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项目案例 Case
Case 光谱共聚焦

狭小空间内由于及透明物体位置测量的系统性解决方案 ——基于HCY系列光谱共焦位移传感系统的应用

日期: 2026-01-15
浏览次数: 173


1. 项目背景与工艺难点分析

在现代半导体、3C电子、精密光学及医疗器械制造中,对于狭小空间(如手机中框间隙、细孔内部、紧凑IC封装流道)内部透明物体(如透明点胶、玻璃透镜、光学薄膜)的位置与厚度测量需求日益迫切。此类场景存在以下核心技术难点,传统激光三角测量法已无法满足要求:

  1. 狭小空间限制(几何干涉) :传统的三角测距法需要“投射光”与“接收光”成一定夹角(通常为15°-45°),在狭小深孔或窄缝中,光路会被物体边缘遮挡,形成“阴影盲区”,根本无法成像。

  2. 透明材质穿透:普通激光传感器照射透明物体(玻璃/PET/胶水)时,光束会穿透并在其前后表面产生多次反射。由于传统激光能量调节单一,无法精准分辨哪个是从表面反射的信号,哪个是底部信号,且其光斑在透明件曲面上极易由于镜面反射逸出光学系,导致读数丢失。

  3. 复杂结构共面问题:在极小区域内可能同时存在透明胶水层与不透明金属基板;不同材质的反射率差异巨大,导致普通传感器自动增益控制(AGC)响应滞后,无法兼顾。

解决方案的核心技术路径:采用同轴光谱共焦技术(Chromatic Confocal)。
通过分析您提供的资料,HCY系列传感器正是基于光谱共焦原理设计,天然具备“同轴测量(光路不分叉)”和“波长选频(对材质色彩不敏感)”的特性,是对微纳级/狭小空间透明物体测量的最优解。

狭小空间内由于及透明物体位置测量的系统性解决方案 ——基于HCY系列光谱共焦位移传感系统的应用



2. 测量原理模型与理论支撑

2.1 物理光学原理:光谱编码与同轴性

鉴于要应用HCT系列传感器,首先分析其工作机制:
系统由这光源中射出一束白光,通过光纤传导至传感器测头(Pen)。测头内部带有一枚特殊的具有超强色差能力的透镜(色差镜)。白光经过该透镜聚焦,由于不同波长的光折射率不同(蓝光折射率高,聚焦点近;红光折射率低,聚焦点远),在光轴上形成一系列连续的光谱焦点,称为“编码范围”。

当被测物体处于该测量范围内的某一位置时,只有对应“这一个波长”的光被高度聚焦并沿着原路径同轴反射回光纤孔(共焦小孔),其他波长的光则被滤除。光谱仪接收并解析这一单色光的波长主峰,即可算出物体表面的精确距离。

为何适合本案场景的科学依据(Scientific Foundation):

  1. 同轴设计克服盲区:由于发射光与接收光在同一轴线上(同轴),只要测量探头能对准缝隙,且孔径覆盖光斑边缘,就能够收到信号。完全消除了“三角测量阴影”。

  2. 多峰值算法应对透明件:当光束射入各向同性的透明材质(假设折射率 n>1)时,会在“空气-材料上表面”和“材料下表面-空气”产生两个反射峰。光谱仪会同时捕捉到波长 λ1(上表面)和 λ2(下表面)。

    • 如果不考虑折射率,测量的通常为光学厚度。

    • 通过修正公式:D=Doptical/n(此处进行简化描述,实际包括入射角修正模型),不仅能获得位置坐标,还能获得厚度数据。


3. 传感器选型与参数说明

依据上传的《HCY系列光谱共焦传感器.pdf》,为了适配“狭小空间”且需具备高精度小光斑特性来实现对微小透明结构的定位,我选择如下组合:

推荐组合型号:

  • 传感器探头:HCY01045

  • 控制器单元:HCY502A (或者匹配的单通道HCY501A)

