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纳米级分辨率超高精度激光干涉测距仪

上市日期: 2024-08-09

开放型激光尺

适用多样测试距离需求,同时实现高精度的线性位移测量,

无需其他任何机械传动件。典型应用包括:

/半导体工业测量和生产设备

/直线电机模组

/高精度三位坐标仪

/精密仪器定位

机械结构

开放型激光尺包含两个部分:光电模块和聚焦式反射镜。

光电模块配合准直调节板安装在固定基座,聚焦式反射镜通过联接件与导轨滑座连接。

为达到高精度的测量需求,必须确保有效测量行程内,出光轴与运动轴平行,减少误差。

热特性

外界环境变化对激光尺的影响不可避免,为了在不同环境下都能保证测量精度,

激光尺配备环境补偿单元,该补偿单元可以将气压、温度、湿度变化带来

的影响降低到允许的范围以内。


Top / 精选推荐
  • 发布时间: 2023 - 12 - 09
    10kHz的超快采样速度LT-ITS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光学镜组和高灵敏度的电子器件,能够实现行业领先的采样 速度,从而帮助客户提高测量效率和加快产线的节拍。+20nm的超高线性精度独立设计的高空间分辨率的白光干涉光学探头,能够带来极为出色的线性特性。基于干涉原理的测厚探头,无原理层面引入的非线性因素,只需要考虑光谱分析过程中的非线性误差。1nm的超高重复精度采用高灵敏度、高信噪比的元器件,同时在探头中实现内部信号数字化,大大减小了噪声干扰。同时基于干涉的测厚方式能够大大提高传感器对外部扰动的抑制能力。
  • 发布时间: 2021 - 09 - 06
    基于调频连续波(FMCW)的相干接收原理,高精度的测距。实现微米级的远距准确测距。通过集成光学原理实现超高精度的测量硅基光电集成技术,一体化的光学封装技术,实现半导体激光器和探测器集成统一光学传感模组。非凡的抗干扰性和稳定性不受材质颜色、环境光等干扰同轴测量无死角轻量、便携无需控制器、放大器等,只一个传感器即可测量。数字化 可与多个开放式现场网络兼容。检测不受限通过物体的表面反射或遮光量进行检测,可检测大多数物体(玻璃、金属、塑料、木料及液体等)。长距离 高功率传感器,轻松进行长距离检测。非接触采用激光非接触测量方法,对被测设备无任何影响且不会产生接触划痕。寿命较长,无需进行维护。同轴回光 支持狭小空间间隙检测。高精度 小光斑可精确检测小微型物体。稳定检测 根据工件设置最优的激光发射功率以及增益。
  • 发布时间: 2021 - 08 - 12
    泓川科技LTC全系列光谱共焦传感器,量程横跨±0.05mm至±25mm,0.02%FS线性精度+30kHz超高速采样,支持Φ1.7μm~Φ400μm三级光斑配置。深孔内壁(LTCR侧向出光)、透明多层测厚(LTC7000S)、超高温场景(200°C定制)全覆盖,适配21kHz高速控制器(LT-CCH)及16通道同步系统。专为半导体晶圆、新能源极片、航空航天精密件、医疗植入物等高端制造领域提供国产高性价比替代方案,重新定义工业检测新标准!
  • 发布时间: 2021 - 04 - 20
    高韧性线缆,配备至机器人时也可放心使用。完全符合 IP67 标准的连接器,在潮湿或粉尘较多的现场环境中也可放心使用,传感头也完全符合 IP67 标准。光量自动调节功能,有效提高光亮调整的灵敏度,自动根据不同被测物的反光度调节激光亮度范围。定制物镜可将不规则的光束消除,同时将畸变的影响降至最低,大幅提高测量系统的线性精度。
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  • 1
    2023 - 03 - 09
