激光位移 - 无锡泓川科技有限公司

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利用高速高精度激光位移传感器测量低频物体振动以降低使用成本

2023 - 08 - 21

摘要：本报告提出了一种利用高精度激光位移传感器测量物体振动的方案。通过测量被测物的位移量，并确定振动的时间点，可以计算出振动频率和振动模式。相比多普勒测振仪，激光位移传感器具有更低的成本，在低频范围内（1000Hz以下）可以进行振动测量。本方案详细介绍了方案设计、设备选择、实验验证以及成本核算，并通过实验数据和算法验证了方案的可行性和准确性。引言物体振动是许多领域的重要研究对象，包括机械、汽车、航空航天等。传统的多普勒测振仪可以用于高频振动测量，但其成本较高，对于低频振动测量（1000Hz以下）不适用。因此，本方案提出了一种利用高精度激光位移传感器测量物体振动的方案，以满足低频振动测量的需求。方案设计利用高精度激光位移传感器测量物体振动的方案设计如下：2.1 设备选择选择一台高精度激光位移传感器，具备以下特点：高测量精度：具备亚微米级的测量精度，满足振动测量的要求。高响应频率：能够以高速响应的方式进行位移测量，捕捉到物体振动的细微变化。宽测量范围：具备较大的测量范围，适应不同物体振动的需求。2.2 传感器布置与测量原理将激光位移传感器布置在被测物体附近，并对其进行校准和调试。在物体振动过程中，传感器测量物体的位移量。传感器工作原理基于激光光束照射到物体表面，测量光斑的位置随时间的变化，从而获得物体的位移信息。2.3 数据处理与振动频率计算根据传感器测得的位移量数据，通过数据处理和信...
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运用高精度激光位移传感器进行非接触测量工件倾斜度的应用与实践

2024 - 01 - 21

在制造业、航空航天、光学制造等行业中，准确地测量工件表面的平整度和倾斜度对于产品质量、设备性能和工程安全至关重要。为了适应这一需求，本文将详细介绍运用高精度激光位移传感器进行非接触测量工件倾斜度的具体操作步骤、应用领域以及如何通过实例演示其测量原理和效果。首先，测量设备的配置环节。需要准备3到5个高精度激光位移传感器，并配合用于数据分析处理的微机软件。在开始测量之前，传感器需要先行进行标定，以一个已知的标准平面作为参照进行校准，并让所有传感器的数值归零。这一步骤保证了测量过程的准确性，也为后续的数据分析奠定了基础。进行实测时，将待测工件放置在需要测量的表面上。根据物体表面的倾斜情况，每个传感器所显示的数值会出现差距。后续，我们可以通过微机软件读取这些二次数据，进行处理，从而精确地得出倾斜度和平整度等参数。值得注意的是，我们选择3-5个传感器进行测量的原因是，三个传感器可以保证确定一个平面的最少需求。在成本允许的情况下，增加到五个传感器进行多点测量，可以有效提高测量的准确性和稳定性。另外，在使用过程中，对传感器的同步性有很高的要求，尤其是采样速度。最好达到5k以上，以便实时调整待测表面，使得调整结果更精准，并且满足实时性的需求。当然，高精度激光位移传感器的应用领域非常广泛。在制造业，尤其是汽车制造业和机械加工行业中，通过测量工件表面的倾斜度和平整度，可以有效进行质量控制和生产过程优化...
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求购激光位移传感器：量程200mm/500mm、采样>48kHz、±0.05%线性度？-泓川科技给您答案！

