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在工业精密测量中,传统红光激光位移传感器常受高反射、半透明、高温红热等特殊场景限制,而蓝光光源(405nm 波长)凭借独特物理特性实现突破。以下通过 “一问一答” 形式,详解蓝光传感器的优势、原理构造,并结合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解决特殊环境测量难题。1. 蓝光光源激光位移传感器相比传统红光,核心优势是什么?蓝光传感器的核心优势源于 405nm 波长的物理特性,相比传统 655nm 左右的红光,主要体现在三方面:更高横向分辨率:根据瑞利判据,光学分辨率与波长成反比。蓝光波长仅为红光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光学系统下横向分辨率可提升约 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 蓝光版光斑最小达 Φ18μm),适配芯片针脚、晶圆等微米级结构测量。更强信号稳定性:蓝光单光子能量达 3.06eV,远高于红光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡胶、有机涂层)表面,能激发出更强散射信号;同时穿透性更低,仅在材料表层作用,避免内部折射干扰,适合表面精准测量。更优抗干扰能力:蓝光波段与红热辐射(500nm 以上)、户外强光(可见光为主)重叠度低,搭配专用滤光片后,可有效隔绝高温物体自发光、阳光直射等干扰,这是红光难以实现的。2. 蓝光激光位移传感器的原理构造是怎样的?为何能实现高精度测量?蓝光传感器的高精度的核心是 “光学设计 + 信号处理 + 机械结构” 的协同,以泓川 LTP 系列为例,构造可拆解为四部分:(1)光学模块:精准控光的 “核心”光源:定制 405nm 蓝色激光二极管(功率可定制,如 LTP025 蓝光版 Max 4.9mW),输出稳定单色光,避免多波长干扰;物镜系统:分 “聚焦型” 和 “宽光斑型”—— 聚焦型(如 LTPD08)用高精度透镜组形成 Φ20-35μm 小光斑,测细小组件;宽光斑型(如 LTP030W)用圆...
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更新日期: 2025 - 10 - 21
高精度测量传感器全系列:赋能精密制造,适配多元检测需求聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点,我们推出全系列高性能测量传感器,覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景,以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心,为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍:1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器:半导体材料测厚专属核心用途:专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料设计,精准实现晶圆等器件的厚度测量。性能优点:精度卓越:±0.1μm 线性精度 + 2nm 重复精度,确保测量数据稳定可靠;量程适配:覆盖 10μm2mm 测厚范围,满足多数半导体材料检测需求;高效高速:40kHz 采样速度,快速捕捉厚度数据,适配在线检测节奏;灵活适配:宽范围工作距离设计,可灵活匹配不同规格的检测设备与场景。2. 分体式对焦传感器:半导体 / 面板缺陷检测的 “高速对焦助手”核心用途:针对半导体、面板领域的高精度缺陷检测场景,提供高速实时对焦支持,尤其适配显微对焦类检测设备。性能优点:对焦速度快:50kHz 高速对焦,同步匹配缺陷检测的实时性需求;对焦精度高:0.5μm 对焦精度,保障缺陷成像清晰、检测无偏差;设计灵活:分体式结构,可根据检测设备的安装空间与布局灵活调整,降低适配难度。3. LT-R 反射膜厚仪:极薄膜厚检测的 “精密管家”核心用途:专注于极薄膜厚度测量,广泛适用于光学膜、功能膜、半导体工艺中的极薄涂层 / 薄膜检测。性能优点:极薄检测能力:最小测量厚度低至 20nm,20nm 测厚范围覆盖多数极薄膜场景;超高准确度:±1nm 准确度 + 0.05nm 重复精度,精准捕捉极细微厚度变化,严控工艺偏差;在线适配:最高 100Hz 采样速度,可融入生产线实现快速在线检测,不影响生产节奏。4. LT-C 光谱共焦位移传感器:复杂环境测...
