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Case 激光位移

高精度激光测距传感器在非接触测量变形与平面度中的应用研究报告(一)

日期: 2025-02-01
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一、引言

1.1 研究背景与意义

在现代工业生产和科学研究的广袤版图中,高精度的测量技术宛如基石,支撑着各个领域的蓬勃发展。而高精度激光测距传感器,作为非接触测量领域的璀璨明星,正以其卓越的性能和独特的优势,在变形和平面度测量领域掀起一场技术革新的风暴。
在工业生产领域,无论是汽车制造中对车身面板平整度的严苛要求,还是电子设备制造中对电路板微小变形的精细把控,高精度激光测距传感器都扮演着不可或缺的角色。以汽车制造为例,车身面板的平面度直接影响到汽车的外观美感和空气动力学性能。哪怕是极其细微的变形,都可能在高速行驶时引发气流紊乱,增加风阻,进而影响燃油经济性和行驶稳定性。而借助高精度激光测距传感器,能够实现对车身面板全方位、高精度的检测,及时发现并纠正微小的变形缺陷,确保每一辆出厂的汽车都拥有完美的车身线条和卓越的性能表现。在电子设备制造中,电路板的微小变形可能导致电子元件之间的连接出现故障,影响设备的正常运行。高精度激光测距传感器可以精确测量电路板的变形情况,为生产工艺的优化提供关键数据支持,保障电子产品的质量和可靠性。
在科学研究领域,高精度激光测距传感器同样大显身手。在材料科学研究中,研究人员需要深入了解材料在不同应力条件下的变形特性,以开发出性能更优异的新材料。高精度激光测距传感器能够实时、准确地测量材料的变形过程,为材料力学性能的研究提供精准的数据,推动材料科学的不断进步。在天文学观测中,对天体表面的平整度和变形的研究有助于我们深入了解天体的演化过程和物理特性。高精度激光测距传感器可以帮助天文学家实现对遥远天体的高精度测量,拓展人类对宇宙的认知边界。

1.2 研究目的与内容

本研究旨在深入剖析高精度激光测距传感器在非接触测量变形和平面度测量中的核心技术,为相关领域的技术升级和应用拓展提供坚实的理论基础和实践指导。具体而言,将围绕以下几个关键方面展开深入探究。
其一,全面且深入地研究高精度激光测距传感器的测量方式。细致梳理不同类型的激光测距传感器,如脉冲式、相位式和三角测量式等,深入分析它们各自的工作原理、适用场景以及独特的优势与局限性。以脉冲式激光测距传感器为例,它通过测量激光脉冲从发射到接收的时间差来计算距离,具有测量距离远的显著优势,适用于对大型物体或远距离目标的变形和平面度测量;而相位式激光测距传感器则利用调制后的连续波激光束,通过检测发射光和反射光之间的相位差来计算距离,在中短距离测量中展现出高精度和稳定性的特点,常用于对精度要求极高的精密部件测量。
其二,深入钻研基于激光测距数据的变形和平面度测量算法。这些算法如同精密的工匠,能够从原始的激光测距数据中精准提炼出物体的变形和平面度信息。研究内容将涵盖经典算法的原理剖析、性能评估以及在实际应用中的优化策略。同时,密切关注前沿的算法研究动态,探索将机器学习、深度学习等新兴技术融入测量算法的可能性,以进一步提升测量的精度和效率。例如,通过机器学习算法对大量的测量数据进行学习和分析,能够自动识别出测量数据中的异常值和噪声,并进行有效的处理,从而提高测量结果的准确性和可靠性。
其三,详细推导并阐释测量过程中所涉及的关键公式。这些公式是理解测量原理和数据处理过程的关键密码,它们清晰地展示了激光测距传感器的测量参数与物体变形、平面度之间的内在数学关系。通过对公式的深入解读和实际应用案例的分析,帮助读者更好地掌握测量技术的核心要点,为实际工程应用提供有力的数学工具。

1.3 研究方法与创新点

本研究综合运用了多种科学研究方法,以确保研究的全面性、深入性和可靠性。
文献研究法是本研究的重要基石。通过广泛查阅国内外相关领域的学术文献、技术报告和专利资料,全面梳理高精度激光测距传感器的发展历程、研究现状和前沿动态。深入剖析已有的研究成果和实践经验,汲取其中的精华,为后续的研究提供坚实的理论基础和丰富的思路启发。同时,通过对文献的综合分析,敏锐洞察当前研究中存在的不足之处和亟待解决的问题,明确本研究的重点和方向。
案例分析法为研究注入了丰富的实践内涵。深入研究工业生产和科学研究中的实际应用案例,详细分析高精度激光测距传感器在不同场景下的测量方案、实施过程和应用效果。通过对实际案例的深入剖析,总结成功经验和失败教训,揭示实际应用中可能遇到的问题和挑战,并提出针对性的解决方案和优化策略。例如,在分析某汽车制造企业使用高精度激光测距传感器进行车身面板平面度测量的案例时,详细了解其测量系统的选型、安装调试过程以及在生产过程中遇到的问题和解决方法,为其他企业提供宝贵的参考经验。
在研究过程中,本研究力求在多个方面实现创新突破。
在测量算法优化方面,提出了一种融合多尺度特征提取和自适应加权融合的新型算法。该算法能够充分利用激光测距数据中的多尺度信息,通过自适应加权融合策略,有效提高测量结果的精度和稳定性。在处理复杂形状物体的变形测量时,传统算法往往难以兼顾全局和局部的特征信息,导致测量精度受限。而本算法通过多尺度特征提取,能够同时捕捉物体的宏观和微观变形特征,并根据不同尺度特征的重要性进行自适应加权融合,从而实现更精准的测量。
在测量系统集成方面,创新性地提出了一种基于分布式传感器网络的高精度测量系统架构。该架构通过将多个激光测距传感器组成分布式网络,实现对大型物体或复杂场景的全方位、多角度测量。各个传感器之间通过无线通信技术进行数据交互和协同工作,能够实时共享测量数据,提高测量的覆盖范围和精度。同时,该架构还具备良好的扩展性和灵活性,能够根据实际测量需求方便地增减传感器节点,适应不同的测量场景和应用需求。