2025 - 03 - 14

泓川科技LTP系列激光位移传感器全面匹配您的技术需求尊敬的客户：感谢您对泓川科技产品的关注！针对您提出的高精度激光位移传感器需求，我司LTP系列产品凭借卓越性能与灵活定制能力，可完全满足您的技术要求，具体对应如下：一、核心参数精准匹配需求项LTP400（200mm）LTP450（500mm）量程200mm（±100mm）500mm（±250mm）线性度±0.03%F.S.（优于要求）±0.05%F.S.（达标）重复精度（静态）±0.03%F.S.±0.05%F.S.采样频率50kHz全量程（达标）50kHz全量程（达标）输出信号-10V～10V（选配模块）-10V～10V（选配模块）技术优势说明：超高采样频率：LTP400/LTP450全量程下支持50kHz采样（48kHz），且可缩短量程至20%时提升至160kHz，满足高速动态测量需求（如振动检测、高速产线）。响应时间最低6.25μs（通过参数表*6可选配置），确保实时数据捕获能力。纳米级标定精度：基于纳米级激光干涉仪标定技术（参数表*3），线性度与重复性指标通过严格验证，确保长期稳定性。多输出模式兼容：支持**-10V～10V模拟输出**（需选配模块）、4～20mA电流输出、RS485及TCP/IP通讯，适配各类工业控制系统。48kHz、±0.05%线性度...
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光谱共焦传感器在IC芯片测量领域的应用剖析（上）

2025 - 01 - 20

一、引言1.1 研究背景与意义在当今数字化时代，IC 芯片作为现代电子设备的核心部件，其重要性不言而喻。从智能手机、电脑到汽车电子、工业控制，乃至新兴的人工智能、物联网等领域，IC 芯片无处不在，如同电子设备的 “大脑”，掌控着设备的运行与功能实现。其发展水平不仅是衡量一个国家科技实力的重要标志，更在全球经济竞争中占据着关键地位。近年来，IC 芯片产业呈现出蓬勃发展的态势。随着摩尔定律的持续推进，芯片的集成度不断提高，尺寸愈发微小，性能却实现了质的飞跃。与此同时，5G、人工智能、大数据等新兴技术的迅猛发展，为 IC 芯片产业注入了强大的发展动力，市场对芯片的需求呈现出爆发式增长。在 IC 芯片制造的复杂流程中，精确测量起着举足轻重的作用，如同工匠手中精准的量具，确保每一个环节都达到极高的精度标准。从芯片设计阶段的版图测量，到制造过程中的光刻、蚀刻、沉积等工艺的尺寸控制，再到封装测试阶段对芯片外形、引脚等的精确测量，每一步都离不开高精度测量技术的支撑。只有通过精确测量，才能保证芯片的性能、良率以及可靠性，满足市场对高质量芯片的严苛要求。光谱共焦传感器作为一种先进的测量技术，凭借其独特的工作原理和卓越的性能优势，在 IC 芯片测量领域展现出了巨大的潜力。它能够实现对芯片表面形貌、厚度、尺寸等参数的高精度非接触测量，为芯片制造提供了可靠的数据支持。这种高精度测量对于提高芯片制造工艺的精度...
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激光位移传感器在汽车行业各种应用案例

2023 - 02 - 20

1、激光位移传感器在轮胎转速测量中有重要作用。通常，一台汽车的轮胎都包含有激光位移传感器，它可以准确地测量出车轮的输出速度。该传感器利用轮胎上绕着水平或垂直线的激光点来测量轮胎行驶距离和变速器输出转速，从而确定变速比。此外，它还能准确地测量车轮上的前后运动，特别是对于汽车行驶的直线行驶和转弯的控制都有着重要的作用。2、激光位移传感器在防撞技术中也得到了广泛应用。它通常会被安装在前脸和侧面，通过测量前脸物体和周围物体的距离来调整外防撞车身和限速门控驾驶，从而有效地防止汽车发生碰撞，保护汽车行驶的安全。 3、激光位移传感器在停车技术中也得到了广泛应用。它不仅可以测量汽车行驶距离、角度和速度，还可以准确地记录汽车在停车时的位置，并在遇到障害的情况下立即触发保护电路或自动脱离，从而避免发生碰撞事故。 4、激光位移传感器也被广泛用于汽车行驶辅助系统中，它可以准确地测量出汽车行驶距离、方向及车速，为汽车驾驶员提供实时信息，以增加驾驶操控质量，帮助驾驶员进行准确的行驶安排和调整。 5、激光位移传感器也在汽车悬挂系统中得到应用，它可以测量每个车轮的距离及方向，并建立一个三维的实时图像。这种三维的实时图像可以非常准确地反映出汽车悬挂系统的表现，从而使汽车行驶的平稳性和操控性都大大提高。6、激光位移传感器还可用于汽车智能辅助驾驶系统中，这种系统结合了导航、安全显...
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汽车发动机缸孔内壁瑕疵检测报告--激光光纤内孔内管孔壁测量仪

