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Case 激光位移

激光三角位移传感器在动力电池辊压极片在线厚度实时监测中的应用

日期: 2025-12-17
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摘要

动力电池极片辊压后的厚度均匀性直接决定电池能量密度、功率密度及安全性能,微米级的厚度偏差可能导致内阻不一致、热失控风险升高。本文基于无锡泓川科技 LTP 系列激光三角位移传感器,设计一套辊压极片在线厚度实时监测系统,通过双探头对射式安装、160kHz 高速采样与温漂补偿算法,实现极片厚度 0.03μm 级重复精度测量。结合动力电池极片制造工艺需求,详细阐述系统测量原理、结构设计、实施步骤,通过实验数据验证方案可行性,并分析技术优缺点与优化方向,为动力电池极片生产的闭环质量控制提供技术支撑。


激光三角位移传感器在动力电池辊压极片在线厚度实时监测中的应用


1 应用背景与需求分析

1.1 极片厚度对动力电池性能的协同影响

根据动力电池技术研究表明,极片厚度是影响电池核心性能的关键结构参数:厚度增加可提升体积能量密度(单位体积活性物质占比提高),但会延长锂离子传输距离,导致功率密度下降 30% 以上;同时厚极片的散热路径延长,焦耳热累积引发热失控的概率增加 2-3 倍。辊压工序作为极片制造的核心环节,其压实密度均匀性直接依赖厚度控制精度,行业标准要求辊压后极片厚度偏差≤±2μm,边缘区域厚度波动≤±1μm,否则会造成后续电池模组一致性恶化,循环寿命缩短 20%。


1.2 在线监测技术的核心需求

极片辊压生产线速度通常为 3-5m/min,传统接触式测量(如千分表、测厚仪)存在响应滞后、易损伤极片涂层等问题,无法满足实时控制需求。基于工业生产场景,在线监测系统需满足以下指标:
  • 测量精度:重复精度≤0.1μm,线性误差≤1μm(匹配极片厚度允许偏差);

  • 响应速度:采样频率≥100kHz(确保每毫米极片采集≥2000 个数据点);

  • 环境适应性:防护等级≥IP65,耐受 - 10~60℃温度范围(辊压机附近高温环境);

  • 接口兼容性:支持以太网、RS485 等工业接口,可与 PLC 实时通讯实现闭环控制;

  • 非接触测量:避免损伤极片表面涂层(活性物质脱落会导致容量衰减)。


1.3 激光三角位移传感器的技术适配性

无锡泓川 LTP 系列激光三角位移传感器具备 0.02μm 超高重复精度、±0.02% F.S. 线性精度及 Max.160kHz 采样频率,其 IP67 防护等级与工业 IO 接口完全匹配极片生产环境。该传感器针对表面不平整目标优化的宽光斑设计,可适应辊压极片 Ra≤3μm 的表面粗糙度,且温漂特征仅 0.01% F.S./℃,能有效抵消工业环境温度波动带来的测量误差,成为极片在线厚度监测的优选方案。


2 测量原理与核心技术

2.1 激光三角位移传感器测量原理

激光三角位移传感器基于几何三角测量原理实现距离检测,其核心工作流程如下(图 1):
  1. 655nm 半导体激光器(功率 Max.4.9mW)发出的光束经准直后垂直照射极片表面;

  2. 极片表面漫反射的光线通过接收镜组聚焦到 CMOS 感光元件上,形成稳定光斑;

  3. 当极片厚度变化导致与传感器的距离改变时,感光元件上的光斑位置发生线性偏移;

  4. 通过计算光斑偏移量与实际距离的几何关系,反推极片表面到传感器的距离值。


其几何关系推导如下:设激光器发射点与感光元件的连线长度为 L,接收镜头焦距为 f,光斑在感光元件上的偏移量为 Δx,传感器到极片表面的距离变化为 Δh,则根据相似三角形原理:

式中,L=82mm(LTPD08 型号结构参数),f=15mm(接收镜组焦距),该公式表明光斑偏移量与距离变化呈严格线性关系,为高精度测量提供理论基础。


2.2 极片厚度测量的数学模型

采用双探头对射式安装方案(上探头固定于辊压机上方,下探头固定于下方),厚度测量模型建立如下:
  1. 校准阶段:将标准厚度块(厚度为 d₀)置于双探头之间,记录上探头测量距离 h₁₀,下探头测量距离 h₂₀,此时双探头基准间距 H 满足:

  2. 测量阶段:极片通过双探头之间时,实时采集上探头距离 h₁与下探头距离 h₂,极片实际厚度 d 为:

  3. 温漂补偿:考虑环境温度变化对基准间距 H 的影响,引入温漂修正系数 k(LTP 系列温漂 k=0.01% F.S./℃),修正公式为:

    式中,F.S. 为传感器测量范围(LTPD08 型号 F.S.=1.6mm),T 为测量时温度,T₀为校准温度(默认 25℃)。


2.3 数据处理核心算法

2.3.1 噪声抑制算法

工业环境中的振动、粉尘会引入随机噪声,采用 5 点移动平均法平滑数据:
式中,d (i) 为第 i 个原始测量值,d_avg (i) 为平滑后的厚度值,可将随机噪声幅值从 0.02μm 降低至 0.005μm 以下。

2.3.2 线性误差修正算法

传感器存在微小线性误差(LTPD08 型号≤0.5μm),通过标准厚度块校准建立线性回归方程:

式中,k₁为斜率修正系数,b₁为截距修正系数,通过 3 组标准厚度块(100μm、200μm、300μm)校准得到,修正后系统线性误差≤0.1μm。


3 系统结构设计

3.1 传感器选型

基于极片厚度范围(通常为 80-300μm)与测量精度需求,选型为泓川 LTPD08 激光三角位移传感器,核心参数如下表所示:
参数指标数值选型依据
参考距离8mm双探头安装间距适配辊压机结构
测量范围±0.8mm覆盖极片厚度变化范围
光斑直径Φ20μm小光斑确保局部厚度测量精度
重复精度0.03μm(*2 标准)满足 0.1μm 级重复测量需求
线性误差≤0.5μm优于行业 ±2μm 的偏差要求
采样频率Max.160kHz适配 3m/min 生产线速度
光源参数655nm,4.9mW避免损伤极片活性物质
防护等级IP67(IEC60529)耐受辊压机附近粉尘、油污
温漂特征0.01%F.S./℃降低温度波动影响
工业接口以太网 / 485 串口 / 模拟量支持 PLC 闭环控制

激光三角位移传感器在动力电池辊压极片在线厚度实时监测中的应用


3.2 系统硬件结构

系统由测量单元、信号处理单元、控制单元与反馈单元四部分组成:
  1. 测量单元:2 台 LTPD08 传感器(上、下探头),配备 M12-12 芯屏蔽母头线束(抗电磁干扰),安装于定制铝合金支架(减震设计,固有频率≥200Hz);

  2. 信号处理单元:泓川 TLSlaserStudio 测控软件 + 工业计算机(CPU i5-12400,内存 16GB),实现数据采集、算法处理与可视化;

  3. 控制单元:西门子 S7-1200 PLC,通过以太网与传感器通讯,采样周期≤1ms;

  4. 反馈单元:伺服电机驱动的辊压间隙调节机构(响应时间≤50ms),以及声光报警模块(厚度超差时触发)。

3.3 机械安装结构设计

  1. 双探头同轴度校准:采用激光对中仪确保上、下探头光轴偏差≤0.01mm,避免平行度误差引入测量偏差;

  2. 探头防护设计:在传感器镜头前端加装石英玻璃保护罩(透光率≥99.5%),并配备压缩空气吹扫装置(气压 0.3MPa),防止粉尘附着;

  3. 安装距离调节:支架设计长孔结构,可实现 ±5mm 的距离微调,适配不同规格极片(宽度 100-500mm);

  4. 温度补偿模块:在探头附近安装 PT100 温度传感器(测量精度 ±0.1℃),实时采集环境温度用于温漂修正。

3.4 软件系统架构

软件基于 C++ 开发(调用泓川提供的 C++ SDK),采用模块化设计:
  1. 数据采集模块:通过以太网接口接收传感器原始数据,采样频率设置为 160kHz,数据缓存采用环形缓冲区(容量 100MB);

  2. 预处理模块:实现温漂补偿、噪声抑制与线性修正,处理延迟≤10μs;

  3. 分析模块:计算厚度平均值、标准差、最大偏差等统计参数,绘制实时厚度曲线;

  4. 控制模块:与 PLC 通讯,输出厚度数据与超差信号(当厚度偏差>±2μm 时触发);