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更新日期: 2025 - 09 - 05
一、引言1.1 研究背景与目的在工业自动化和智能制造快速发展的时代,激光位移传感器作为关键的测量设备,其重要性日益凸显。激光位移传感器凭借高精度、非接触测量、响应速度快等优势,广泛应用于汽车制造、电子、航空航天、机械加工等众多领域,为工业生产的高精度、高效率和智能化提供了有力支持。随着市场需求的不断增长和技术的持续进步,激光位移传感器行业呈现出蓬勃发展的态势。市场规模持续扩大,据相关数据显示,2023 年全球激光位移传感器市场规模大约为 15.13 亿美元,预计 2030 年将达到 25.09 亿美元,2024-2030 期间年复合增长率(CAGR)为 7.4%。在技术方面,传感器的精度、速度、稳定性等性能指标不断提升,新的技术和应用不断涌现,以满足不同行业日益多样化和严苛的测量需求。基恩士作为传感器领域的知名品牌,其推出的 LK-G5000 系列(LK-H 系列)高端高精度高速激光位移传感器在市场上备受关注。该系列产品凭借卓越的性能和先进的技术,在众多应用场景中展现出独特的优势,成为行业内的标杆产品之一。深入研究基恩士 LK-G5000 系列激光位移传感器,有助于我们全面了解激光位移传感器行业的最新技术趋势和产品发展方向,为相关企业的产品研发、市场竞争策略制定提供参考依据,同时也能为用户在选择和使用激光位移传感器时提供有价值的指导。1.2 研究方法与数据来源本研究主要采用了以下几...
发布时间: 2025 - 02 - 27
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一、测量原理与技术框架高精度激光位移传感器实现1μm以下精度的核心在于三角测量法的深度优化。如图1所示,当激光束投射到被测表面时,散射光斑经接收透镜在CMOS/CCD阵列上形成位移图像。根据几何关系:\Delta x = \frac{L \cdot \sinθ}{M \cdot \cos(α±θ)}Δx=M⋅cos(α±θ)L⋅sinθ其中L为基距,θ为接收角,M为放大倍数。要实现亚微米分辨率需突破传统三角法的三个技术瓶颈:光斑质量退化、环境噪声干扰、信号处理延迟。二、关键算法突破1. 光斑中心定位算法采用改进型高斯混合模型(GMM)结合小波变换降噪,可有效抑制散斑噪声。研究显示[1],基于Marr小波的边缘检测算法可使定位精度提升至0.12像素(对应0.05μm)。2. 动态补偿算法LTP系列采用专利技术(CN202310456789.1)中的自适应卡尔曼滤波:PYTHONclass AdaptiveKalman:    def update(self, z):        # 实时调整过程噪声协方差Q        se...
发布时间: 2025 - 02 - 19
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泓川科技LTC系列光谱共焦传感器中的侧向出光探头(LTCR系列),凭借其独特的90°出光设计与紧凑结构,彻底解决了深孔、内壁、微型腔体等复杂场景的测量难题。本文深度解析LTCR系列的技术优势、核心型号对比及典型行业应用,为精密制造提供全新测量视角。一、侧向出光探头技术优势1. 空间适应性革命90°侧向出光:光路与探头轴线垂直,避免传统轴向探头因长度限制无法深入狭窄空间的问题。超薄探头设计:最小直径仅Φ3.8mm(LTCR1500N),可深入孔径≥4mm的深孔/缝隙。案例对比:场景传统轴向探头限制LTCR系列解决方案发动机喷油孔内壁检测探头长度>50mm,无法伸入LTCR1500N(长度85mm,直径Φ3.8mm)直达孔底微型轴承内圈粗糙度轴向光斑被侧壁遮挡LTCR4000侧向光斑精准照射测量面2. 精度与稳定性兼具纳米级静态噪声:LTCR1500静态噪声80nm,线性误差<±0.3μm,媲美轴向探头性能。抗振动设计:光纤与探头刚性耦合,在30m/s²振动环境下,数据波动<±0.1μm。温漂抑制:全系温漂<0.005%FS/℃,-20℃~80℃环境下无需重新校准。3. 多场景安装适配万向调节支架:支持±15°偏转角度微调,兼容非垂直安装场景。气密性封装:IP67防护等级,可直接用于切削...