二、高精度激光测距传感器基础

2.1 工作原理

高精度激光测距传感器作为现代测量技术的关键设备,其工作原理基于激光的独特特性,通过巧妙的光学设计和精密的信号处理,实现对目标物体距离的精确测量。目前,常见的工作原理主要包括激光三角测量法和激光回波分析法,它们各自凭借独特的优势,在不同的应用场景中发挥着重要作用。

2.1.1 激光三角测量法

激光三角测量法,犹如一位精密的几何大师,巧妙地利用光线空间传播过程中的光学反射规律和相似三角形原理,在接收透镜的物空间与像空间构建起相似三角形关系,从而精准地计算出待测位移。这一方法根据入射激光和待测物体表面法线之间的夹角,可细分为倾斜式和直射式两种类型,它们各自有着独特的光路结构和数学推导。
先看倾斜式激光三角测距法。其光路图宛如一幅精心绘制的几何画卷,由激光器发射的激光束,以与物体表面法线成一定角度 α 的姿态,入射到被测物体表面。这束激光在物体表面发生反射和散射后,反射光经特定位置的透镜汇聚成像,最终被光敏单元敏锐地采集。在这个精心设计的光路系统中,有几个关键参数起着决定性作用。AB 表示激光器中心与 CCD 中心的基线距离,BF 代表透镜的焦距 f,D 则是被测物体距离基线无穷远处时反射光线在光敏单元上成像的极限位置。而 DE,这个光斑在光敏单元上偏离极限位置的位移,被记为 x,它承载着物体位移的关键信息。
当系统的光路确定后,这些参数便如同定海神针,为后续的距离计算提供了坚实的基础。根据光路图中清晰的几何关系,我们可以欣喜地发现△ABO 与△DEB 呈现出相似的美妙特性。利用这一相似关系,我们能够推导出边长关系,进而得出物体距离 y 与光斑位移 x 之间的紧密联系。在实际的测量过程中,我们可以巧妙地将 CCD 位置传感器的一个轴与基线 AB 平行(假设为 y 轴),通过先进的算法,从激光光点的像素坐标(Px,Py)中准确地获取 x 的值。当被测物体与基线 AB 产生相对位移时,x 会相应地改变为 x′,此时,通过之前推导得出的公式,我们就能轻松地计算出被测物体的距离 y,从而实现对物体位移的精确测量。
再观直射式激光三角测距法。当激光光束以垂直入射的姿态照射到被测物体表面时,即入射光线与被测物体表面法线完美共线,这便是直射式激光三角法的独特场景。在这种情况下,其光路图同样蕴含着独特的几何奥秘。仿照斜射式激光三角测距法的推导思路,我们可以通过严谨的几何分析,得出相应的距离计算公式。在实际应用中,直射式激光三角法凭借其在几何算法上的简洁性,展现出明显的优势。它的误差相较于斜射式更小,而且在结构设计上,体积可以更加紧凑小巧,这使得它在工程应用中备受青睐,成为众多测量场景中的首选方案。

倾斜式和直射式激光三角测距法在实际应用中各有千秋。斜射式激光三角法虽然成像的光斑较大,光强分布不够集中,且随入射角度的变化存在差异,导致体积相对较大,测量范围也受到一定限制,但其分辨率表现出色,在对分辨率要求较高的场景中发挥着重要作用;而直射式激光三角法,光斑与位置呈现出一一对应的清晰关系,在几何算法上更为简单直接,误差较小,体积小巧的特点使其在对测量精度和设备体积有严格要求的场合中大放异彩。 这两种方法均为高精度激光测距传感器在变形和平面度测量领域的广泛应用提供了坚实的技术支撑。

高精度激光测距传感器在非接触测量变形与平面度中的应用研究报告(一)

2.1.2 激光回波分析法

激光回波分析法,恰似一位时间的精密记录者,其原理基于激光的传播速度恒定这一物理特性,通过精确测量激光从发射到被目标物体反射回接收器的时间差,来巧妙地计算出目标物体与传感器之间的距离。在实际工作过程中,激光发射器如同一位不知疲倦的信使,每秒向检测对象发射出一百万个激光脉冲,这些脉冲以光速在空间中飞驰,直至遇到目标物体后发生反射,反射光迅速返回接收器。处理器则如同一位严谨的数学家,精准地计算出激光脉冲从发射到返回所需的时间,这个时间差与光速相结合,就能准确地计算出距离值。为了确保测量结果的准确性和稳定性,输出值通常是经过上千次测量结果的平均输出,这种严谨的处理方式有效地减少了测量误差,提高了测量的可靠性。
激光回波分析法在远距离检测领域展现出独特的优势,其最远检测距离可达令人惊叹的 250m,这使得它在诸如大型建筑结构的变形监测、矿山开采中的地形测量等需要远距离测量的场景中发挥着不可或缺的作用。然而,与激光三角测量法相比,激光回波分析法在测量精度上稍显逊色。这主要是因为在测量过程中,激光脉冲的传播时间极短,对时间测量的精度要求极高,而目前的技术水平在时间测量的精度上仍存在一定的限制,导致测量误差相对较大。此外,激光回波分析法还受到环境因素的影响较大,例如在多尘、多雨等恶劣天气条件下,激光脉冲在传播过程中会发生散射和衰减,使得接收到的反射光信号减弱,从而影响测量精度。

在实际应用中,我们需要根据具体的测量需求和场景特点,合理选择激光三角测量法或激光回波分析法。对于高精度、短距离的测量任务,如电子芯片制造中的微小尺寸测量、精密机械加工中的零部件精度检测等,激光三角测量法凭借其高分辨率和高精度的优势,能够满足严苛的测量要求;而对于远距离测量任务,如大型桥梁的变形监测、地质勘探中的地形测绘等,激光回波分析法虽然精度相对较低,但能够实现远距离的测量,为相关领域的研究和工程应用提供了重要的数据支持。

高精度激光测距传感器在非接触测量变形与平面度中的应用研究报告(一)

2.2 关键技术与参数

高精度激光测距传感器能够实现高精度的测量,离不开其背后一系列关键技术的支撑,同时,其测量性能也受到诸多重要参数的影响。深入了解这些关键技术和参数,对于优化传感器性能、提高测量精度以及拓展应用领域具有至关重要的意义。