    激光位移传感器被广泛应用于各种领域中。其中一个很有用的应用是测量薄膜厚度。这种传感器可以在离表面很近的距离下进行高精度测量,因此非常适合这种应用。本文将介绍激光位移传感器如何用于测量薄膜厚度,包括测量方法、测量原理和市场应用。一、测量方法测量薄膜厚度的基本思路是利用激光位移传感器测量薄膜前后表面的距离差,然后通过几何公式计算出薄膜厚度。在实际操作中,测量方法大致可分为以下几种:1. 手持式测量手持式测量通常用于快速的现场检测。用户只需要将激光位移传感器靠近待测表面,然后通过读取显示屏上的数值判断薄膜厚度是否符合要求。这种方法不需要复杂的设备和步骤,非常易于使用。但是由于人手的震动和误差等因素,手持式测量的精度相对较低,只适用于需求不是特别高的场合。2. 自动化在线测量自动化在线测量一般用于工业生产线上的质量控制。这种方法需要将激光位移传感器与自动化设备相连接,将测量数据传递给计算机进行分析。在这种情况下,测量过程可以完全自动化,精度也可以得到保证。但是相对于手持式测量来说,这种方法需要的设备和技术要求更高,成本也更高。3. 显微镜下测量显微镜下测量常用于对细小薄膜厚度的测量。在这种情况下,用户需要将激光位移传感器与显微镜相结合进行测量。由于显微镜的存在,可以大大增强测量精度。但是相对于其他两种方法,这种方法需要的设备更多,并且技巧要求也更高。二、测量原理激光位移传感器利用的是激光三...
  • 2
    2025 - 01 - 14
    四、光学传感器应用对薄膜涂布生产的影响4.1 提升生产效率4.1.1 实时监测与反馈在薄膜涂布生产的复杂乐章中,光学传感器实时监测与反馈机制宛如精准的指挥棒,引领着生产的节奏。凭借其卓越的高速数据采集能力,光学传感器能够如同闪电般迅速捕捉涂布过程中的关键参数变化。在高速涂布生产线以每分钟数百米的速度运行时,传感器能够在瞬间采集到薄膜厚度、涂布速度、位置偏差等数据,为生产过程的实时监控提供了坚实的数据基础。这些采集到的数据如同及时的情报,被迅速传输至控制系统。控制系统则如同智慧的大脑,对这些数据进行深入分析。一旦发现参数偏离预设的理想范围,控制系统会立即发出指令,如同指挥官下达作战命令,对涂布设备的相关参数进行精准调整。当检测到薄膜厚度略微超出标准时,控制系统会迅速调整涂布头的压力,使涂布量精确减少,确保薄膜厚度回归正常范围。这种实时监测与反馈机制的存在,使得生产过程能够始终保持在最佳状态。它避免了因参数失控而导致的生产中断和产品质量问题,如同为生产线安装了一个智能的 “稳定器”。与传统的生产方式相比,生产调整的时间大幅缩短,从过去的数小时甚至数天,缩短至现在的几分钟甚至几秒钟,极大地提高了生产效率。4.1.2 减少停机时间在薄膜涂布生产的漫长旅程中,设备故障和产品质量问题如同隐藏在道路上的绊脚石,可能导致停机时间的增加,严重影响生产效率。而光学传感器的实时监测功能,就像一位警惕的卫...
  • 3
    2023 - 09 - 30
    引言:在搬送薄片材料时,准确辨别材料的单双张对于生产流程的顺利进行至关重要。即使材料的材质发生了变化,我们仍然可以利用非接触传感器实现稳定的检测。本文介绍了两种常用方式:激光位移传感器和超声波传感器,在机械搬运过程中通过测量材料的厚度来判断其单双张状态。主体:1. 激光位移传感器方案:(a)准备工作:安装两个激光位移传感器,使其形成对射式布置。在中间放置一张标准厚度的材料,并通过上位机软件进行校准设定。(b)测量与校准:激光位移传感器通过测量材料的厚度,获得距离总和,并与设定的固定差值进行比较。当机械搬运过程中出现误差导致厚度与之前的距离数据明显不同时,激光位移传感器将发出错误信号,指示材料为双张状态。2. 超声波传感器方案:(a)准备工作:使用对射式超声波传感器,并先安装一张标准材料来校准基准能量。(b)测量与判断:超声波传感器利用能量穿透原理,通过测量接收端收取到的能量来判断材料的状态。当材料为单张时,接收端将收到接近基准值的能量;而当材料为双张或多张时,接收端收到的能量明显小于标准值,此时超声波传感器将发出报警信号。3. 激光位移传感器方案的优势:- 高精度测量:激光位移传感器具有高精度,可以精确测量材料的厚度变化,从而能够准确判断材料的单双张状态。- 实时监测:传感器反应速度快,并可以实时检测材料的厚度变化,确保在搬运过程中能够及时发现错误信号并进行处理。- 非接触式:激光...
