<100μm 测厚能力),覆盖多数涂层、薄膜规格;

  • 稳定精准:1nm 重复精度,保障批量检测的一致性;

  • 多通道支持:可根据检测需求配置多通道,提升检测效率。

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6. LTP 高速高精度激光三角位移传感器:国产替代的 “高速精准标杆”

核心用途:适用于各类需要高速、高精度位移测量的场景,尤其适配对 “国产化” 有需求的制造企业。
性能优点


  • 全国产化方案:打破进口依赖,兼顾性能与供应链安全;

  • 速度与精度双优:160kHz 超高采样速度 +±0.02% F.S. 线性精度 + 0.02μm 重复精度,高效且精准;

  • 集成便捷:一体化设计,控制器内置,减少安装空间占用,降低设备集成难度;

  • 量程全面:全系列超宽量程覆盖,可匹配不同位移测量需求。

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7. LTM 小型激光位移传感器:多行业通用的 “小巧精准利器”

核心用途:覆盖机械加工、电子元件等多行业,可测量玻璃、金属、陶瓷等不同材质工件的位移,适配空间有限的检测场景。
性能优点


  • 体积小巧:60×50×20.4mm 紧凑尺寸,轻松安装于狭小空间;

  • 量程灵活:10~1000mm 宽量程,满足从微小位移到长距离测量的需求;

  • 精准稳定:0.25μm 重复精度 +±0.05% of F.S. 精度,适配多材质被测物;

  • 输出灵活:支持电压、电流两种输出模式自由切换,适配不同数据采集系统。

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选型与服务:定制化适配,专业支持

以上全系列传感器均以 “适配场景、解决痛点” 为核心,可根据您的具体工艺需求(如检测材质、精度要求、安装空间等)提供定制化适配方案。若您需进一步了解产品参数、应用案例或获取选型建议,欢迎随时咨询 —— 我们将以专业技术团队为支撑,助力您提升生产检测效率,严控产品质量!


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