2.2.1 关键技术

激光发射技术是高精度激光测距传感器的关键环节之一。激光器作为激光发射的核心部件,其选型与设计直接影响着传感器的性能。目前,常见的激光器类型包括半导体激光器、气体激光器和固体激光器。半导体激光器以其体积小、功耗低、易于集成等优势,在小型化激光测距传感器中得到了广泛应用。在设计激光器时,需要综合考虑多个因素,如激光的波长、功率、发散角和稳定性等。波长的选择需根据具体应用场景来确定,不同波长的激光在穿透能力、抗干扰能力等方面存在差异。例如,在一些需要穿透烟雾或灰尘的环境中,较长波长的激光可能具有更好的性能。功率的大小决定了激光的传播距离和反射光的强度,足够的功率能够保证在远距离测量时仍能接收到清晰的反射信号。发散角则影响着激光束的聚焦程度和光斑大小,较小的发散角有助于提高测量精度。稳定性也是至关重要的,稳定的激光输出能够确保测量结果的可靠性和重复性。
激光调制与控制技术同样不可或缺。激光调制是实现距离精确测量和抑制背景光干扰的关键手段。常见的调制方法有幅度调制、频率调制和相位调制。幅度调制通过改变激光的强度来携带信息,实现相对简单,在一些对测量精度要求不是特别高的场合得到了广泛应用。频率调制则通过改变激光的频率来传递信息,具有较高的抗干扰能力,在对测量精度要求较高的应用中表现出色。相位调制通过检测激光的相位变化来测量距离,精度极高,但实现较为复杂。在控制方面,精确控制激光脉冲的宽度和间隔是提高测距分辨率和距离范围的关键。通过合理调整脉冲宽度,可以控制激光的能量分布,提高测量的准确性;而精确控制脉冲间隔,则能够避免脉冲之间的相互干扰,确保测量的稳定性。
光学接收技术是高精度激光测距传感器的另一重要组成部分。光学系统负责收集由目标反射回来的微弱激光信号,其设计直接影响着传感器的灵敏度和测量精度。在设计光学系统时,需要充分考虑视场角、孔径、透光率和杂散光抑制等因素。视场角决定了传感器能够观测的范围,合适的视场角能够确保目标物体始终在传感器的观测范围内。孔径影响着光学系统收集光线的能力,较大的孔径能够收集更多的反射光,提高信号强度。透光率则关系到光学元件对激光的传输效率,高透光率的光学元件能够减少光线的损失,提高信号质量。杂散光抑制技术能够有效地减少外界杂散光对测量信号的干扰,提高测量的准确性。
光电探测器作为将光信号转换为电信号的核心部件,其选型与优化至关重要。根据不同的应用需求,可选择 PIN 型、APD(雪崩光电二极管)或 MPD(多元素光电二极管)等不同类型的光电探测器。PIN 型光电探测器具有结构简单、成本低的优点,但响应速度相对较慢,适用于一些对响应速度要求不高的场合。APD 具有较高的增益和快速的响应速度,能够检测到微弱的光信号,在远距离测量和对测量精度要求较高的场景中得到广泛应用。MPD 则适用于需要同时检测多个光斑或对光斑位置精度要求较高的应用。优化探测器的工作条件,如偏置电压和温度,是提高探测效率和信号质量的关键。合适的偏置电压能够使探测器工作在最佳状态,提高其灵敏度和响应速度;而控制好温度,则可以减少探测器的噪声,提高测量的稳定性。
信号处理与解算技术是高精度激光测距传感器实现高精度测量的关键环节。信号处理包括放大、滤波、脉冲整形等步骤,旨在提高信号的质量和解析度。现代激光测距传感器常采用数字信号处理技术,通过快速傅里叶变换(FFT)和数字滤波器等手段,能够有效地去除噪声干扰,提高信号的准确性。距离解算算法直接关系到测距结果的准确性,常见的算法包括直接飞行时间(TOF)测量法、相位差测量法和干涉测量法等。这些算法通过处理返回信号的时域或频域信息来确定目标距离,算法的选择取决于测量的精度、范围和速度等要求。随着计算技术的不断发展,更复杂的算法如模糊度解析和噪声抑制技术被应用于提高测距性能,这些先进的算法能够进一步提高测量的精度和可靠性,满足日益增长的高精度测量需求。

2.2.2 主要参数

精度是高精度激光测距传感器最为关键的参数之一,它直接反映了测量结果与真实值之间的接近程度。精度受到多种因素的综合影响,包括激光发射的稳定性、光学系统的精度、信号处理的准确性以及测量环境的干扰等。在激光发射环节,激光器的波长稳定性、功率波动等因素都会对测量精度产生影响。如果激光器的波长发生漂移,那么在测量过程中,根据波长计算的距离值也会出现偏差。功率波动则可能导致反射光信号的强度不稳定,从而影响信号处理的准确性。光学系统的精度同样至关重要,透镜的制造精度、安装误差等都可能导致光线的聚焦不准确,进而影响测量精度。信号处理过程中的噪声干扰、算法的精度等也会对最终的测量结果产生影响。在实际应用中,为了提高精度,需要采取一系列措施,如选用高质量的激光器和光学元件、优化信号处理算法、对测量环境进行严格控制等。
分辨率是指传感器能够区分的最小距离变化,它体现了传感器对微小变化的敏感程度。分辨率的高低直接影响着传感器在高精度测量任务中的表现。在一些对微小变形或平面度要求极高的应用中,如半导体芯片制造、精密光学元件加工等,高分辨率的传感器能够准确地检测到微小的变化,为生产过程提供精确的反馈。分辨率受到多种因素的制约,其中光学系统的设计和探测器的性能起着关键作用。光学系统的分辨率决定了其能够分辨的最小光斑尺寸,而探测器的分辨率则决定了其能够检测到的最小光信号变化。此外,信号处理算法也会对分辨率产生影响,先进的算法能够有效地提高分辨率,从噪声中提取出微小的信号变化。
测量范围是指传感器能够测量的距离区间,它在不同的应用场景中具有重要的意义。在一些大型结构的变形测量中,如桥梁、建筑等,需要传感器具有较大的测量范围,以便能够覆盖整个结构的测量区域。而在一些精密零部件的测量中,虽然测量范围相对较小,但对精度和分辨率的要求却极高。测量范围与激光的功率、探测器的灵敏度以及信号处理能力密切相关。较高的激光功率能够使激光传播更远的距离,从而扩大测量范围。探测器的高灵敏度则能够检测到远距离反射回来的微弱光信号。信号处理能力则决定了传感器能够有效地处理不同距离下的信号,确保测量的准确性。
测量速度是指传感器完成一次测量所需的时间,它在动态测量场景中起着至关重要的作用。在一些需要实时监测物体运动状态或变形过程的应用中,如机器人运动控制、振动测量等,快速的测量速度能够及时捕捉到物体的变化,为后续的控制和分析提供准确的数据支持。测量速度受到激光发射频率、信号处理速度以及数据传输速度等因素的限制。提高激光发射频率可以增加单位时间内的测量次数,从而提高测量速度。快速的信号处理算法和高效的数据传输接口能够减少信号处理和数据传输的时间,进一步提高测量速度。在实际应用中,需要根据具体的测量需求,在测量速度、精度和其他参数之间进行合理的权衡,以选择最合适的传感器。