  • 4
    2024 - 12 - 22
    **光谱共焦传感器是一种具有高精度、高效以及非接触等技术优势的新型几何量精密测量传感器。以下将对光谱共焦传感器进行详细介绍。****一、光谱共焦传感器的工作原理**光谱共焦传感器利用不同波长的光在被测物体表面反射后,通过色散物镜聚焦在不同位置,从而建立位移和波长之间的关系。光源发出的光经过色散物镜后,不同波长的光聚焦在不同的轴向位置。当被测物体处于某一特定波长的焦点位置时,该波长的光被反射回传感器,通过成像光谱仪检测到该波长的光,从而确定被测物体的位置。**二、光谱共焦传感器的组成部分**1. **光源**:通常为宽光谱光源,能够提供一定波长范围的光。例如,在一些研究中提到的宽光谱光源可以覆盖特定的波长范围,以满足不同测量需求。2. **色散物镜**:是光谱共焦传感器的关键组成部分之一。它能够将不同波长的光聚焦在不同的轴向位置,从而实现对被测物体位置的精确测量。设计色散物镜时,需要考虑多个因素,如测量范围、图像空间数值孔径、轴向响应等。例如,有研究设计的色散物镜测量范围为 2mm,图像空间数值孔径为 0.3,轴向响应 FWHM 优于 5μm,分辨率较高,并且波长与位移之间的判定系数优于 0.9,线性关系良好。3. **成像光谱仪**:用于检测反射回来的光,并确定其波长。在一些研究中,采用棱镜 - 光栅分光的方式对成像光谱仪的后端进行模拟和分析,消除了成像光谱仪中的谱线弯曲。**三、...
  • 5
    2025 - 01 - 14
    一、引言1.1 研究背景与意义玻璃,作为一种用途极为广泛的材料,凭借其透明、坚硬且易于加工的特性,在建筑、汽车、电子、光学仪器等众多行业中占据着举足轻重的地位。在建筑领域,玻璃不仅被广泛应用于建筑物的窗户、幕墙,以实现采光与美观的效果,还能通过巧妙设计,增强建筑的整体通透感与现代感;在汽车行业,从挡风玻璃到车窗,玻璃的质量与性能直接关系到驾乘人员的安全与视野;在电子行业,显示屏、触摸屏等关键部件更是离不开玻璃,其质量和精度对电子产品的性能和用户体验有着深远影响。在玻璃的生产、加工以及应用过程中,对其进行精确测量显得至关重要。以玻璃基板为例,这一液晶显示器件的基本部件,主要厚度为 0.7mm 及 0.5mm,且未来制程将向更薄(如 0.4mm)迈进。如此薄的厚度,却要求严格的尺寸管控,一般公差在 0.01mm。玻璃厚度的均匀性、平整度以及表面的微观形貌等参数,直接决定了玻璃在各应用场景中的性能表现。例如,汽车挡风玻璃若厚度不均匀,可能导致光线折射异常,影响驾驶员视线;电子显示屏的玻璃基板若存在平整度问题,会影响显示效果,出现亮点、暗点或色彩不均等现象。传统的玻璃测量方法,如千分尺测量、激光三角法等,虽在一定程度上能满足部分生产需求,但在精度、效率以及适用范围等方面存在诸多局限。千分尺测量属于接触式测量,容易受到人工操作的影响,导致测量误差较大,且可能对玻璃表面造成损伤;激光三角法对透...
  • 6
    2025 - 02 - 09
    1. 性能参数对比参数LTP400基恩士 LK-G400米铱 ILD1420-200测量范围±100 mm漫反射 ±100 mm200 mm(具体范围依型号)采样频率160 kHz(最高)50 kHz(对应 20 μs)8 kHz(可调)静态噪声1.5 μm(平均后)2 μm(再现性)8 μm(重复性)线性误差±0.05% F.S.(±100 μm)±160 μm光斑直径Φ300 μm(W型号更宽)ø290 μm750 x 1100 μm(末端)接口类型以太网、485、模拟输出未明确(可能基础)RS422、PROFINET、EtherCAT防护等级IP67IP67IP67重量438 g380 g(含线缆)145 g(带电缆)可定制性激光功率、蓝光版本、模拟模块无提及ASC(动态表面补偿)、多种工业接口2. LTP400 的核心优势超高采样频率(160 kHz)远超 LK-G400(50 kHz)和 ILD1420-200(8 kHz),适用于高速动态测量场景(如振动监测、快速产线检测)。优异的静态噪声与线性精度平均后静态噪声仅 1.5 μm,优于 LK-G400(2 μm)和 ILD1420-200(8 μm)。线性误差 ,显著优于 LK-G400(±100 μm)和 ILD1420-200(...