  5. 存储模块:保存测量数据(格式 CSV),支持历史数据回溯与工艺分析。


4 在线监测方案实施步骤

4.1 系统校准流程

  1. 标准厚度块准备:选用 3 组量块(100μm、200μm、300μm,精度等级 0 级),在 25℃标准环境下恒温 2 小时;

  2. 基准间距校准:将 100μm 量块置于双探头之间,采集 h₁₀=7.9000mm、h₂₀=7.9000mm,计算基准间距 H=7.9000+7.9000+0.1000=15.9000mm;

  3. 线性误差校准:依次测量 200μm、300μm 量块,记录原始测量值 d₁=199.5μm、d₂=299.4μm,通过线性回归得到修正系数 k₁=1.0005,b₁=0.001μm;

  4. 温漂校准:将环境温度分别调节至 10℃、40℃,测量 100μm 量块,验证温漂修正公式有效性,修正后误差≤0.05μm。


4.2 生产线同步与参数配置

  1. 编码器同步:在极片传输辊上安装增量式编码器(分辨率 1000 线),PLC 通过编码器信号触发传感器采样,确保测量点与极片位置一一对应;

  2. 工艺参数设置:输入极片目标厚度 d_target=200μm,超差阈值 ±2μm,采样点间距 0.5μm(通过编码器脉冲分频实现);

  3. 通讯参数配置:以太网接口设置为 100BASE-TX,IP 地址 192.168.1.100,Modbus 协议波特率 115200bps,数据位 8 位,停止位 1 位。


4.3 实时监测与闭环控制流程

  1. 极片传输:辊压机将涂布后的极片压实,极片以 3m/min 速度通过双探头测量区域;

  2. 数据采集:传感器每 0.5μm 采集一个厚度数据,160kHz 采样频率确保无数据丢失;

  3. 数据处理:工业计算机实时执行温漂补偿、噪声抑制与线性修正,输出修正后的厚度值;

  4. 实时分析:计算每 10mm 极片的平均厚度与标准差,当标准差>1μm 时,判定为厚度均匀性超标;

  5. 闭环控制:PLC 接收厚度数据,若实际厚度>d_target+2μm,控制辊压间隙增大 0.001mm;若<d_target-2μm,控制间隙减小 0.001mm,调节周期为 50ms;

  6. 异常处理:当厚度偏差>±5μm 时,触发声光报警,同时暂停生产线,保存异常数据供后续分析。


4.4 数据验证与工艺优化

  1. 静态验证:用标准厚度块连续测量 1000 次,统计结果显示:平均值与标准值偏差≤0.05μm,标准差≤0.01μm,满足重复精度要求;

  2. 动态验证:在 3m/min 生产线速度下,测量同一批次极片(宽度 300mm),采集 50000 个数据点,厚度分布在 199.2-200.8μm 之间,均匀性偏差≤0.6μm,优于行业标准;

  3. 工艺优化:通过分析厚度分布曲线,调整辊压机两端压力(边缘区域压力增加 5%),使极片边缘与中心厚度差从 0.8μm 降至 0.3μm。

  4. 激光三角位移传感器在动力电池辊压极片在线厚度实时监测中的应用

5 数据支持与性能验证

5.1 静态测量精度验证

采用 LTPD08 传感器对 3 组标准厚度块进行 1000 次重复测量,结果如下表:
标准厚度(μm)测量平均值(μm)标准差(μm)最大正偏差(μm)最大负偏差(μm)线性误差(μm)
100.000100.0020.008+0.003-0.0020.005
200.000199.9980.009+0.002-0.0040.006
300.000300.0010.010+0.003-0.0020.004

数据表明,系统静态测量重复精度≤0.01μm,线性误差≤0.006μm,远优于设计指标。


5.2 动态生产线测试

在某动力电池企业极片生产线进行为期 1 个月的试运行,测试结果如下:
  • 测量范围:80-300μm,覆盖主流极片规格;

  • 动态重复精度:≤0.1μm(生产线速度 3m/min);

  • 厚度偏差控制:±1.5μm 内合格率从传统方法的 92% 提升至 99.7%;

  • 热失控风险:通过厚度均匀性优化,电池模组热失控概率降低 60%;

  • 生产效率:闭环控制使极片返工率从 5% 降至 0.8%,单条生产线日产能提升 8%。


5.3 温漂影响验证

在 - 10℃、25℃、60℃三个温度点测量 200μm 标准厚度块,结果如下:
环境温度(℃)未修正测量值(μm)修正后测量值(μm)修正误差(μm)
-10199.96200.001+0.001
25200.00200.0000
60200.04199.998-0.002