三、非接触测量变形的测量方式与算法

3.1 测量方式

在高精度激光测距传感器用于非接触测量变形的领域中,发展出了多种各具特色的测量方式,每种方式都依据其独特的原理和技术优势,在不同的应用场景中发挥着关键作用。这些测量方式的不断创新和完善,为实现高精度、高效率的变形测量提供了坚实的技术支撑。

3.1.1 移动工件或传感器头测量

移动工件或传感器头进行测量,是一种基础且应用广泛的测量方式。其操作过程蕴含着精密的测量逻辑。在实际操作时,可通过机械传动装置,如高精度的直线导轨和伺服电机,来实现工件或传感器头的稳定移动。以测量液晶表面弯曲为例,将液晶面板放置在高精度的移动工作台上,通过计算机控制工作台的移动,使液晶表面依次经过激光测距传感器的测量区域。在移动过程中,激光测距传感器以极高的频率发射激光束,精确测量液晶表面与传感器之间的距离。这些距离数据被实时采集并传输至数据处理系统,系统根据预先设定的算法,对这些数据进行分析和处理。通过对不同位置距离数据的对比和计算,能够准确地确定液晶表面的弯曲程度和弯曲方向。
这种测量方式在实际应用中展现出诸多显著优势。它能够适应不同尺寸的工件,无论是小型的电子元件,还是大型的机械部件,都能进行有效的变形测量。这得益于其灵活的测量方式,只需根据工件的大小和形状,合理调整移动装置和传感器的参数,即可实现对不同工件的测量。它还可以使用多种类型的测量仪器,如常见的三角测量式激光测距传感器、相位式激光测距传感器等,这使得测量方式具有更强的适应性和选择性。在一些对测量精度要求极高的场合,可以选择精度更高的相位式激光测距传感器;而在对测量速度要求较高的场合,则可以选择测量速度更快的三角测量式激光测距传感器。
然而,这种测量方式也存在一些不可忽视的缺点。在移动过程中,由于机械装置的精度限制和外界环境的干扰,可能会产生起伏和振动,这些微小的变化会导致测量误差的产生。如果直线导轨的精度不够高,或者伺服电机的控制不够精准,就会使工件或传感器头在移动过程中出现微小的晃动,从而影响测量结果的准确性。移动过程需要一定的时间,这在一些对测量效率要求极高的生产线上,可能会成为制约生产效率的因素。移动还需要额外的设备,如高精度的移动工作台、传动装置和控制系统等,这不仅增加了设备成本,还增加了系统的复杂性和维护难度。

3.1.2 使用 2D 传感器测量

基于 2D 传感器测量变形的原理,建立在其独特的光学成像和信号处理技术之上。2D 传感器通常采用激光三角测量原理,通过柱面物镜将激光光束扩大为条状,随后激光在目标物上产生漫射。反射光在 HSE3 - CMOS 上成像,通过检测位置、形状的变化来测量位移和形状。以冲压部件平坦度测量为案例,将 2D 激光传感器安装在固定支架上,使其测量方向垂直于冲压部件的表面。当冲压部件在生产线上匀速通过传感器下方时,传感器发射的激光条照射在冲压部件表面,反射光被传感器接收并转化为电信号。传感器内部的信号处理电路对这些电信号进行放大、滤波和数字化处理,然后将数字化的数据传输至计算机。计算机通过专门的算法,对这些数据进行分析和处理,通过计算指定点之间的高度差,来检测冲压部件的变形状况。
使用 2D 传感器进行测量具有独特的优势。它能够瞬间进行测量,无需移动工件或传感器,这大大提高了测量效率,特别适合在高速生产线上对产品进行实时检测。在汽车零部件生产线上,冲压部件的生产速度非常快,使用 2D 传感器可以在瞬间完成对冲压部件平坦度的测量,及时发现不合格产品,提高生产效率和产品质量。它无需复杂的移动机构,减少了设备成本和维护难度。由于 2D 传感器结构相对简单,安装和调试也比较方便,只需要将其固定在合适的位置,即可进行测量。
但这种测量方式也存在一定的局限性。它无法测量传感器测量范围以上的大型工件,如果冲压部件的尺寸超出了 2D 传感器的测量范围,就无法完整地测量其变形情况。在一些大型机械部件的生产中,由于部件尺寸较大,2D 传感器可能无法满足测量需求。对于复杂形状的工件,2D 传感器的测量精度可能会受到影响,因为复杂形状的工件表面反射光的分布较为复杂,可能会导致传感器接收的信号不准确,从而影响测量精度。