2024 - 11 - 24

样品检查报告书添加图片注释，不超过 140 字（可选）□ 全部可检出 □ 全部可检出（存在过度判定） ■ 部分可检出（6个孔中有2个可检出） □ 不可检出 □ 需要追加检查检查结果】由于未收到客户对于本次检查对象孔洞的判定结果，我们已通过⽬视确认将可⻅的划痕作为缺陷进⾏了检测。在6个被检孔洞中，有2个孔洞通过⽬视检测到了可⻅的划痕。剩余的4个孔洞，⽆论是通过⽬视还是数据分析，均未发现划痕或其他缺陷，因此未检出。（请参考第5⻚及之后的成像数据）【制造商意⻅】请客户也确认本次检测出的缺陷部位是否符合缺陷规格，即这些是否确实为应检出的缺陷。另外，在检测出缺陷的第②和第⑤个⼯作件中，还存在对⾮缺陷部位的误检。如果是在清洗前的状态下进⾏检查，由于污垢的附着，可能会导致难以捕捉到真正的缺陷部位，或者像本次⼀样，将污垢误判为缺陷。因此，如果考虑引⼊系统进⾏检测，请考虑将其安排在清洗后的⼯序中进⾏。此外，关于④A和④B两个孔洞，由于本次提供了切割⼯作件作为样本，因此能够进⾏拍摄。但在正规产品中，可能会因为探头⽀架等部件的接触⽽⽆法进⾏全⻓度的检查。考虑到实际的检查环境，我们认为有必要评估在产品状态下进⾏检查的可⾏性。（详情请参阅第3⻚）【后续推进⽅案】基于本次结果，如果您考虑引⼊内孔瑕疵检测系统，我们⾸先建议在图纸上评估④A和④B部位在产品状态下是否可以进⾏检查，并随后进⾏n次追加验证（有偿）。在...
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详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

2023 - 09 - 16

大家好，今天给大家详细说明下目前我们市面上用的激光位移传感器内部构造及详细原理、应用、市场种类、及未来发展，我在网上搜索了很多资料，发现各大平台或者厂商提供的信息大多千篇一律或者式只言片语，要么是之说出大概原理，要买只讲出产品应用，对于真正想了解激光位移传感器三角回差原理的朋友们来说总是没有用办法说透，我今天花点时间整理了各大平台的大牛们的解释，再结合自己对产品这么多年来的认识，整理出以下这篇文章，希望能给想要了解这种原理的小伙伴一点帮助！好了废话不多说我们直接上干货首先我们要说明市面上的激光测量位移或者距离的原理有很多，比如最常用的激光三角原理，TOF时间飞行原理，光谱共焦原理和相位干涉原理，我们今天给大家详细介绍的是激光三角测量法和激光回波分析法，激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量，而激光回波分析法则用于远距离测量，下面分别介绍激光三角测量原理和激光回波分析原理。让我们给大家分享一个激光位移传感器原理图，一般激光位移传感器采用的基本原理是光学三角法：半导体激光器：半导体激光器①被镜片②聚焦到被测物体⑥。反射光被镜片③收集，投射到CMOS阵列④上；信号处理器⑤通过三角函数计算阵列④上的光点位置得到距物体的距离。一、激光位移传感器原理之激光三角测量法原理1．激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面，经物体反射的激光通过接收器镜头，被内部的CCD线性相机接收，根据...
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白光干涉测厚传感器在晶圆水膜厚度测量中的应用及操作步骤详解