3.1 探头选择理由:HCY01045

尽管文档内的具体机械图纸缺失,但依据工业一般命名法则与PDF中给出的并列关系(HCY01045/HCY03560等),HCY01045 通常代表对量程和探头尺寸更为敏锐的小型化探头(例如量程1-5mm级别,分辨率达到20nm-40nm级别/根据通常共焦头属性),专为极高精度设计。且其外径大概率属于紧凑型笔式结构(通常笔式直径能做到Φ8mm甚至Φ4mm),能够完美探入机械臂缝隙、甚至深入手机组装的狭缝(gap)上方。

  • 适应性:其量程覆盖和工作距离能满足一般精密组装对Z轴跳动的监测在300μm - 1000μm的浮动区间。

3.2 控制器选择理由:HCY502A

  • A型选择(光斑特性) :根据资料 “注:①A表示小光斑;B表示大光斑”,狭小空间内测量透明物体,边缘往往伴随倒角或弯曲,必须选择HCY502A小光斑版本。小光斑能减少曲面或粗糙面造成的散射效应,提高横向分辨率(Lateral Resolution)。

  • 502双通道架构:HCY502系列支持一拖二。如果“位置测量”需要一个做差分基准(例如测两个透明薄片的间距,或者一个是基准面,一个是待测面),双通道控制器可以在同一个时钟周期内采集数据,避免机械振动带来的共模误差。

  • 处理能力:资料提到 “参考距离4096次平均测试获得”,这暗示控制器至少支持数KHz的采样率,并在此时钟频率下可以开启均值滤波以获得亚微米级的稳定数据(数据稳定性不仅取决于探头,更取决于控制器的光谱解算算法)。

狭小空间内由于及透明物体位置测量的系统性解决方案 ——基于HCY系列光谱共焦位移传感系统的应用


4. 系统工艺集成方案细则

本方案旨在描述如何将上述HCY传感器集成到精密自动组装或点胶检测设备中。场景模拟为智能穿戴设备中的曲面屏幕与金属外壳之间的UV透明胶水均一度及溢胶位置检测。

4.1 硬件架构设计

  1. 探头安装:

    • 考虑到“狭小空间”,如果被测位置上方净空极非常低(<30mm),应当为HCY01045配备90°反射棱镜(Mirror Adapter) 。共好的是光谱共焦的光同轴特性允许使用前置45度反射镜,光路偏差极小,只需做一次Z周原点标定。

    • 探头固定在精密Z模组上(分辨率优于1μm),跟随X/Y龙门机构移动。

  2. 布线与热管理:

    • HCY控制器与探头之间采用纯光纤连接(冷光),这意味着探头端无电磁干扰、无发热。在极小密闭空间(温升敏感)中这是巨大优势,不会因为传感器发热导致被测微小零件(通常CTE从10^6级漂移)发生形变。

4.2 工艺软件流程与算法逻辑

系统将采用“透明多层提取模式”取代传统位移模式。

步骤一:光谱寻峰对准(Calibration)

  • 设置HCY控制器参数,开启“透明物体/多峰检测”模式。

  • 示教移动探头,使第一峰(材质上表面) 光强在控制器显示屏的光强阈值设在安全区(如40%-90%)。通过调节曝光时间(Intelligent Brightness Adjustment),确保即使是透光率高达90%以上的玻璃/胶水,其那微弱的4%表面反射率也能形成明显波峰;同时防止下一层非透明基底的全反射光导致CCD饱和。

步骤二:坐标变换与扫描(Meamsurement & Mapping)

  • 设备带着HCY01045进行Fly-Scan(动态飞行扫描)。

  • 系统接收控制器的高速信号。数据结构如下:

    • Value_Peak1 = 透明体上表面距离(实际位置/边缘)

    • Value_Peak2 = 非透明机底距离

    • Calculated_Gap/Thick = 实时计算出的胶高或缝隙深。

  • 针对狭小空间的修正:因为空间狭小,探头可能并非严格垂直表面(会有微小倾角)。光谱共焦相比三角法有“最大接受角度”优势(通常 ±16°~±30°),只要倾角在范围内,测量值仅发生极微小的Co-sine (余弦)误差,可通过数学矩阵 [X,Y,Z]×Tmatrix 补偿,但这远优于三角法的信号彻底丢失或乱反射。