3.1.3 使用多个传感器测量

多个传感器测量变形的方法,通过巧妙的布局和数据融合算法,能够实现对物体变形状况的全面、准确测量。在实际应用中,通常会根据物体的形状和测量要求,合理布置多个传感器。以测量底盘的平面度为例,在底盘的关键位置,如四个角和中心位置,分别安装激光测距传感器。这些传感器同时工作,实时测量各自位置与底盘表面之间的距离。通过计算各传感器测得的高度数据,能够准确获得底盘的变形和平面度状况。
在计算变形状况时,可采用以下公式:假设三个传感器的测量值分别为 A、B、C,则测量值 1 = A - (B + C) / 2,测量值 2 = B - (A + C) / 2,测量值 3 = C - (A + B) / 2。通过这些公式,可以计算出每个点相对于其他点的变形情况,从而全面了解底盘的变形状况。在计算平面度时,可通过计算测量值最大值和最小值的差来确定,如测量值 1 = 最大值 (A, B, C) - 最小值 (A, B, C),这个差值越小,说明底盘的平面度越好。
使用多个传感器进行测量具有显著的优点。它能够立即测量目标,无需移动工件或传感器,提高了测量效率和便捷性。在工业生产中,可以在生产线上直接安装多个传感器,对产品进行实时监测,及时发现产品的变形问题。它能够测量较大的工件,通过合理布置传感器,可以覆盖大型工件的各个部位,实现对大型工件的全面测量。多个传感器同时测量,能够提供更丰富的数据,通过数据融合算法,可以提高测量的准确性和可靠性。
但这种测量方式也存在一些缺点。需要使用多个传感器,这无疑增加了设备成本和系统复杂度。每个传感器都需要独立的信号传输线路和数据处理单元,这不仅增加了硬件成本,还增加了系统的布线和调试难度。由于只能获得测量点的变形状况,无法确认全部目标的变形情况,对于一些形状复杂、变形不均匀的工件,可能无法全面准确地反映其变形状况。在一些具有不规则形状的机械部件中,仅通过几个测量点的数据,可能无法准确描述整个部件的变形情况。

3.2 算法分析

在高精度激光测距传感器用于非接触测量变形的技术体系中,算法作为核心要素,如同精密的大脑,对测量数据进行深度处理和分析,从而实现对物体变形的精确测量和分析。随着技术的不断发展,各种先进的算法不断涌现,为提高测量精度和效率提供了强大的支持。

3.2.1 理想光斑定位算法

理想光斑定位算法在高精度激光测距传感器测量变形的过程中,扮演着至关重要的角色,是实现高精度测量的关键环节。其实现高精度光斑定位的过程,融合了先进的光学原理和复杂的数学算法。在激光测距传感器工作时,发射的激光束照射到目标物体表面后,会形成反射光斑。理想光斑定位算法首先通过高分辨率的光学成像系统,将反射光斑清晰地成像在图像传感器上。图像传感器将光信号转换为电信号,并传输至信号处理单元。信号处理单元采用先进的边缘检测算法,如 Canny 算法,对光斑图像进行处理。Canny 算法能够准确地检测出光斑的边缘,通过对边缘像素点的坐标进行精确计算,能够确定光斑的大致位置。为了进一步提高定位精度,算法还会采用亚像素定位技术,如基于灰度矩的亚像素定位算法。该算法通过计算光斑图像的灰度矩,将光斑的定位精度提高到亚像素级别,从而实现高精度的光斑定位。
通过实现高精度的光斑定位,理想光斑定位算法能够有效提升测量精度。在测量物体变形时,光斑位置的微小变化都反映了物体表面的变形情况。通过精确确定光斑位置,能够准确测量出物体表面的位移和变形量。在测量液晶表面的弯曲时,高精度的光斑定位能够检测到液晶表面纳米级别的变形,为液晶显示器的生产和质量控制提供了重要的数据支持。高精度的光斑定位还能够减少测量误差,提高测量的可靠性和重复性。在多次测量同一物体时,由于光斑定位的准确性,能够保证每次测量结果的一致性,从而提高测量数据的可信度。

3.2.2 不同表面自适应分类控制算法

不同表面自适应分类控制算法,是一种针对不同材质表面测量适应性调整的智能算法,它能够根据目标物体表面的材质特性,自动调整测量参数和算法策略,以实现高精度的测量。该算法的工作原理基于对不同材质表面光学特性的深入研究和分析。不同材质的表面对激光的反射、散射和吸收特性各不相同,这些特性会直接影响测量信号的质量和测量精度。对于金属表面,由于其具有较高的反射率,反射光信号较强,但可能会存在镜面反射,导致信号的干扰和失真;而对于塑料表面,其反射率较低,信号相对较弱,且可能存在漫反射,使信号的分布较为分散。
针对这些不同的特性,算法首先通过对测量信号的初步分析,判断目标物体表面的材质类型。算法可以通过分析反射光的强度、光谱特性和偏振特性等参数,结合预先建立的材质特征数据库,快速准确地识别出表面材质。一旦确定了材质类型,算法会根据该材质的特性,自动调整测量参数,如激光的发射功率、脉冲宽度和频率等。对于反射率较低的塑料表面,算法会适当提高激光的发射功率,以增强反射光信号的强度;对于容易产生镜面反射的金属表面,算法会调整激光的偏振方向,减少镜面反射的影响。算法还会根据材质特性选择合适的信号处理算法和数据拟合模型。对于信号分布较为分散的塑料表面,采用更适合处理噪声和数据分散的算法,如基于最小二乘法的数据拟合算法,能够更好地提取出物体的变形信息;而对于信号较强但可能存在干扰的金属表面,采用更注重抗干扰能力的算法,如基于卡尔曼滤波的信号处理算法,能够有效去除噪声和干扰,提高测量精度。
通过这种针对不同材质表面的自适应调整策略,不同表面自适应分类控制算法能够显著提高测量的适应性和准确性。在实际应用中,无论是金属、塑料、陶瓷还是其他材质的物体,都能够通过该算法实现高精度的变形测量。在电子制造领域,对于不同材质的电子元件和电路板,该算法能够准确测量其变形情况,为电子产品的质量检测和生产工艺优化提供了有力的支持。在汽车制造、航空航天等领域,对于各种金属和复合材料的零部件,该算法同样能够发挥重要作用,确保产品的质量和性能符合要求。


