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Case 激光位移

激光三角-圆筒内壁圆度误差在线检测系统研究

日期: 2022-01-17
浏览次数: 170

摘要:圆筒内壁的圆度检测工作环境恶劣,检测要求严格,目前缺乏合适的解决方案。因此对其研究将促进圆筒内壁圆度误差检测的机械化自动化水平,提高产品质量,降低生产成本,加快生产速度,系统采用改进的激光三角测距法作为测量方法,既能在高温环境下工作,又可对小径圆筒进行测量。而机器视觉是用机器代替人眼来做测量和判断,测量精度高、速度快。将二者相结合,可有效解决圆筒内壁高质量、高速度的在线检测难题。

关键词:圆筒内壁检测;机器视觉;激光三角测距法

0     引言

在圆筒生产的加工过程中,本工序的前驱工序是高温钢冲压成型。由于振动磨损等原因,冲压设备在工作一段时间后会出现较大的偏差,必须对产品进行检测,发现问题后,对冲压设备进行调整。而圆筒内壁检测的传统解决方法是:冲压一批圆筒,冷却后抽样检查,不合格则本批报废,同时校正冲压设备,以便继续生产。这种传统做法采用抽样检测,如果出现废品则报废一批,存在很大的浪费,而且经过前驱工序的冲压成型,内壁表面温度高达100°C左右,必须等待产品冷却后才能检验,大大限制了生产线的工作速度;另一方面传统检测方法也不够准确、全面,故难以适应现代工业高质量生产的要求。

本系统的提出能够精确地完成圆筒的实时在线检测任务,在圆筒内壁的圆度不合格时,能够实时检测到不合格圆筒并及时报警,以便立即调整冲压设备。新检测方法既能全面检测提高了产品质量,避免更大的损失,又可加快检测速度,提高生产效率。

1     工作原理

系统采用激光测距方法,选定扫描的旋转角度和垂直间隔后,在圆筒内壁进行全扫描。因为待测目标周围环境的特殊性,现对激光三角法加以改进-由带有光路变向的激光三角检测法来进行设计。先分析激光三角法工作原理,再介绍改进的方法。

11激光三角法工作原理

激光三角法由激光器、成像透镜及光电传感器组成。激光器发出的激光投射到被测物体表面上形成漫反射光斑。将漫反射光斑作为传感信号,用透镜成像原理将收集到的反射光汇聚到成像透镜的焦平面上,此处放置光电传感器。当漫反射光斑随被测物体表面移动时,成像光点在光电传感器面上作相应的移动。根据像移距离的大小和传感器的结构参数可以确定被测物体表面的位移量,激光束如同接触测量的机械探针,可确定被测表面测点的位置。为了减小被测表面质量对测量的影响,通常采用激光束垂直入射被测物体表面的测量方式。

激光三角-圆筒内壁圆度误差在线检测系统研究

1激光三角法原理示意图

1中s为待测物体表面位移,为待测物体表面光斑在传感器上的相对位移,a为镜头到物体的物距,b为镜头到成像面的像距为观察角。由几何光学知识可求得s'与s关系如下:

激光三角-圆筒内壁圆度误差在线检测系统研究

当被测距离大于基准距离时取减号,小于基准距离时取加号。

12光路改进原理分析

由于圆筒内径的限制,可能会小到80mm左右,激光无法照射整个内壁表面;又由于圆筒温度高达100℃,激光三角测量装置不能直接伸入到圆筒内部进行检测,所以需要对传统的激光三角法检测方案进行改进。

121改进方案

(1采用反射镜反射激光,改变激光光路方向(如图2)。在检测装置底部放置45°反射镜,将平行内壁表面入射的激光光路变为垂直照射内壁表面,这样可以在圆筒外远距离垂直放置激光器。


激光三角-圆筒内壁圆度误差在线检测系统研究

2光路改进原理示意图

2)采用三棱镜作为观察装置,观察三棱镜内成像。在检测装置内部放置折射光路用的三棱镜应满足如下条件:①三棱镜摆放的位置不可挡住激光器发出的激光线;②保证三棱镜的长边与圆筒底面平行;③要使基准待测表面反射出的45°漫反射光在三棱镜边线的中点射入三棱镜,以保证测量范围。经过计算可知:当三棱镜的角度分别为25°、45°12,可以将45°出射的激光光路改变为恰好90°垂直出射,这样可以在圆筒外远距离垂直放置视觉图像采集器来采集三棱镜所成的像。

激光三角-圆筒内壁圆度误差在线检测系统研究

3机械装置工作示意图

3中的轴线为检测装置的轴线,设轴线到待测表面的距离为S。因装置中激光发射器、反射镜与三棱镜已经定位并固定,则可计算出三棱镜上边到激光线水平段的高度H、三棱镜25°角的顶点到轴线的距离W,再设轴线到射入镜头的激光线的距离为V。由几何光学知识可求得:

S=H+W+(W+V)tan25°     2

其中H、W为固定值,V为镜头中的测量值,则S可计算出。

122优点

1)将反射镜以45°放置,可使激光光路垂直于内壁表面,有效的减小激光三角法检测的误差,且便于计算。

2)检测过程中,在三棱镜内发生的两次反射都是全反射,所以,一方面在理论上不存在反射光能的损失,另一方面在光学理论上三棱镜最后所成的实像与实际物体大小相等,方向相同,只是相对距离有变化。

3)此方法可对大小不同的圆筒内壁进行检测,可检测的圆筒内壁最小直径约为80mm,装置不受圆筒高度限制,可根据圆筒的具体高度来设计系统。

4)此方法消除了传统激光三角法中由计算公式带来的非线性误差。

2     机械装置模型

机械装置部分负责在远端容纳并固定图像采集系统和激光器。在伸入端内安装反射镜和三棱镜,两端之间要能够传导光线,如图3所示。机械装置除了起到固定与定位的作用,还要保持一定的定位精度,此外机械装置部分也要保证适当的工作距离,使电路部分能够正常工作。

3     系统的图像处理

31系统的图像处理流程

1)图像采集,需要对图像传感器进行操作,实时读取数字化图像;

2)图像预处理,对采集到的图像进行一系列基本处理,为后续的处理提供简单、清楚、无噪声的图像

3)提取光斑中心,将图像上光斑的中心提取出来,完成从一幅图像到一个数据的转换;

4计算V值,将光斑中心的坐标数据转换为轴线到射入镜头的激光线的测量数据。

32图像处理工作平台的选择

由于系统要求运算精度高、速度快,所以一般的单片机无法满足需求,而高级的单片机又不够经济实用。本系统选用的是TI公司的TMS320VC5416进行嵌入式开发,54x是TI公司的一个低端系列,低能耗、高效率。而541654系列DSP(数字信号处理器)中最高端的产品,专为数字信号处理而优化,适于进行图像处理这种卷积运算任务复杂的应用环境。性能上能够满足本系统的应用需求,且成本低、易使用、外观小巧,便于嵌入系统,也便于隔温保护。

在TMS320VC5416的强大运算能力基础上,采用OV760图像传感器采集视觉图像。OV760CMOS图像传感器,体积小、重量轻、集成度高、可以直接输出数字图像信号、内含几种基本的图像处理功能、输出格式丰富。既简化了后续电路设计,又提高了图像采集质量。

将TMS320VC5416与OV760结合进行硬件设计,在空间上非常节省。因此,如果系统工作环境温度成为障碍的时候,甚至可以考虑将硬件系统隔离。

4     检测过程

圆筒在生产线传送带上运动,到达检测装置所在位置后停止,进行检测。将检测装置平行于圆筒轴线伸入圆筒内,在圆筒内壁进行全扫描。采集全部的数据点后带入式(2)中,得出相应的数据值进行分析。由于检测装置伸入时与圆筒的轴线位置会有一定的偏差,所以先将每一横截面上的数据值分别进行分析,找出每个横截面上的圆心位置,从而确定圆筒轴线位置。再分析该圆筒轴线是否与圆筒底面垂直,并分析所有检测点是否都在误差范围内。若两项都满足要求,则该圆筒合格,通知传送带继续前进,准备检查下一个圆筒;若其中有一项不合格,则该圆筒不合格,并将数据值分组对比,找出原因,通知前驱工序,调整冲压设备。

5     结束语

系统结合了光学成像、机械、图像信息处理等多个学科技术交叉融合、互相配合,并对系统中的基本激光三角法方案进行改进,成功解决了圆筒内壁圆度的实时在线检测问题。系统还应该考虑光学领域的照明工程、工程光学、光学材料等相关技术;考虑机械装置中的材料、加工、精度因素;在电子电路上,芯片、接口、电磁特性也需要研究;并结合了图像采集、图像预处理、图像光斑位置检测等图像信息处理技术。故本系统是光学、机械、电子、信息一化的检测系统,为实现圆筒内壁均匀度的在线检测提供了一种有效的途径。

论文题目:圆筒内壁圆度误差在线检测系统研究

作者:段振云,付连海,况卫平,毛波(沈阳工业大学,机械工程学院)