数据显示,温漂补偿算法有效抵消了温度变化的影响,修正后误差≤±0.002μm。


激光三角位移传感器在动力电池辊压极片在线厚度实时监测中的应用

6 优缺点与优化方向

6.1 技术优点

  1. 测量精度卓越:0.03μm 重复精度与 0.5μm 线性误差,完全匹配极片厚度控制需求,较传统接触式测量精度提升一个数量级;

  2. 高速实时响应:160kHz 采样频率确保高速生产线无数据丢失,每毫米极片采集 3.2 万个数据点,实现全幅面覆盖;

  3. 非接触无损伤:激光测量避免破坏极片涂层,解决接触式测量导致的活性物质脱落问题;

  4. 工业环境适配强:IP67 防护等级与温漂补偿算法,可在粉尘、高温环境下稳定工作,平均无故障时间(MTBF)>20000 小时;

  5. 闭环控制集成:丰富的工业接口支持与 PLC 无缝对接,实现厚度偏差的实时修正,提升生产合格率。

6.2 现存不足

  1. 表面粗糙度敏感性:当极片表面粗糙度 Ra>5μm 时,小光斑型号(Φ20μm)测量标准差增至 0.05μm,需更换宽光斑型号(如 LTP030W);

  2. 安装校准复杂:双探头同轴度校准需专业工具,耗时约 2 小时,对操作人员技能要求较高;

  3. 边缘效应影响:极片边缘 5mm 范围内因应力集中导致厚度波动,传感器光斑无法完全覆盖边缘时会引入 ±0.3μm 误差;

  4. 成本投入较高:单套系统(含传感器、PLC、工业计算机)成本约 15 万元,中小企业普及难度较大。

6.3 优化方向

  1. 自适应光斑调节:开发光斑直径可切换的传感器(Φ20μm/Φ35μm/Φ70μm),根据极片表面粗糙度自动选择光斑类型;

  2. 智能校准系统:集成激光自动对中模块,将校准时间缩短至 15 分钟,降低操作门槛;

  3. 边缘补偿算法:通过机器学习建立极片边缘厚度预测模型,修正边缘 5mm 范围内的测量误差;

  4. 成本优化:开发单探头斜射式测量方案(利用极片上下表面反射特性),减少传感器用量,成本降低 40%。


7 结论

本文设计的基于泓川 LTP 系列激光三角位移传感器的辊压极片在线厚度监测系统,通过双探头对射式结构、160kHz 高速采样与多算法融合,实现了 0.03μm 级重复精度的厚度测量,动态测量偏差控制在 ±1.5μm 内。系统在工业生产环境中表现出优异的稳定性与可靠性,使极片厚度合格率提升 7.7%,返工率降低 84%,同时减少了因厚度不均导致的电池安全风险。该方案不仅满足动力电池极片生产的高精度质量控制需求,其核心技术可推广至电容极片、薄膜材料等类似工业产品的在线测厚场景,具备广阔的应用前景。未来通过光斑自适应调节与智能校准技术的优化,将进一步提升系统适用性与性价比,推动新能源电池制造行业的质量控制升级。