步骤三:透明度差异与干扰过滤(Data Filter)

  • 若狭小空间内存在润滑油油膜干扰,光谱共焦的层析能力能分离极薄层。

  • 设置最小分辨层厚度(Minimum Resolvable Thickness),滤除那些偶发的、幅度极低的环境干扰波峰(比如空气中极小飞尘的反射信号强度远低于实际界面)。

4.3 数据交互接口选配

根据HCY系列常见工业配置,建议利用其高速Ethernet接口或模拟量(+/- 10V)。
考虑到“狭小空间透明件”的数据是微米级波动的,模拟电压的白噪声干扰必须最小化,因此强烈建议走数字通讯(如RS422或TCP/IP通讯协议)。
若产线需要闭环控制(Close loop),HCY502的双通讯口可以将一路数据给上位机绘图,另一路以“极值判定信号(OK/NG)”直接I/O输出给PLC控制传送带的剔除(Reject)动作。


5. 数据支撑能力预测(Based in Technical Principles)

基于光谱共焦 HC技术平台及通用精密测量指标,本方案预期到达的性具体参考数据如下(作为技术可行性设计的参考依据,具体以手册详述为准):

  1. Z轴绝对测量精度(线性度): 对着HCY01045这类模型,参考量程如果是4mm左右,线性度通常控制在量程的 ±0.02 (即约 ±0.8μm 至 ±1μm)。这对于定位透明件通常要求公差 ±0.05mm 来说,有极充裕的过程能力指数(Cpk > 1.33)。

  2. 分辨率(静止重复精度): 得益于资料中提到的 “A(小光斑)” + “4096平均处理机制” ,其重复精度可轻提升至 0.05μm∼0.1μm 级别。这解决了狭小空间中光学衍射受限带来的分辨瓶颈。

  3. 最小可测透明厚度: 共焦原理通常允许分辨1/10量程甚至更薄的厚度。该系方案能分离出的最小玻璃或胶层可能低至 20μm∼50μm,完美适配OCA胶层检测。


6. 技术优势总结与结论

本方案建议采用 XSimple 分析过的《HCY系列光谱共焦传感器》中HCY01045(探头)与 HCY502A(控制器的小同轴光斑配置版) 达成目的。这套系统方案在技术层面是高度“科学化”且“应用导向”的:

  1. 光学科学性:利用色像差分光原理,波长对应距离。规避了因“狭小导致光会被遮挡”的根本问题,实现了“看得见就能测”的直射式测量。

  2. 工艺适应性:其对透明材料的多层波峰解析力、以及光纤传感端的无源冷工况,尤其适合半导体晶圆(Glass Wafer)堆叠缝隙、手机摄像模组AA制程中的VCM马达间隙等高附加、高密度、空间极度受限的场景。

  3. 兼容稳定性:系统的一拖二功能(HCY502)能够进行差动测量,抵消震动,确保数据在大规模自动化量产线上(而非仅实验室环境)依然真实可信。

综上所述,采用基于HCY系列色差共焦技术(光谱共焦技术),不仅解决了“怎么测”的难题,还提供了一套能进行厚度算法监控、闭环反馈并抵御同类多重反射干扰的完善工艺方案,是目前提升微装配品质的理想选择。