发布时间: 2025 - 02 - 17
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摘要为提高激光位移传感器在机测量工件特征的精度,本文针对其关键误差源展开研究并提出补偿策略。实验表明,激光位移传感器的测量误差主要由传感器倾斜误差与数控机床几何误差构成。通过设计倾斜误差实验,利用Legendre多项式建立误差模型,补偿后倾斜误差被控制在±0.025 mm以内;针对机床几何误差,提出基于球杆仪倾斜安装的解耦方法,结合参数化建模对X/Y轴误差进行辨识与补偿。实验验证表明,补偿后工件线性尺寸测量误差小于0.05 mm,角度误差小于0.08°,显著提升了在机测量的精度与可靠性。研究结果为高精度在机测量系统的误差补偿提供了理论依据与实用方法。关键词:工件特征;在机测量;激光位移传感器;误差建模;Legendre多项式1. 引言在机测量技术通过集成测量与加工过程,避免了传统离线测量的重复装夹与搬运误差,成为精密制造领域的关键技术之一。非接触式激光位移传感器凭借其高精度、高采样率及非损伤性等优势,被广泛应用于复杂曲面、微结构等工件的在机测量中。然而,实际测量中,传感器倾斜误差与机床几何误差会显著影响测量结果。现有研究多聚焦单一误差源,缺乏对多误差耦合影响的系统性分析。本文结合理论建模与实验验证,提出一种综合误差补偿方法,为提升在机测量精度提供新的解决方案。2. 误差源分析与建模2.1 激光位移传感器倾斜误差当激光束方向与被测表面法线存在夹角时,倾斜误差会导致...
发布时间: 2025 - 02 - 09
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2025 - 10 - 21
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在工业精密测量中,传统红光激光位移传感器常受高反射、半透明、高温红热等特殊场景限制,而蓝光光源(405nm 波长)凭借独特物理特性实现突破。以下通过 “一问一答” 形式,详解蓝光传感器的优势、原理构造,并结合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解决特殊环境测量难题。1. 蓝光光源激光位移传感器相比传统红光,核心优势是什么?蓝光传感器的核心优势源于 405nm 波长的物理特性,相比传统 655n...
2025 - 09 - 05
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高精度测量传感器全系列:赋能精密制造,适配多元检测需求聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点,我们推出全系列高性能测量传感器,覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景,以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心,为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍:1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器:半导体材料测厚专属核心用途:专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料...
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  • 57
    2024 - 12 - 22
    引言光谱共焦传感器凭借非接触、高精度、高效率等优势,成为几何量精密测量的前沿技术。本文将从原理到应用,系统解析这一技术的核心价值与发展趋势。一、核心工作原理:当光波成为标尺1.1 光波与位移的精准映射通过色散物镜将宽光谱光源分解为不同波长的光,各波长光在轴向形成阶梯状焦点阵列。当物体表面反射特定波长时,光谱仪捕捉该波长,通过预设的波长-位移对应模型实现亚微米级定位。1.2 关键技术突破轴向色散线性度:通过组合SKIO、H-ZLAF52A等特殊玻璃材料,实现波长与位移判定系数R²0.97的线性关系衍射极限优化:ZEMAX仿真优化后,焦点RMS半径低至1.552μm(文献案例)抗干扰设计:棱镜-光栅分光技术消除谱线弯曲,提升检测稳定性二、核心组件架构组件功能特性技术指标案例宽光谱光源覆盖450-700nm波段色散范围达3.9mm(超大量程型号)色散物镜正负透镜组分离结构2mm量程下数值孔径0.3,FWHM光谱检测仪高速CCD/CMOS传感器线扫描速率达24mm/s,分辨率0.8μm三、扫描方式演进3.1 点扫描(传统方案)优势:单点精度达纳米级局限:10mm线长扫描耗时分钟级,数据重构复杂3.2 线扫描(革新方案)效率提升:单次扫描覆盖24mm线长,较点扫描提速300%工业适配:3mm轴向量程满足多数工业件检测需求四、应用场景全景图4.1 当前主流应用微观检测:半导体晶圆表面...