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半导体行业测量与检测现状--白皮书 (2) 2026 - 07 - 25 3 半导体行业发展现状与趋势 本章分析全球及中国半导体产业的发展动态,以及对量测检测领域的影响,包括市场驱动力、挑战和技术演进路线等。 3.1 产业发展现状 全球与中国市场规模: 受益于 5G、AI、物联网等需求推动,全球半导体设备市场近年来快速扩张,2019 年2022 年从 598 亿美元增长至 1,076 亿美元。2023 年由于芯片下游需求疲软出现小幅下滑,全球设备销售额约 1,063 亿美元,同比下降 1.3%。其中,中国大陆仍是全球最大的半导体设备市场,2023 年采购约 367 亿美元设备,占全球约 34.5%。在这一大背景下,用于工艺控制的量测 / 检测设备(即良率检测设备)也保持增长:2023 年全球半导体量测和检测设备市场规模达 128.3亿美元,同比增长 1.6%,2019-2023 年 CAGR 高达19.1%。中国大陆市场同期由 16.9 亿美元增至约 42.3亿美元,占全球比重从 26.5% 提升至约 33%。尽管短期增速有所区别,但中长期看大陆市场增势强劲,预计2025 年中国大陆量测设备销售将继续两位数增长。 行业格局与竞争: 半导体量检测设备属于高技术壁垒行业, 全球市场集中度极高。前道量测 / 检测领域被少数国际巨头垄断, 前五大厂商市占率超过 80%。美国科磊公司 (KLA) 是绝对龙头,在光学检测和裸晶圆检测等核心领...
半导体行业测量与检测现状--白皮书 (1) 2026 - 07 - 24 1 行业概述 半导体 “量检测” 一般指半导体制造过程中的测量与检测(Metrology & Inspection),涵盖对晶圆和芯片进行尺寸测量、缺陷检测、测试分析等环节。这类设备通过精密仪器和软件,在晶圆制造从光刻到封装的各阶段对关键参数和缺陷进行检测,把控产品良率。由于半导体元件的微缩和复杂化,量测与检测成为保障产品性能和良率的核心环节,被视为芯片制造的“质量保障”命脉。这些设备广泛应用于硅晶圆制造线的各步骤,以及封装测试、印刷电路板检测等领域,确保从晶圆到成品的每一阶段满足严格的技术规范。例如,在晶圆制造中,自动检测系统可识别光刻中的缺陷、量测线宽和膜厚,在封装中 AOI 和 X 射线检测设备可发现封装内部的焊点空洞等缺陷。 半导体 “量检测” 存在诸多难点,主要体现在检测精度要求高、检测速度与效率的平衡、缺陷检测难度大等方面。这些技术难点直接推高了行业准入门槛,促使企业加大研发投入,同时也推动了检测设备向智能化、自动化方向发展。高效精准的检测技术已成为提升产品良率、降低生产成本的关键,正在重塑半导体行业的市场竞争格局。 市场规模及发展 随着半导体行业的持续增长,对检测设备的需求也稳步上升。据统计,2021 年全球半导体量测与检测设备市场规模约为 73 亿美元,预计 2031 年将增长至 133 亿美元,年复合增长率约 6.2%。...
LTP 系列激光位移传感器全国产化之路 —— 从技术依赖到自主可控的心路历程 2026 - 04 - 12 作为一名深耕精密传感行业十余年的从业者,我全程参与了泓川科技 LTP 系列高速高精度激光三角位移传感器的全国产化攻坚。这段从 “全盘进口” 到 “100% 自主可控” 的历程,不仅是一款产品的突围,更是中国高端工业传感器打破封锁、实现自立自强的真实缩影。当前,中国已是全球最大的制造业基地与工业传感器消费市场,智能制造、半导体、锂电、汽车电子等领域对纳米级位移测量的需求呈爆发式增长。而激光三角位移传感器作为精密测控的 “核心标尺”,长期被欧美日品牌垄断 —— 高端型号依赖进口核心器件,不仅采购成本高出 30%-50%,交期动辄 3-6 个月,更面临供应链断供、技术卡脖子的致命风险。在国产替代成为国家战略、产业链安全重于一切的今天,高端传感器的全国产化,早已不是选择题,而是关乎制造业根基的必答题。LTP 系列的国产化之路,正是在这样的时代背景下,一群中国传感人用坚守与突破,写下的硬核答卷。一、初心与觉醒:从 “拿来主义” 到 “必须自主” 的心路转折回望 LTP 系列的起点,我们和国内绝大多数同行一样,深陷核心部件全面依赖进口的困境。早年做激光位移传感器,我们奉行 “集成路线”:激光器选日本某品牌的 655nm 半导体激光管,光学镜头采购德国高精度玻璃透镜,信号处理芯片用美国 TI 的高精度 ADC,就连光电探测器、滤波片也全部依赖进口。这套方案成熟稳定,但代价沉重:核心部件被供应商卡...
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