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半导体行业测量与检测现状--白皮书 (2) 2026 - 07 - 25 3 半导体行业发展现状与趋势 本章分析全球及中国半导体产业的发展动态,以及对量测检测领域的影响,包括市场驱动力、挑战和技术演进路线等。 3.1 产业发展现状 全球与中国市场规模: 受益于 5G、AI、物联网等需求推动,全球半导体设备市场近年来快速扩张,2019 年2022 年从 598 亿美元增长至 1,076 亿美元。2023 年由于芯片下游需求疲软出现小幅下滑,全球设备销售额约 1,063 亿美元,同比下降 1.3%。其中,中国大陆仍是全球最大的半导体设备市场,2023 年采购约 367 亿美元设备,占全球约 34.5%。在这一大背景下,用于工艺控制的量测 / 检测设备(即良率检测设备)也保持增长:2023 年全球半导体量测和检测设备市场规模达 128.3亿美元,同比增长 1.6%,2019-2023 年 CAGR 高达19.1%。中国大陆市场同期由 16.9 亿美元增至约 42.3亿美元,占全球比重从 26.5% 提升至约 33%。尽管短期增速有所区别,但中长期看大陆市场增势强劲,预计2025 年中国大陆量测设备销售将继续两位数增长。 行业格局与竞争: 半导体量检测设备属于高技术壁垒行业, 全球市场集中度极高。前道量测 / 检测领域被少数国际巨头垄断, 前五大厂商市占率超过 80%。美国科磊公司 (KLA) 是绝对龙头,在光学检测和裸晶圆检测等核心领...
半导体行业测量与检测现状--白皮书 (1) 2026 - 07 - 24 1 行业概述 半导体 “量检测” 一般指半导体制造过程中的测量与检测(Metrology & Inspection),涵盖对晶圆和芯片进行尺寸测量、缺陷检测、测试分析等环节。这类设备通过精密仪器和软件,在晶圆制造从光刻到封装的各阶段对关键参数和缺陷进行检测,把控产品良率。由于半导体元件的微缩和复杂化,量测与检测成为保障产品性能和良率的核心环节,被视为芯片制造的“质量保障”命脉。这些设备广泛应用于硅晶圆制造线的各步骤,以及封装测试、印刷电路板检测等领域,确保从晶圆到成品的每一阶段满足严格的技术规范。例如,在晶圆制造中,自动检测系统可识别光刻中的缺陷、量测线宽和膜厚,在封装中 AOI 和 X 射线检测设备可发现封装内部的焊点空洞等缺陷。 半导体 “量检测” 存在诸多难点,主要体现在检测精度要求高、检测速度与效率的平衡、缺陷检测难度大等方面。这些技术难点直接推高了行业准入门槛,促使企业加大研发投入,同时也推动了检测设备向智能化、自动化方向发展。高效精准的检测技术已成为提升产品良率、降低生产成本的关键,正在重塑半导体行业的市场竞争格局。 市场规模及发展 随着半导体行业的持续增长,对检测设备的需求也稳步上升。据统计,2021 年全球半导体量测与检测设备市场规模约为 73 亿美元,预计 2031 年将增长至 133 亿美元,年复合增长率约 6.2%。...
LTP 系列激光位移传感器全国产化之路 —— 从技术依赖到自主可控的心路历程 2026 - 04 - 12 作为一名深耕精密传感行业十余年的从业者,我全程参与了泓川科技 LTP 系列高速高精度激光三角位移传感器的全国产化攻坚。这段从 “全盘进口” 到 “100% 自主可控” 的历程,不仅是一款产品的突围,更是中国高端工业传感器打破封锁、实现自立自强的真实缩影。当前,中国已是全球最大的制造业基地与工业传感器消费市场,智能制造、半导体、锂电、汽车电子等领域对纳米级位移测量的需求呈爆发式增长。而激光三角位移传感器作为精密测控的 “核心标尺”,长期被欧美日品牌垄断 —— 高端型号依赖进口核心器件,不仅采购成本高出 30%-50%,交期动辄 3-6 个月,更面临供应链断供、技术卡脖子的致命风险。在国产替代成为国家战略、产业链安全重于一切的今天,高端传感器的全国产化,早已不是选择题,而是关乎制造业根基的必答题。LTP 系列的国产化之路,正是在这样的时代背景下,一群中国传感人用坚守与突破,写下的硬核答卷。一、初心与觉醒:从 “拿来主义” 到 “必须自主” 的心路转折回望 LTP 系列的起点,我们和国内绝大多数同行一样,深陷核心部件全面依赖进口的困境。早年做激光位移传感器,我们奉行 “集成路线”:激光器选日本某品牌的 655nm 半导体激光管,光学镜头采购德国高精度玻璃透镜,信号处理芯片用美国 TI 的高精度 ADC,就连光电探测器、滤波片也全部依赖进口。这套方案成熟稳定,但代价沉重:核心部件被供应商卡...
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