在半导体芯片制造、精密电子组装等高端工业场景中,一个棘手的矛盾始终存在:一方面,设备内部空间日益紧凑,毫米级的安装高度都可能成为 “禁区”;另一方面,随着产品结构复杂化,对测量量程的需求不断提升,5mm 以上的大量程检测已成为常态。如何在狭小空间内实现大量程精密测量?无锡泓川科技给出了突破性答案 ——光学转折镜,以创新设计让光谱共焦传感器的测量方向 “直角转向”,既节省安装空间,又兼容大量程需求,重新定义精密测量的空间可能性。


在精密测量领域,侧出光传感器曾是狭小空间的 “救星”。泓川科技旗下 LTCR 系列作为 90° 侧向出光型号,凭借紧凑设计广泛应用于深孔、内壁等特征测量。但受限于结构设计,其量程多集中在 2.5mm 以内(如 LTCR4000 量程为 ±2mm),难以满足半导体晶圆厚度、大型精密构件高度差等大量程场景的需求。
若选择传统端面出光的大量程传感器(如 LTC10000 量程 ±5mm、LTC20000 量程 ±10mm、LTC50000 量程 ±25mm),虽能覆盖测量需求,却因轴向出光设计需预留足够安装高度,在半导体设备的密闭腔室、精密仪器的紧凑模组中 “寸步难行”。空间与量程,似乎成了不可调和的矛盾。

泓川科技创新研发的光学转折镜,为这一矛盾提供了完美解法。通过精密光学设计,它可将光谱共焦传感器的端面出光无损转为 90° 直角侧面出光,实现三大核心突破:
空间节省最大化:无需为轴向出光预留高度空间,探头可沿水平方向安装,在半导体设备、精密仪器的狭小腔体内灵活部署,安装高度较传统方案降低 60% 以上。
大量程优势无损延续:兼容泓川全系列大量程传感器,从 ±5mm 到 ±25mm 的测量需求均可满足,无论是晶圆厚度、大型模具磨损量还是曲面轮廓扫描,都能保持亚微米级测量精度(如 LTC10000 线性误差 <±2μm)。
抗干扰与稳定性不减:光学转折镜采用高透光率材料与精密镀膜工艺,确保光信号传输损耗低于 3%,配合传感器本身的抗干扰设计,即使在多光环境、金属反光场景中,仍能保持 0.012μm 的重复精度。


这一创新设计,与国际知名品牌基恩士的同类方案异曲同工,却更贴合国内制造业的实际需求。无论是半导体晶圆的位置与厚度检测、新能源电池极片的高度差测量,还是大型模具的曲面轮廓扫描,泓川光学转折镜都能让大量程传感器在狭小空间内 “游刃有余”,既避免了传统侧出光传感器的量程局限,又突破了轴向出光的空间束缚。
作为专注于光学测量与检测的民族企业,泓川科技始终以技术创新破解行业痛点。光学转折镜的推出,不仅是空间与量程的双重突破,更彰显了中国精密测量技术向国际一流水准的迈进。
当空间不再是限制,量程不再是妥协,精密测量的未来,正在泓川科技的创新中展开新篇。