2024 - 01 - 21

白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备，广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理，通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光（白光）投射到待测薄膜表面上，并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射，两个反射面之间的光程差会导致不同波长（颜色）的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱，可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度测量中具有以下优势：1. 测量范围广：能够测量几微米到1mm左右范围的厚度。2. 小光斑和高速测量：采用SLD（Superluminescent Diode）作为光源，具有小光斑和高速测量的特点，能够实现快速准确的测量。下面是使用白光干涉测厚仪测量晶圆上水膜厚度的详细步骤：1. 准备工作：确保待测晶圆样品表面清洁平整，无杂质和气泡。2. 参数设置：调整白光干测厚涉仪到合适的工作模式，并确定合适的测量参数和光学系统设置。根据具体要求选择光谱范围、采集速度等参数。3. 样品放置：将待测晶圆放置在白光干涉测厚仪的测量台上，并固定好位置，使其与光学系统保持稳定的接触。确保样品与测量台平行，并避免外界干扰因素。4. 启动测量：启动白光干涉测厚仪，开始测量水膜厚度。通过记录和分析返回光的光谱，可以得到晶圆上水膜的厚度信息。可以通过软件实时显示和记录数据。5. 连续监测：对于需要连续监测晶圆上水膜厚度变...

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求购激光位移传感器：量程200mm/500mm、采样48kHz、±0.05%线性度？-泓川... 2025 - 03 - 14 泓川科技LTP系列激光位移传感器全面匹配您的技术需求尊敬的客户：感谢您对泓川科技产品的关注！针对您提出的高精度激光位移传感器需求，我司LTP系列产品凭借卓越性能与灵活定制能力，可完全满足您的技术要求，具体对应如下：一、核心参数精准匹配需求项LTP400（200mm）LTP450（500mm）量程200mm（±100mm）500mm（±250mm）线性度±0.03%F.S.（优于要求）±0.05%F.S.（达标）重复精度（静态）±0.03%F.S.±0.05%F.S.采样频率50kHz全量程（达标）50kHz全量程（达标）输出信号-10V～10V（选配模块）-10V～10V（选配模块）技术优势说明：超高采样频率：LTP400/LTP450全量程下支持50kHz采样（48kHz），且可缩短量程至20%时提升至160kHz，满足高速动态测量需求（如振动检测、高速产线）。响应时间最低6.25μs（通过参数表*6可选配置），确保实时数据捕获能力。纳米级标定精度：基于纳米级激光干涉仪标定技术（参数表*3），线性度与重复性指标通过严格验证，确保长期稳定性。多输出模式兼容：支持**-10V～10V模拟输出**（需选配模块）、4～20mA电流输出、RS485及TCP/IP通讯，适配各类工业控制系统。48kHz、±0.05%线性度...

案例应用 | 基于光谱共焦技术的DPC陶瓷基板金属层测厚方案 2025 - 03 - 06 背景与挑战随着电子封装技术的快速发展，直接镀铜陶瓷基板（DPC）因具备优异的导热性、机械强度及耐高温性能，被广泛应用于大功率LED、IGBT模块等领域。然而，其表面金属镀层的厚度均匀性直接影响器件的散热效率与可靠性。某客户需对一批DPC基板进行全检，要求**在正反面各选取10个金属块（含2个重复基准点）**进行高精度厚度测量，并同步获取表面轮廓与中心区高度数据，以满足严格的工艺质量控制标准。解决方案针对客户需求，我们采用LTC1200系列光谱共焦传感器（配套高精度运动平台与测控软件），设计了一套非接触式三维测厚方案：设备选型量程：±600μm（覆盖金属层典型厚度范围）重复精度：0.03μm（静态，确保基准点数据一致性）线性误差：＜±0.3μm（满足亚微米级公差要求）采样频率：10kHz（高速扫描提升检测效率）选用LTC1200B型号传感器（光斑直径约19μm），兼顾测量精度与金属表面反射特性需求，其技术参数如下：搭配亚微米级定位平台，确保扫描路径精确控制。基准点设定以陶瓷基板裸露区域作为基准面，在正反面各设置2个重复测量点，通过传感器实时比对基准高度数据，消除基板翘曲或装夹误差对厚度计算的影响。实施流程数据采集：沿预设路径扫描金属块，同步记录轮廓点云与中心区高度（软件自动拟合最高点作为厚度参考值）。厚度计算：基于公式：\text{金属层厚度} = \text{金...

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