  • 7
    2023 - 03 - 20
    介绍工业光电传感器是现代制造业中最常用的检测设备之一,广泛应用于自动化生产线、机械加工、装配、物流搬运等行业。随着国民经济的不断发展,中国的工业光电传感器制造业也不断发展壮大,成为制造业的一支重要力量。本文旨在对中国产的工业光电传感器现状进行描述。发展历史20世纪80年代初期,我国的工业自动化程度比较低,大部分生产线仍采用人力操作,制造业存在高人力成本、低效率、品质难以保证等问题。为了提高制造业的效率和品质,中国开始引入外国的工业自动化设备,其中就包括工业光电传感器。80年代中后期,国内开始试水制造工业光电传感器,并逐步发展壮大。90年代初期,随着国民经济的增长和工业自动化的加速推进,中国的工业光电传感器制造业进入快速发展期。如今,中国的工业光电传感器制造业已经处于全球领先地位,成为世界闻名的光电传感器生产基地之一。产业链分析商业模式中国的工业光电传感器制造业商业模式主要是以生产销售为主,较少采用研发生产销售一体化模式。生产企业主要供应给自动化设备制造商,然后这些自动化设备制造商销售给最终用户,最终用户则使用这些设备来自动化生产线。除此之外,还有一些企业将工业光电传感器产品应用到自己的设备制造中,以提高自己产品的品质和效率,然后再将自己的产品销售给最终用户。在商业模式上,中国的工业光电传感器制造业与欧美等发达国家还存在一定的差距。技术研发中国的工业光电传感器制造业在技术研发方面逐渐...
  • 8
    2025 - 01 - 22
    一、引言1.1 研究背景与目的在当今科技迅猛发展的时代,传感器作为获取信息的关键设备,在工业自动化、智能制造、航空航天、汽车制造等众多领域中发挥着不可或缺的重要作用。激光位移传感器凭借其高精度、非接触式测量、快速响应等显著优势,成为了现代精密测量领域的核心设备之一。近年来,随着国内制造业的转型升级以及对高精度测量需求的不断攀升,我国传感器市场呈现出蓬勃发展的态势。然而,长期以来,高端激光位移传感器市场大多被国外品牌所占据,这不仅限制了国内相关产业的自主发展,还在一定程度上影响了国家的产业安全。在此背景下,国产激光位移传感器的研发与推广显得尤为重要。本研究聚焦于国产激光位移传感器 HCM 系列,旨在深入剖析该系列产品的技术特点、性能优势、应用场景以及市场竞争力。通过对 HCM 系列产品的全面研究,期望能够为相关行业的企业提供有价值的参考依据,助力其在设备选型、技术升级等方面做出更为明智的决策。同时,本研究也希望能够为推动国产激光位移传感器行业的发展贡献一份力量,促进国内传感器产业的技术进步与创新,提升我国在高端传感器领域的自主研发能力和市场竞争力。1.2 研究方法与数据来源本研究综合运用了多种研究方法,以确保研究的全面性、准确性和可靠性。在研究过程中,首先进行了广泛的文献研究,收集并深入分析了国内外关于激光位移传感器的学术论文、行业报告、专利文献等资料,从而对激光位移传感器的发展历程...