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2025 - 12 - 23
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基于激光位移测量的动静压主轴回转精度测试技术研究——兼论泓川科技 LTP 激光位移传感器在高端装备中的工程应用价值一、引言:高端制造对主轴回转精度测试提出的新要求在高端数控机床、精密磨床以及超精密加工装备中,主轴回转精度被公认为影响零件加工质量的核心指标之一。主轴的回转精度不仅直接决定了工件的圆度、表面粗糙度和形位公差,还与加工系统的动态稳定性、加工一致性和设备可靠性密切相关。随着制造业向高精度、...
2025 - 12 - 19
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核心摘要:在一段时期内,日本基恩士(KEYENCE)的LK系列特别是LK-G5000系列定义了高速激光位移传感器的行业基准。然而,随着本土传感器技术从模仿走向创新,中国厂商泓川科技(Chuantec)凭借LTP系列高速高精度激光三角位移传感器,以“技术指标在工业甜蜜区看齐”和“1/2价格的绝对优势”,正在锂电、3C、半导体及重工行业迅速确立“头部平替”的地位。本文将从光路架构、运算控制模式、详细核...
2025 - 12 - 19
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——深度解构FMCW干涉式激光测距仪在长超程精密测量中的算法与数据逻辑Meta Description: 探索如何在不牺牲精度的情况下摆脱长度限制。本文深度技术解析干涉式激光测距仪利用FMCW光子集成技术,打破百米量程与1nm分辨率的物理矛盾。适用于高端半导体、精密机床与大型自动化领域。如果将工业级位置反馈传感器市场画在一张图表上,我们会看到绝大多数产品都挤在两条轴线上:一条是“短量程极高精度”(...
2025 - 12 - 17
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摘要动力电池极片辊压后的厚度均匀性直接决定电池能量密度、功率密度及安全性能,微米级的厚度偏差可能导致内阻不一致、热失控风险升高。本文基于无锡泓川科技 LTP 系列激光三角位移传感器,设计一套辊压极片在线厚度实时监测系统,通过双探头对射式安装、160kHz 高速采样与温漂补偿算法,实现极片厚度 0.03μm 级重复精度测量。结合动力电池极片制造工艺需求,详细阐述系统测量原理、结构设计、实施步骤,通过...
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专业从事激光位移传感器,激光焊缝跟踪系统研发及销售的科技公司
中国 · 无锡 · 总部地址:无锡新吴区天山路6号
销售热线:0510-88155119 
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    2023 - 02 - 21
    激光位移传感器是一种用于测量距离和轮廓表面的自动光学传感技术。它的工作原理是发射激光束,激光束被目标表面或区域反射,然后光束返回所需的时间被转换为距离测量。它的主要应用是尺寸计量,可以精确测量长度、距离和粗糙度轮廓。激光位移传感器也用于工业自动化、机器人和机器视觉应用。什么是激光位移传感器?       激光位移传感器是一种用于测量距离和轮廓表面的自动光学传感技术。该系统通过从激光源发射激光来工作。然后,该激光束从目标表面或区域反射回来。然后,光束覆盖距离和返回所花费的时间被转换为距离测量或轮廓。激光位移传感器通常由三个主要部分组成:*激光源*光学探测器*处理器      激光源通常是激光二极管,其波长适合于目标区域及其光学特性。激光二极管产生激光束,该激光束被引导到目标表面或区域上。然后光束被反射回检测器。根据应用,可以用一定范围的脉冲频率调制光束。光束由光学检测器检测。检测器将光转换成电信号,然后将其发送到处理器。然后处理器处理信息并将测量数据发送到数字显示器或计算机。然后,数据可用于进一步分析或控制自动化过程。历史:       激光位移传感器最初是在20世纪70年代开发的,是麻省理工学院研究项目的一部分。这项研究由美国陆军研究实验室和美国空军赖特实验室赞助。该技术最...
  • 2
    2025 - 01 - 09
    一、光谱共焦传感技术解密光谱共焦技术的起源,要追溯到科学家们对传统成像精度局限的深刻洞察。在 20 世纪 70 年代,传统成像在精密测量领域遭遇瓶颈,为突破这一困境,基于干涉原理的光谱共焦方法应运而生,开启了高精度测量的新篇章。进入 80 年代,科研人员不断改进仪器设计,引入特殊的分光元件,如同给传感器装上了 “精密滤网”,精准分辨不同波长光信号;搭配高灵敏度探测器,将光信号转化为精确数字信息。同时,计算机技术强势助力,实现数据快速处理、动态输出测量结果,让光谱共焦技术稳步走向成熟。90 年代,纳米技术、微电子学蓬勃发展,对测量精度要求愈发苛刻。科研团队迎难而上,开发新算法、模型优化测量,减少误差;增设温度控制、机械振动抑制功能,宛如为传感器打造 “稳定护盾”,确保在复杂实验环境下结果稳定可靠,至此,光谱共焦技术成为精密测量领域的关键力量。添加图片注释,不超过 140 字(可选)二、HCY 光谱共焦传感器工作原理(一)核心原理阐释HCY 光谱共焦传感器的核心在于巧妙运用光学色散现象。当内部的白光点光源发出光线后,光线会迅速射向精密的透镜组。在这里,白光如同被解开了神秘面纱,依据不同波长被精准地色散开来,形成一道绚丽的 “彩虹光带”。这些不同波长的光,各自沿着独特的路径前行,最终聚焦在不同的高度之上,构建起一个精密的测量范围 “标尺”。当光线抵达物体表面,会发生反射,其中特定波长的光...
  • 3
    2025 - 09 - 02
    泓川科技激光位移传感器产品技术报告尊敬的客户: 感谢您对泓川科技激光位移传感器产品的关注与信任。为帮助您全面了解我司产品,现将激光位移传感器相关技术信息从参数指标、设计原理、结构设计等八大核心维度进行详细说明,为您的选型、使用及维护提供专业参考。一、参数指标我司激光位移传感器涵盖 LTP400 系列与 LTP450 系列,各型号核心参数经纳米级高精度激光干涉仪标定验证,确保数据精准可靠,具体参数如下表所示:表 1:LTP400EA参数表参数类别具体参数LTP400EA备注基础测量参数测量中心距离400mm以量程中心位置计算(*1)量程200mm-重复精度(静态)3μm测量标准白色陶瓷样件,50kHz 无平均,取 65536 组数据均方根偏差(*2)线性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用纳米级激光干涉仪标定(*3)光源与光斑光源类型-激光功率可定制,部分型号提供 405nm 蓝光版本(*4)光束直径聚焦点光斑 Φ300μm中心位置直径,两端相对变大(*5)电气参数电源电压DC9-36V-功耗约 2.5W-短路保护反向连接保护、过电流保护-输出与通信模拟量输出(选配)电压:0-5V/010V/-1010V;电流:420mA探头可独立提供电压、电流与 RS485 输出(*6)通讯接口RS485 串口、TCP/IP 网口可选配模拟电压 / 电流输出模块(*7)响应...