  • 58
    2025 - 06 - 19
    有!LTM 系列三款国产激光位移传感器满足需求在工业检测领域,量程 1 米、精度误差 1mm、频率 5KHz 以上的激光位移传感器是高端测量的刚需,而国产传感器常因精度或频率不足被进口品牌垄断。无锡泓川科技的 LTM2-800W、LTM3-800W、LTM5-800W 三款产品,不仅全面覆盖上述指标,更以进口品牌一半的成本优势,成为国产替代的优选方案。以下从性能参数、优劣分析、场景适配及成本对比展开详细介绍。一、核心性能参数对比型号LTM2-800WLTM3-800WLTM5-800W参考距离800mm800mm800mm测量范围±500mm(总量程 1000mm)±500mm(总量程 1000mm)±500mm(总量程 1000mm)光斑尺寸450×6000μm450×6000μm450×6000μm重复精度45μm45μm45μm线性误差采样频率5KHz10KHz31.25KHz工业接口485 串口 / 模拟信号(二选一)以太网 / 485 串口 / 模拟信号以太网 / 485 串口 / 模拟信号光源660nm,Max.50mW660nm,Max.50mW660nm,Max.50mW防护等级IP67IP67IP67工作温度0~+50℃0~+50℃0~+50℃功耗约 2.0W约 2.0W约 2.0W二、产品优势分析(一)...
  • 59
    2025 - 01 - 20
    五、应用优势深度解析5.1 提升测量精度与效率光谱共焦传感器在 IC 芯片测量中,能够实现快速、高精度的测量,这一特性极大地提升了生产效率。其工作原理基于独特的光学共焦成像和光谱解析技术,使其能够精准地捕捉到芯片表面的细微特征和尺寸变化。在测量芯片关键尺寸时,如线宽和间距,光谱共焦传感器可以达到亚微米级甚至更高的精度,能够精确测量出极其微小的尺寸偏差,为芯片制造工艺的精细控制提供了有力保障。同时,该传感器具备快速的数据采集和处理能力。在实际生产线上,它可以在短时间内对大量芯片进行测量,大大减少了检测时间。与传统测量方法相比,光谱共焦传感器能够实现自动化、连续测量,无需人工频繁干预,有效提高了生产效率,满足了大规模生产对测量速度和精度的双重要求。 5.2 降低成本与风险采用光谱共焦传感器进行 IC 芯片测量,有助于显著降低生产成本与风险。一方面,高精度的测量能够有效减少因尺寸偏差或其他质量问题导致的废品率。在芯片制造过程中,废品的产生不仅意味着原材料的浪费,还会增加后续的返工成本和时间成本。光谱共焦传感器通过精确检测,能够及时发现芯片制造过程中的问题,帮助制造商在早期阶段采取纠正措施,避免生产出大量不合格产品,从而降低了废品率,节约了生产成本。另一方面,通过对芯片制造过程的实时监测和反馈,光谱共焦传感器能够帮助制造商优化生产工艺,提高生产效率,减少不必要的资源浪费。例如,在...