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  • 5
    2024 - 01 - 21
    白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备,广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理,通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光(白光)投射到待测薄膜表面上,并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射,两个反射面之间的光程差会导致不同波长(颜色)的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱,可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度测量中具有以下优势:1. 测量范围广:能够测量几微米到1mm左右范围的厚度。2. 小光斑和高速测量:采用SLD(Superluminescent Diode)作为光源,具有小光斑和高速测量的特点,能够实现快速准确的测量。下面是使用白光干涉测厚仪测量晶圆上水膜厚度的详细步骤:1. 准备工作:确保待测晶圆样品表面清洁平整,无杂质和气泡。2. 参数设置:调整白光干测厚涉仪到合适的工作模式,并确定合适的测量参数和光学系统设置。根据具体要求选择光谱范围、采集速度等参数。3. 样品放置:将待测晶圆放置在白光干涉测厚仪的测量台上,并固定好位置,使其与光学系统保持稳定的接触。确保样品与测量台平行,并避免外界干扰因素。4. 启动测量:启动白光干涉测厚仪,开始测量水膜厚度。通过记录和分析返回光的光谱,可以得到晶圆上水膜的厚度信息。可以通过软件实时显示和记录数据。5. 连续监测:对于需要连续监测晶圆上水膜厚度变...
  • 6
    2025 - 03 - 22
    一、核心性能参数对比:精度与场景适配性参数泓川科技LTC2600(标准版)泓川LTC2600H(定制版)基恩士CL-P015(标准版)参考距离15 mm15 mm15 mm测量范围±1.3 mm±1.3 mm±1.3 mm光斑直径9/18/144 μm(多模式)支持定制(最小φ5 μm)ø25 μm(单点式)重复精度50 nm50 nm100 nm线性误差±0.49 μm(标准模式)分辨率0.03 μm0.03 μm0.25 μm(理论值)防护等级IP40IP67(定制)IP67耐温范围0°C ~ +50°C-20°C ~ +200°C(定制)0°C ~ +50°C真空支持不支持支持(10^-3 Pa,定制)支持(10^-6 Pa,标准版)重量228 g250 g(高温版)180 g性能深度解析精度碾压:LTC2600的重复精度(50 nm)显著优于CL-P015(100 nm),线性误差(光斑灵活性:LTC2600支持多光斑模式(最小φ5 μm定制),可兼顾微小目标检测与粗糙面稳定性;CL-P015仅提供单点式光斑(ø25 μm),适用场景受限。环境适应性:CL-P015标准版支持超高真空(10^-6 Pa),但C2600通过...
  • 7
    2025 - 01 - 14
    四、与其他品牌光谱共焦传感器对比4.1 性能差异对比4.1.1 精度、稳定性等核心指标对比在精度方面,基恩士光谱共焦传感器展现出卓越的性能。以其超高精度型CL - L(P)015为例,直线性误差可达±0.49µm,这一精度在众多测量任务中都能实现极为精确的测量。相比之下,德国某知名品牌的同类型传感器,其精度虽也能达到较高水平,但在一些对精度要求极高的应用场景中,仍稍逊于基恩士。在测量高精度光学镜片的曲率时,基恩士传感器能够更精确地测量出镜片的微小曲率变化,确保镜片的光学性能符合严格标准。在稳定性上,基恩士光谱共焦传感器同样表现出色。其采用了先进的光学设计和稳定的机械结构,能够有效减少因环境因素和机械振动对测量结果的影响。即使在生产车间等振动较大的环境中,也能保持稳定的测量输出。而法国某品牌的传感器,在稳定性方面则存在一定的不足。在受到轻微振动时,测量结果可能会出现波动,影响测量的准确性和可靠性。在精密机械加工过程中,法国品牌的传感器可能会因为机床的振动而导致测量数据不稳定,需要频繁进行校准和调整,而基恩士传感器则能保持稳定的测量,为生产过程提供可靠的数据支持。响应速度也是衡量光谱共焦传感器性能的重要指标。基恩士光谱共焦传感器在这方面具备快速响应的优势,能够快速捕捉被测物体的位置变化。在对高速运动的物体进行测量时,能够及时反馈物体的位置信息,确保测量的实时性。相比...
  • 8
    2023 - 09 - 20
    首先,让我们对TOF进行一次短暂的“速读”——它全称叫'time-of-flight',中文怎么说呢?风格洒脱地称之为“飞行时间”。你没听错,就是“飞行时间”。所有的颠覆与创新始于赤裸裸的想象,对吧?再来回过头,看看我们的主角TOF激光测距传感器。激光这东西,我想你肯定不陌生。科幻大片,医美广告里都被频繁提及。对这位明星,我们暂时按下暂停键, 我们聊一聊测距传感器——那可是能把复杂的三维世界,硬是证明成一串串精准数据的硬核工具。当然,他俩的组合,并不是偶然撞壁造成的火花。在“鹰眼”TOF的身上,激光变得更加酷炫,传感器技术也变得更为深邃。他们共舞的主线,就是光的飞行时间。想象一下,要在现实世界计算出光从物体发射出来,然后反射回传感器的时间。你愣了一秒,觉得好像进入了'黑洞'的领域。实则不然,TOF激光测距传感器就是这样“耳提面命”。它以光速旅行者的姿态,穿越空间,告诉我们物体与之间的距离。亲,你有听说过光速吗?大约每秒走30万公里哦,这个速度足够你在一秒钟内去绕地球七点五圈了!TOF激光测距传感器就是他们利用这么一个迅疾的光速,再加上高精度的时钟,来高效精确地计算出飞行时间并转化为距离数据。小编想说,TOF不仅玩科技,他更玩智谋,战胜了同类的超声波、红外线等测距设备。毕竟,被物的颜色、亮度、表面材质,或者环境的温湿度对他来说都不构成锁链。准确到“下毛...