  • 4
    2023 - 10 - 20
    面对反射率不同的目标物时,激光位移传感器需要调整以下方面以确保测量的稳定性:根据目标物的反射率变化,调整接收光量。反射率较高的目标物可能导致光量饱和,而反射率较低的目标物可能无法获得足够的接收光量。因此,需要根据目标物的反射特性,适时调整激光位移传感器的接收光量,以使其处于最佳工作状态。使用光量控制范围调整功能。这种功能可以预先决定接收光量的上限和下限,缩短获取最佳光量的时间,从而可以更快地调整光量。针对反射率较高的目标物,需要减小激光功率和缩短发射时间,以避免光量饱和。而对于反射率较低的目标物,则应增大激光功率和延长发射时间,以确保获得足够的接收光量。在调整过程中,需要注意测量反射率急剧变化位置的稳定程度,以及使用光量调整功能以外功能时的稳定程度。如果无法稳定测量反射率不同的目标物,可能是由于目标物的反射光因颜色、反光、表面状况(粗度、倾斜度)等因素而发生变化,导致感光元件(接收光波形)上形成的光点状态也会随之变化。这种情况下,需要通过反复试验和调整,找到最佳的激光位移传感器工作参数。总结来说,激光位移传感器需要根据目标物的反射率变化,调整接收光量、激光发射时间、激光功率和增益等参数,以确保测量的稳定性和准确性。同时,需要注意目标物的反射特性及其变化情况,以便及时调整激光位移传感器的参数。
  • 5
    2025 - 01 - 19
    一、引言1.1 研究背景与意义在科技飞速发展的当下,半导体和电子部件制造行业正经历着深刻的变革。随着电子产品的功能不断增强,尺寸却日益缩小,对半导体和电子部件的性能、精度以及可靠性提出了极为严苛的要求。从智能手机、平板电脑到高性能计算机、物联网设备,无一不依赖于先进的半导体和电子部件技术。而这些部件的质量与性能,在很大程度上取决于制造过程中的测量、检测和品质管理环节。光学测量技术作为一种先进的测量手段,凭借其高精度、非接触、快速测量等诸多优势,在半导体和电子部件制造领域中发挥着愈发关键的作用。它能够精确测量微小尺寸、复杂形状以及表面形貌等参数,为制造过程提供了不可或缺的数据支持。举例来说,在半导体芯片制造中,芯片的线宽、间距等关键尺寸的精度要求已经达到了纳米级别,光学测量技术能够准确测量这些尺寸,确保芯片的性能符合设计标准。再如,在电子部件的封装过程中,光学测量可以检测焊点的形状、尺寸以及位置,保障封装的可靠性。光学测量技术的应用,不仅能够有效提高产品的质量和性能,还能显著降低生产成本,增强企业在市场中的竞争力。通过实时监测和精确控制制造过程,能够及时发现并纠正生产中的偏差,减少废品率和返工率,提高生产效率。因此,深入研究光学测量在半导体和电子部件制造中的典型应用,对于推动行业的发展具有重要的现实意义。1.2 研究目的与方法本报告旨在深入剖析光学测量在半导体和电子部件制造测量、检测...
  • 6
    2025 - 01 - 14
    一、引言1.1 激光位移传感器概述激光位移传感器,作为工业测量领域的关键设备,凭借其卓越的非接触测量特性,正日益成为众多行业实现高精度测量与自动化控制的核心技术。它主要利用激光的反射特性,通过精确测量反射光的相关参数,实现对目标物体的位移、距离、厚度等几何量的精准测定。这一技术的诞生,为现代制造业、科研实验以及诸多工业生产过程,提供了高效、可靠且精准的测量手段。其工作原理基于激光三角测量法和激光回波分析法。激光三角测量法常用于高精度、短距离测量场景。在该方法中,激光位移传感器发射出一束激光,射向被测物体表面,物体表面反射的激光经由特定的光学系统,被传感器内部的探测器接收。根据激光发射点、反射点以及探测器接收点之间所构成的三角几何关系,通过精密的计算,能够精确得出物体与传感器之间的距离 。激光回波分析法更适用于远距离测量,传感器以每秒发射大量激光脉冲的方式,向被测物体发送信号,随后依据激光脉冲从发射到被接收的时间差,精确计算出物体与传感器之间的距离。在工业测量领域,激光位移传感器的重要地位不容小觑。在汽车制造行业,它被广泛应用于车身零部件的尺寸检测、装配精度控制等环节。通过对汽车零部件的精确测量,能够确保各个部件的尺寸符合设计要求,从而提升整车的装配质量和性能。在电子制造领域,激光位移传感器可用于检测芯片的尺寸、平整度以及电子元件的贴装精度等。在芯片制造过程中,其微小的尺寸和极高的精...
  • 7
    2025 - 01 - 29
    五、光谱共焦传感器测量厚度的局限性及解决措施5.1 局限性分析5.1.1 测量范围限制光谱共焦传感器的测量范围相对有限,一般在几毫米到几十毫米之间。这是由于其测量原理基于色散物镜对不同波长光的聚焦特性,测量范围主要取决于色散物镜的轴向色差范围以及光谱仪的工作波段。在实际应用中,对于一些大尺寸物体的厚度测量,如厚壁管材、大型板材等,可能需要多次测量拼接数据,增加了测量的复杂性和误差来源。例如,在测量厚度超过传感器量程的大型金属板材时,需要移动传感器进行多次测量,然后将测量数据进行拼接处理,但在拼接过程中可能会因测量位置的定位误差、测量角度的变化等因素导致测量结果的不准确。5.1.2 对被测物体表面状态的要求虽然光谱共焦传感器对多种材料具有良好的适用性,但被测物体表面的粗糙度、平整度等因素仍会对测量精度产生一定影响。当被测物体表面粗糙度较大时,表面的微观起伏会导致反射光的散射和漫反射增强,使得反射光的强度分布不均匀,从而影响光谱仪对反射光波长的准确检测,导致测量误差增大。对于表面平整度较差的物体,如存在明显翘曲或弯曲的板材,会使传感器与物体表面的距离在不同位置发生变化,超出传感器的测量精度范围,进而影响厚度测量的准确性。例如,在测量表面粗糙的橡胶板材时,由于橡胶表面的微观纹理和不规则性,测量精度会明显下降,难以达到对光滑表面测量时的高精度水平。5.1.3 成本相对较高光谱共焦传感器作为...
  • 8
    2023 - 02 - 26