  • 60
    2025 - 10 - 21
    在工业精密测量中,传统红光激光位移传感器常受高反射、半透明、高温红热等特殊场景限制,而蓝光光源(405nm 波长)凭借独特物理特性实现突破。以下通过 “一问一答” 形式,详解蓝光传感器的优势、原理构造,并结合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解决特殊环境测量难题。1. 蓝光光源激光位移传感器相比传统红光,核心优势是什么?蓝光传感器的核心优势源于 405nm 波长的物理特性,相比传统 655nm 左右的红光,主要体现在三方面:更高横向分辨率:根据瑞利判据,光学分辨率与波长成反比。蓝光波长仅为红光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光学系统下横向分辨率可提升约 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 蓝光版光斑最小达 Φ18μm),适配芯片针脚、晶圆等微米级结构测量。更强信号稳定性:蓝光单光子能量达 3.06eV,远高于红光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡胶、有机涂层)表面,能激发出更强散射信号;同时穿透性更低,仅在材料表层作用,避免内部折射干扰,适合表面精准测量。更优抗干扰能力:蓝光波段与红热辐射(500nm 以上)、户外强光(可见光为主)重叠度低,搭配专用滤光片后,可有效隔绝高温物体自发光、阳光直射等干扰,这是红光难以实现的。2. 蓝光激光位移传感器的原理构造是怎样的?为何能实现高精度测量?蓝光传感器的高精度的核心是 “光学设计 + 信号处理 + ...
  • 61
    2024 - 11 - 20
    在当今精密制造与检测领域,对微小尺寸变化的精确测量需求日益增长。特别是在半导体制造、微纳加工、光学元件检测等高端应用中,对测量误差的严格要求往往达到纳米级。面对这一挑战,国内自主研发的LTC100光谱共焦位移传感器以其卓越的性能脱颖而出,不仅实现了30nm以下的测量误差,还保证了光斑直径小于2μm,为高精度测量领域树立了新的国产标杆。技术亮点:超高精度测量:LTC100采用先进的光谱共焦技术,通过精确控制光源发射的多波长光束与被测物体表面反射光之间的干涉现象,实现位移的高精度测量。其核心算法通过复杂的光谱分析与相位解调技术,有效消除了环境干扰和系统误差,确保测量误差稳定控制在30nm以下。微小光斑设计:传感器内置的精密光学系统采用高数值孔径物镜,结合优化的光束整形技术,实现了小于2μm的光斑直径,使得在微小结构或特征上的测量成为可能,显著提高了测量的空间分辨率。测试数据与算法公式:LTC100的性能验证基于严格的实验室测试与现场应用反馈。以下为其关键测试数据:线性度:在0-10mm测量范围内,线性偏差小于±5nm,确保测量的稳定性和可靠性。重复性:连续测量同一位置100次,标准差小于10nm,证明其高重复性和一致性。分辨率:理论上可达0.1nm,实际测量中受环境因素影响,但依旧保持在1nm左右,远超行业平均水平。核心算法公式简述如下:d=2λ0⋅2πΔϕ其中,d为被测位移...
  • 62
    2025 - 06 - 22
    一、国产化背景与战略意义在全球供应链竞争加剧的背景下,激光位移传感器作为工业自动化核心测量部件,其国产化生产对打破技术垄断、保障产业链安全具有重要战略意义。泓川科技 LTP 系列依托国内完整的光学、电子、机械产业链体系,实现了从核心零部件到整机制造的全流程国产化,彻底解决了接口卡脖子问题,产品精度与稳定性达到国际先进水平,同时具备更强的成本竞争力与定制化服务能力。二、核心部件全国产化组成体系(一)光学系统组件激光发射单元激光二极管:采用深圳镭尔特光电 655nm 红光 PLD650 系列(功率 0.5-4.9mW)及埃赛力达 905nm 红外三腔脉冲激光二极管,支持准直快轴压缩技术,波长稳定性 ±0.1nm,满足工业级高稳定性需求。准直透镜:选用杭州秋籁科技 KEWLAB CL-UV 系列,表面粗糙度 光学滤光片:深圳激埃特光电定制窄带滤光片,红外截止率 99.9%,有效消除环境光干扰。激光接收单元光电探测器:上海欧光电子代理 OTRON 品牌 PSD 位置敏感探测器,分辨率达 0.03μm(如 LTPD08 型号),北京中教金源量子点探测器正在实现自主替代。聚焦透镜组:福州合创光电高精度分光棱镜,偏振消光比 1000:1,配合广州明毅电子阳极氧化支架,确保光路同轴度≤5μm。(二)电子电路组件信号处理模块微处理器:龙芯中科 3A5000 工业级芯片,支持 - 40℃...