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泓川科技LTC2600与基恩士CL-P015光谱共焦传感器全方位对比及国产替代 2025 - 03 - 22 一、核心性能参数对比:精度与场景适配性参数泓川科技LTC2600(标准版)泓川LTC2600H(定制版)基恩士CL-P015(标准版)参考距离15 mm15 mm15 mm测量范围±1.3 mm±1.3 mm±1.3 mm光斑直径9/18/144 μm(多模式)支持定制(最小φ5 μm)ø25 μm(单点式)重复精度50 nm50 nm100 nm线性误差±0.49 μm(标准模式)分辨率0.03 μm0.03 μm0.25 μm(理论值)防护等级IP40IP67(定制)IP67耐温范围0°C ~ +50°C-20°C ~ +200°C(定制)0°C ~ +50°C真空支持不支持支持(10^-3 Pa,定制)支持(10^-6 Pa,标准版)重量228 g250 g(高温版)180 g性能深度解析精度碾压:LTC2600的重复精度(50 nm)显著优于CL-P015(100 nm),线性误差(光斑灵活性:LTC2600支持多光斑模式(最小φ5 μm定制),可兼顾微小目标检测与粗糙面稳定性;CL-P015仅提供单点式光斑(ø25 μm),适用场景受限。环境适应性:CL-P015标准版支持超高真空(10^-6 Pa),但C2600通过...
求购激光位移传感器:量程200mm/500mm、采样48kHz、±0.05%线性度?-泓川... 2025 - 03 - 14 泓川科技LTP系列激光位移传感器全面匹配您的技术需求尊敬的客户: 感谢您对泓川科技产品的关注!针对您提出的高精度激光位移传感器需求,我司LTP系列产品凭借卓越性能与灵活定制能力,可完全满足您的技术要求,具体对应如下:一、核心参数精准匹配需求项LTP400(200mm)LTP450(500mm)量程200mm(±100mm)500mm(±250mm)线性度±0.03%F.S.(优于要求)±0.05%F.S.(达标)重复精度(静态)±0.03%F.S.±0.05%F.S.采样频率50kHz全量程(达标)50kHz全量程(达标)输出信号-10V~10V(选配模块)-10V~10V(选配模块)技术优势说明:超高采样频率:LTP400/LTP450全量程下支持50kHz采样(48kHz),且可缩短量程至20%时提升至160kHz,满足高速动态测量需求(如振动检测、高速产线)。响应时间最低6.25μs(通过参数表*6可选配置),确保实时数据捕获能力。纳米级标定精度:基于纳米级激光干涉仪标定技术(参数表*3),线性度与重复性指标通过严格验证,确保长期稳定性。多输出模式兼容:支持**-10V~10V模拟输出**(需选配模块)、4~20mA电流输出、RS485及TCP/IP通讯,适配各类工业控制系统。48kHz、±0.05%线性度...
案例应用 | 基于光谱共焦技术的DPC陶瓷基板金属层测厚方案 2025 - 03 - 06 背景与挑战随着电子封装技术的快速发展,直接镀铜陶瓷基板(DPC)因具备优异的导热性、机械强度及耐高温性能,被广泛应用于大功率LED、IGBT模块等领域。然而,其表面金属镀层的厚度均匀性直接影响器件的散热效率与可靠性。某客户需对一批DPC基板进行全检,要求**在正反面各选取10个金属块(含2个重复基准点)**进行高精度厚度测量,并同步获取表面轮廓与中心区高度数据,以满足严格的工艺质量控制标准。解决方案针对客户需求,我们采用LTC1200系列光谱共焦传感器(配套高精度运动平台与测控软件),设计了一套非接触式三维测厚方案:设备选型量程:±600μm(覆盖金属层典型厚度范围)重复精度:0.03μm(静态,确保基准点数据一致性)线性误差:<±0.3μm(满足亚微米级公差要求)采样频率:10kHz(高速扫描提升检测效率)选用LTC1200B型号传感器(光斑直径约19μm),兼顾测量精度与金属表面反射特性需求,其技术参数如下:搭配亚微米级定位平台,确保扫描路径精确控制。基准点设定以陶瓷基板裸露区域作为基准面,在正反面各设置2个重复测量点,通过传感器实时比对基准高度数据,消除基板翘曲或装夹误差对厚度计算的影响。实施流程数据采集:沿预设路径扫描金属块,同步记录轮廓点云与中心区高度(软件自动拟合最高点作为厚度参考值)。厚度计算:基于公式:\text{金属层厚度} = \text{金...
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