纳米级分辨率超高精度激光干涉测距仪

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产品名称：
纳米级分辨率超高精度激光干涉测距仪

上市日期： 2024-08-09

开放型激光尺

适用多样测试距离需求，同时实现高精度的线性位移测量，

无需其他任何机械传动件。典型应用包括:

/半导体工业测量和生产设备

/直线电机模组

/高精度三位坐标仪

/精密仪器定位

机械结构

开放型激光尺包含两个部分:光电模块和聚焦式反射镜。

光电模块配合准直调节板安装在固定基座，聚焦式反射镜通过联接件与导轨滑座连接。

为达到高精度的测量需求，必须确保有效测量行程内,出光轴与运动轴平行，减少误差。

热特性

外界环境变化对激光尺的影响不可避免，为了在不同环境下都能保证测量精度，

激光尺配备环境补偿单元，该补偿单元可以将气压、温度、湿度变化带来

的影响降低到允许的范围以内。

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细节展示

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纳米级分辨率超高精度激光干涉测距仪

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1nm重复精度的白光干涉测厚仪

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10kHz的超快采样速度LT-ITS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光学镜组和高灵敏度的电子器件，能够实现行业领先的采样速度，从而帮助客户提高测量效率和加快产线的节拍。+20nm的超高线性精度独立设计的高空间分辨率的白光干涉光学探头，能够带来极为出色的线性特性。基于干涉原理的测厚探头，无原理层面引入的非线性因素，只需要考虑光谱分析过程中的非线性误差。1nm的超高重复精度采用高灵敏度、高信噪比的元器件，同时在探头中实现内部信号数字化，大大减小了噪声干扰。同时基于干涉的测厚方式能够大大提高传感器对外部扰动的抑制能力。

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发布时间: 2021 - 04 - 20

高韧性线缆，配备至机器人时也可放心使用。完全符合 IP67 标准的连接器，在潮湿或粉尘较多的现场环境中也可放心使用，传感头也完全符合 IP67 标准。光量自动调节功能，有效提高光亮调整的灵敏度，自动根据不同被测物的反光度调节激光亮度范围。定制物镜可将不规则的光束消除，同时将畸变的影响降至最低，大幅提高测量系统的线性精度。

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专业从事激光位移传感器，激光焊缝跟踪系统研发及销售的科技公司

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激光位移传感器如何对薄膜进行测厚？

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引言：在搬送薄片材料时，准确辨别材料的单双张对于生产流程的顺利进行至关重要。即使材料的材质发生了变化，我们仍然可以利用非接触传感器实现稳定的检测。本文介绍了两种常用方式：激光位移传感器和超声波传感器，在机械搬运过程中通过测量材料的厚度来判断其单双张状态。主体：1. 激光位移传感器方案：（a）准备工作：安装两个激光位移传感器，使其形成对射式布置。在中间放置一张标准厚度的材料，并通过上位机软件进行校准设定。（b）测量与校准：激光位移传感器通过测量材料的厚度，获得距离总和，并与设定的固定差值进行比较。当机械搬运过程中出现误差导致厚度与之前的距离数据明显不同时，激光位移传感器将发出错误信号，指示材料为双张状态。2. 超声波传感器方案：（a）准备工作：使用对射式超声波传感器，并先安装一张标准材料来校准基准能量。（b）测量与判断：超声波传感器利用能量穿透原理，通过测量接收端收取到的能量来判断材料的状态。当材料为单张时，接收端将收到接近基准值的能量；而当材料为双张或多张时，接收端收到的能量明显小于标准值，此时超声波传感器将发出报警信号。3. 激光位移传感器方案的优势：- 高精度测量：激光位移传感器具有高精度，可以精确测量材料的厚度变化，从而能够准确判断材料的单双张状态。- 实时监测：传感器反应速度快，并可以实时检测材料的厚度变化，确保在搬运过程中能够及时发现错误信号并进行处理。- 非接触式：激光...
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光谱共焦位移传感器的那些事儿