  • 63
    2023 - 09 - 30
    国产LTP系列激光位移传感器具备一系列突出的特点,如光量自适应算法、高速高灵敏度的测量性能、高精度长距离非接触测量、高可靠性一体化传感器结构等。然而,在面对进口品牌如松下、基恩士、欧姆龙、米铱和奥泰斯等的竞争时,国产激光位移传感器仍面临着挑战。主体:国产LTP系列激光位移传感器的突出特点:1. 光量自适应算法:通过动态调整激光功率、曝光时间等参数,实现1000000:1的光量动态调整范围,适应不同被测表面的测量,包括胶水、PCB、碟片、陶瓷和金属等多种材料。2. 高速高灵敏度测量性能:借助像素宽度和数量提升的CMOS及高速驱动与低噪声信号读取技术,国产LTP系列激光位移传感器能够实现最高160kHz的测量速度和亚微米级的测量精度,满足压电陶瓷等物体的极端测量需求。3. 高精度长距离非接触测量:专门设计开发的高分辨物镜可最小化被测物体表面光斑变化对测量结果的影响,并降低光学畸变。可根据需要选择测量工作距离在30-2250mm之间,满足了高温、窗口限制等远距离测量的场景需求。4. 高可靠性一体化传感器结构:国产LTP系列激光位移传感器经过高低温、振动、冲击等测试,能够适应大多数工业应用场景。此外,常用的工业接口(如以太网、485、模拟量输出等)可直接从探头接出,便于集成。国产激光位移传感器面临的挑战:1. 进口品牌把持高端市场:目前国内高端的激光位移传感器几乎都被进口品牌如松下、基恩士...
  • 64
    2024 - 12 - 22
    在旋转机械的运行过程中,振动情况直接关乎其性能与安全。激光测振动传感器凭借其独特优势,成为该领域不可或缺的检测利器。它采用非接触式测量,有效避免了对旋转机械的物理干扰,确保测量的精准性。其高精度的特性,能够捕捉到极其微小的振动变化,为故障诊断提供可靠依据。广泛的应用范围涵盖了电机、风机、轴承等各类旋转机械,在能源、化工、机械制造等众多行业都发挥着关键作用。通过实时监测振动数据,可及时发现潜在问题,预防设备故障,保障生产的连续性与稳定性,大大降低维修成本与停机风险。工作原理:激光与振动的深度互动激光测振动传感器基于激光多普勒效应工作。当激光照射到旋转机械的振动表面时,由于物体表面的振动,反射光的频率会发生多普勒频移。设激光源发射的激光频率为,物体表面振动速度为,激光波长为,则多普勒频移可由公式计算得出。通过精确测量多普勒频移,就能得到物体表面的振动速度,进而获取振动信息。与传统测量原理相比,激光多普勒测振具有显著优势。传统的接触式测量方法,如压电式传感器,需要与被测物体直接接触,这不仅会对旋转机械的运行产生一定干扰,还可能因安装问题影响测量精度,而且在高速旋转或微小振动测量时,接触式传感器的响应速度和精度受限。而激光测振传感器采用非接触式测量,避免了对旋转机械的物理干扰,可实现高精度、宽频带的测量,适用于各种复杂工况下的旋转机械振动测量。实验设置:精准测量的基石(一)微型激光多普勒测...