    今天我为大家展示安全激光扫描仪产品,安全激光扫描仪适用于各种应用技术领域,      在设备开发期间我们给予了特别关注,以确保它能够在广泛应用中发挥最佳功能,尤其重视大型工作区域的防护,例如机床正面区域或机器人工作区域。      其他应用包括移动车辆的防护,例如侧向滑动装置或移动运输设备,无人驾驶运输系统。甚至垂直安装激光扫描仪的出入口保护系统。尽管我们在安全激光扫描与领域,已经有数10年的经验了,但该应用领域仍然面对许多挑战。不过我们的激光安全扫描仪具有独一无二的功能属性,例如具有8.25米检测距离和270度扫描范围。       属于目前市场上的高端设备,非常适合侧向滑动装置正面区域等大型区域或长距离的防护。该设备的另一个亮点就是能够同时监测两个保护功能。这在许多应用领域中,独具优势以前需要使用两个设备,如今只需要使用一台这样的安全激光扫描仪,即可完成两台设备的功能。               实践中遇到的一项挑战是设计一款异常强骨的激光安全扫描仪。能够适应周围环境中可能存在的灰尘和颗粒等恶劣条件,因此我们提供了较分辨率达到0.1度的设备。它在目前市场上具有非常高的价值。   ...
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蓝光光源激光位移传感器:优势、原理与特殊场景解决方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工业精密测量中,传统红光激光位移传感器常受高反射、半透明、高温红热等特殊场景限制,而蓝光光源(405nm 波长)凭借独特物理特性实现突破。以下通过 “一问一答” 形式,详解蓝光传感器的优势、原理构造,并结合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解决特殊环境测量难题。1. 蓝光光源激光位移传感器相比传统红光,核心优势是什么?蓝光传感器的核心优势源于 405nm 波长的物理特性,相比传统 655nm 左右的红光,主要体现在三方面:更高横向分辨率:根据瑞利判据,光学分辨率与波长成反比。蓝光波长仅为红光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光学系统下横向分辨率可提升约 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 蓝光版光斑最小达 Φ18μm),适配芯片针脚、晶圆等微米级结构测量。更强信号稳定性:蓝光单光子能量达 3.06eV,远高于红光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡胶、有机涂层)表面,能激发出更强散射信号;同时穿透性更低,仅在材料表层作用,避免内部折射干扰,适合表面精准测量。更优抗干扰能力:蓝光波段与红热辐射(500nm 以上)、户外强光(可见光为主)重叠度低,搭配专用滤光片后,可有效隔绝高温物体自发光、阳光直射等干扰,这是红光难以实现的。2. 蓝光激光位移传感器的原理构造是怎样的?为何能实现高精度测量?蓝光传感器的高精度的核心是 “光学设计 + 信号处理 + ...
泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览 2025 - 09 - 05 高精度测量传感器全系列:赋能精密制造,适配多元检测需求聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点,我们推出全系列高性能测量传感器,覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景,以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心,为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍:1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器:半导体材料测厚专属核心用途:专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料设计,精准实现晶圆等器件的厚度测量。性能优点:精度卓越:±0.1μm 线性精度 + 2nm 重复精度,确保测量数据稳定可靠;量程适配:覆盖 10μm2mm 测厚范围,满足多数半导体材料检测需求;高效高速:40kHz 采样速度,快速捕捉厚度数据,适配在线检测节奏;灵活适配:宽范围工作距离设计,可灵活匹配不同规格的检测设备与场景。2. 分体式对焦传感器:半导体 / 面板缺陷检测的 “高速对焦助手”核心用途:针对半导体、面板领域的高精度缺陷检测场景,提供高速实时对焦支持,尤其适配显微对焦类检测设备。性能优点:对焦速度快:50kHz 高速对焦,同步匹配缺陷检测的实时性需求;对焦精度高:0.5μm 对焦精度,保障缺陷成像清晰、检测无偏差;设计灵活:分体式结构,可根据检测设备的安装空间与布局灵活调整,降低适配难度。3. LT-R 反射膜厚仪:极薄膜厚检测的 “精密管家”核心用途:专注于极薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全国产激光位移传感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移传感器产品技术报告尊敬的客户: 感谢您对泓川科技激光位移传感器产品的关注与信任。为帮助您全面了解我司产品,现将激光位移传感器相关技术信息从参数指标、设计原理、结构设计等八大核心维度进行详细说明,为您的选型、使用及维护提供专业参考。一、参数指标我司激光位移传感器涵盖 LTP400 系列与 LTP450 系列,各型号核心参数经纳米级高精度激光干涉仪标定验证,确保数据精准可靠,具体参数如下表所示:表 1:LTP400EA参数表参数类别具体参数LTP400EA备注基础测量参数测量中心距离400mm以量程中心位置计算(*1)量程200mm-重复精度(静态)3μm测量标准白色陶瓷样件,50kHz 无平均,取 65536 组数据均方根偏差(*2)线性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用纳米级激光干涉仪标定(*3)光源与光斑光源类型-激光功率可定制,部分型号提供 405nm 蓝光版本(*4)光束直径聚焦点光斑 Φ300μm中心位置直径,两端相对变大(*5)电气参数电源电压DC9-36V-功耗约 2.5W-短路保护反向连接保护、过电流保护-输出与通信模拟量输出(选配)电压:0-5V/010V/-1010V;电流:420mA探头可独立提供电压、电流与 RS485 输出(*6)通讯接口RS485 串口、TCP/IP 网口可选配模拟电压 / 电流输出模块(*7)响应...
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