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**光谱共焦传感器是一种具有高精度、高效以及非接触等技术优势的新型几何量精密测量传感器。以下将对光谱共焦传感器进行详细介绍。****一、光谱共焦传感器的工作原理**光谱共焦传感器利用不同波长的光在被测物体表面反射后，通过色散物镜聚焦在不同位置，从而建立位移和波长之间的关系。光源发出的光经过色散物镜后，不同波长的光聚焦在不同的轴向位置。当被测物体处于某一特定波长的焦点位置时，该波长的光被反射回传感器，通过成像光谱仪检测到该波长的光，从而确定被测物体的位置。**二、光谱共焦传感器的组成部分**1. **光源**：通常为宽光谱光源，能够提供一定波长范围的光。例如，在一些研究中提到的宽光谱光源可以覆盖特定的波长范围，以满足不同测量需求。2. **色散物镜**：是光谱共焦传感器的关键组成部分之一。它能够将不同波长的光聚焦在不同的轴向位置，从而实现对被测物体位置的精确测量。设计色散物镜时，需要考虑多个因素，如测量范围、图像空间数值孔径、轴向响应等。例如，有研究设计的色散物镜测量范围为 2mm，图像空间数值孔径为 0.3，轴向响应 FWHM 优于 5μm，分辨率较高，并且波长与位移之间的判定系数优于 0.9，线性关系良好。3. **成像光谱仪**：用于检测反射回来的光，并确定其波长。在一些研究中，采用棱镜 - 光栅分光的方式对成像光谱仪的后端进行模拟和分析，消除了成像光谱仪中的谱线弯曲。**三、...
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泓川科技光谱共焦传感器于透明玻璃材料测量领域的应用深度剖析（上）

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一、引言1.1 研究背景与意义玻璃，作为一种用途极为广泛的材料，凭借其透明、坚硬且易于加工的特性，在建筑、汽车、电子、光学仪器等众多行业中占据着举足轻重的地位。在建筑领域，玻璃不仅被广泛应用于建筑物的窗户、幕墙，以实现采光与美观的效果，还能通过巧妙设计，增强建筑的整体通透感与现代感；在汽车行业，从挡风玻璃到车窗，玻璃的质量与性能直接关系到驾乘人员的安全与视野；在电子行业，显示屏、触摸屏等关键部件更是离不开玻璃，其质量和精度对电子产品的性能和用户体验有着深远影响。在玻璃的生产、加工以及应用过程中，对其进行精确测量显得至关重要。以玻璃基板为例，这一液晶显示器件的基本部件，主要厚度为 0.7mm 及 0.5mm，且未来制程将向更薄（如 0.4mm）迈进。如此薄的厚度，却要求严格的尺寸管控，一般公差在 0.01mm。玻璃厚度的均匀性、平整度以及表面的微观形貌等参数，直接决定了玻璃在各应用场景中的性能表现。例如，汽车挡风玻璃若厚度不均匀，可能导致光线折射异常，影响驾驶员视线；电子显示屏的玻璃基板若存在平整度问题，会影响显示效果，出现亮点、暗点或色彩不均等现象。传统的玻璃测量方法，如千分尺测量、激光三角法等，虽在一定程度上能满足部分生产需求，但在精度、效率以及适用范围等方面存在诸多局限。千分尺测量属于接触式测量，容易受到人工操作的影响，导致测量误差较大，且可能对玻璃表面造成损伤；激光三角法对透...
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无锡泓川科技LTP400 激光位移传感器对比基恩士 LK-G400 与米铱ILD1420-200 的综合分析

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一、引言1.1 研究背景与目的在当今科技迅猛发展的时代，传感器作为获取信息的关键设备，在工业自动化、智能制造、航空航天、汽车制造等众多领域中发挥着不可或缺的重要作用。激光位移传感器凭借其高精度、非接触式测量、快速响应等显著优势，成为了现代精密测量领域的核心设备之一。近年来，随着国内制造业的转型升级以及对高精度测量需求的不断攀升，我国传感器市场呈现出蓬勃发展的态势。然而，长期以来，高端激光位移传感器市场大多被国外品牌所占据，这不仅限制了国内相关产业的自主发展，还在一定程度上影响了国家的产业安全。在此背景下，国产激光位移传感器的研发与推广显得尤为重要。本研究聚焦于国产激光位移传感器 HCM 系列，旨在深入剖析该系列产品的技术特点、性能优势、应用场景以及市场竞争力。通过对 HCM 系列产品的全面研究，期望能够为相关行业的企业提供有价值的参考依据，助力其在设备选型、技术升级等方面做出更为明智的决策。同时，本研究也希望能够为推动国产激光位移传感器行业的发展贡献一份力量，促进国内传感器产业的技术进步与创新，提升我国在高端传感器领域的自主研发能力和市场竞争力。1.2 研究方法与数据来源本研究综合运用了多种研究方法，以确保研究的全面性、准确性和可靠性。在研究过程中，首先进行了广泛的文献研究，收集并深入分析了国内外关于激光位移传感器的学术论文、行业报告、专利文献等资料，从而对激光位移传感器的发展历程...

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