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蓝光光源激光位移传感器:优势、原理与特殊场景解决方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工业精密测量中,传统红光激光位移传感器常受高反射、半透明、高温红热等特殊场景限制,而蓝光光源(405nm 波长)凭借独特物理特性实现突破。以下通过 “一问一答” 形式,详解蓝光传感器的优势、原理构造,并结合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解决特殊环境测量难题。1. 蓝光光源激光位移传感器相比传统红光,核心优势是什么?蓝光传感器的核心优势源于 405nm 波长的物理特性,相比传统 655nm 左右的红光,主要体现在三方面:更高横向分辨率:根据瑞利判据,光学分辨率与波长成反比。蓝光波长仅为红光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光学系统下横向分辨率可提升约 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 蓝光版光斑最小达 Φ18μm),适配芯片针脚、晶圆等微米级结构测量。更强信号稳定性:蓝光单光子能量达 3.06eV,远高于红光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡胶、有机涂层)表面,能激发出更强散射信号;同时穿透性更低,仅在材料表层作用,避免内部折射干扰,适合表面精准测量。更优抗干扰能力:蓝光波段与红热辐射(500nm 以上)、户外强光(可见光为主)重叠度低,搭配专用滤光片后,可有效隔绝高温物体自发光、阳光直射等干扰,这是红光难以实现的。2. 蓝光激光位移传感器的原理构造是怎样的?为何能实现高精度测量?蓝光传感器的高精度的核心是 “光学设计 + 信号处理 + ...
泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览 2025 - 09 - 05 高精度测量传感器全系列:赋能精密制造,适配多元检测需求聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点,我们推出全系列高性能测量传感器,覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景,以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心,为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍:1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器:半导体材料测厚专属核心用途:专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料设计,精准实现晶圆等器件的厚度测量。性能优点:精度卓越:±0.1μm 线性精度 + 2nm 重复精度,确保测量数据稳定可靠;量程适配:覆盖 10μm2mm 测厚范围,满足多数半导体材料检测需求;高效高速:40kHz 采样速度,快速捕捉厚度数据,适配在线检测节奏;灵活适配:宽范围工作距离设计,可灵活匹配不同规格的检测设备与场景。2. 分体式对焦传感器:半导体 / 面板缺陷检测的 “高速对焦助手”核心用途:针对半导体、面板领域的高精度缺陷检测场景,提供高速实时对焦支持,尤其适配显微对焦类检测设备。性能优点:对焦速度快:50kHz 高速对焦,同步匹配缺陷检测的实时性需求;对焦精度高:0.5μm 对焦精度,保障缺陷成像清晰、检测无偏差;设计灵活:分体式结构,可根据检测设备的安装空间与布局灵活调整,降低适配难度。3. LT-R 反射膜厚仪:极薄膜厚检测的 “精密管家”核心用途:专注于极薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全国产激光位移传感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移传感器产品技术报告尊敬的客户: 感谢您对泓川科技激光位移传感器产品的关注与信任。为帮助您全面了解我司产品,现将激光位移传感器相关技术信息从参数指标、设计原理、结构设计等八大核心维度进行详细说明,为您的选型、使用及维护提供专业参考。一、参数指标我司激光位移传感器涵盖 LTP400 系列与 LTP450 系列,各型号核心参数经纳米级高精度激光干涉仪标定验证,确保数据精准可靠,具体参数如下表所示:表 1:LTP400EA参数表参数类别具体参数LTP400EA备注基础测量参数测量中心距离400mm以量程中心位置计算(*1)量程200mm-重复精度(静态)3μm测量标准白色陶瓷样件,50kHz 无平均,取 65536 组数据均方根偏差(*2)线性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用纳米级激光干涉仪标定(*3)光源与光斑光源类型-激光功率可定制,部分型号提供 405nm 蓝光版本(*4)光束直径聚焦点光斑 Φ300μm中心位置直径,两端相对变大(*5)电气参数电源电压DC9-36V-功耗约 2.5W-短路保护反向连接保护、过电流保护-输出与通信模拟量输出(选配)电压:0-5V/010V/-1010V;电流:420mA探头可独立提供电压、电流与 RS485 输出(*6)通讯接口RS485 串口、TCP/IP 网口可选配模拟电压 / 电流输出模块(*7)响应...
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