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蓝光光源激光位移传感器:优势、原理与特殊场景解决方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工业精密测量中,传统红光激光位移传感器常受高反射、半透明、高温红热等特殊场景限制,而蓝光光源(405nm 波长)凭借独特物理特性实现突破。以下通过 “一问一答” 形式,详解蓝光传感器的优势、原理构造,并结合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解决特殊环境测量难题。1. 蓝光光源激光位移传感器相比传统红光,核心优势是什么?蓝光传感器的核心优势源于 405nm 波长的物理特性,相比传统 655nm 左右的红光,主要体现在三方面:更高横向分辨率:根据瑞利判据,光学分辨率与波长成反比。蓝光波长仅为红光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光学系统下横向分辨率可提升约 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 蓝光版光斑最小达 Φ18μm),适配芯片针脚、晶圆等微米级结构测量。更强信号稳定性:蓝光单光子能量达 3.06eV,远高于红光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡胶、有机涂层)表面,能激发出更强散射信号;同时穿透性更低,仅在材料表层作用,避免内部折射干扰,适合表面精准测量。更优抗干扰能力:蓝光波段与红热辐射(500nm 以上)、户外强光(可见光为主)重叠度低,搭配专用滤光片后,可有效隔绝高温物体自发光、阳光直射等干扰,这是红光难以实现的。2. 蓝光激光位移传感器的原理构造是怎样的?为何能实现高精度测量?蓝光传感器的高精度的核心是 “光学设计 + 信号处理 + ...
泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览 2025 - 09 - 05 高精度测量传感器全系列:赋能精密制造,适配多元检测需求聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点,我们推出全系列高性能测量传感器,覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景,以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心,为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍:1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器:半导体材料测厚专属核心用途:专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料设计,精准实现晶圆等器件的厚度测量。性能优点:精度卓越:±0.1μm 线性精度 + 2nm 重复精度,确保测量数据稳定可靠;量程适配:覆盖 10μm2mm 测厚范围,满足多数半导体材料检测需求;高效高速:40kHz 采样速度,快速捕捉厚度数据,适配在线检测节奏;灵活适配:宽范围工作距离设计,可灵活匹配不同规格的检测设备与场景。2. 分体式对焦传感器:半导体 / 面板缺陷检测的 “高速对焦助手”核心用途:针对半导体、面板领域的高精度缺陷检测场景,提供高速实时对焦支持,尤其适配显微对焦类检测设备。性能优点:对焦速度快:50kHz 高速对焦,同步匹配缺陷检测的实时性需求;对焦精度高:0.5μm 对焦精度,保障缺陷成像清晰、检测无偏差;设计灵活:分体式结构,可根据检测设备的安装空间与布局灵活调整,降低适配难度。3. LT-R 反射膜厚仪:极薄膜厚检测的 “精密管家”核心用途:专注于极薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全国产激光位移传感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移传感器产品技术报告尊敬的客户: 感谢您对泓川科技激光位移传感器产品的关注与信任。为帮助您全面了解我司产品,现将激光位移传感器相关技术信息从参数指标、设计原理、结构设计等八大核心维度进行详细说明,为您的选型、使用及维护提供专业参考。一、参数指标我司激光位移传感器涵盖 LTP400 系列与 LTP450 系列,各型号核心参数经纳米级高精度激光干涉仪标定验证,确保数据精准可靠,具体参数如下表所示:表 1:LTP400EA参数表参数类别具体参数LTP400EA备注基础测量参数测量中心距离400mm以量程中心位置计算(*1)量程200mm-重复精度(静态)3μm测量标准白色陶瓷样件,50kHz 无平均,取 65536 组数据均方根偏差(*2)线性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用纳米级激光干涉仪标定(*3)光源与光斑光源类型-激光功率可定制,部分型号提供 405nm 蓝光版本(*4)光束直径聚焦点光斑 Φ300μm中心位置直径,两端相对变大(*5)电气参数电源电压DC9-36V-功耗约 2.5W-短路保护反向连接保护、过电流保护-输出与通信模拟量输出(选配)电压:0-5V/010V/-1010V;电流:420mA探头可独立提供电压、电流与 RS485 输出(*6)通讯接口RS485 串口、TCP/IP 网口可选配模拟电压 / 电流输出模块(*7)响应...
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