光谱共焦传感器基于波长与位移的对应关系实现高精度测量,两者原理相似但技术路线分化明显。

参数维度 | 泓川科技 LTC100B | 德国米铱 IFS2402-0.4 |
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测量范围 | ±0.05mm(参考距离 8mm) | 400μm(量程起点 1.5mm) |
重复精度 | 3nm | 16nm(取 512 次平均) |
线性误差 | <±0.03μm | ~0.3μm(≤±0.08%FSO) |
光斑直径 | Φ2.7μm/5.4μm/43.2μm | 10μm |
测量角度 | ±46.5° | ±8°(镜反射场景) |
防护等级 | IP40 | IP40 |
成本对比 | 约为米铱的 40%-50% | 高端型号,成本较高 |
优势 | 1. 大测量角度,适配曲面工件;2. 光斑规格多样,适合微小目标与表面不平整物体;3. 性价比突出。 | 1. 分辨率更高,适合纳米级结构检测;2. 钛合金外壳,抗振动(2g/10-500Hz)与冲击(15g)能力更强;3. 支持 90° 径向测量,适合深槽内壁检测。 |
劣势 | 1. 测量范围较小;2. 安装倾角限制较宽松但镜面反射场景精度易受影响。 | 1. 测量角度狭窄,需严格对准;2. 成本高,不适配大规模工业量产。 |
典型应用 | 手机曲面 R 角测量、小型金属零件轮廓检测 | 半导体芯片表面扫描、牙科样本微结构测量 |
参数维度 | 泓川科技 LTC2000 | 德国米铱 IFS2405-1 |
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测量范围 | ±1mm(参考距离 50mm) | 1mm(量程起点 10mm) |
重复精度 | 85nm | 28nm(1kHz 采样,512 次平均) |
线性误差 | <±0.6μm | <±0.25μm(≤±0.025%FSO) |
光斑直径 | Φ20μm/40μm/320μm | 8μm |
采样频率 | 最高 10kHz(控制器 TS-CCS) | 最高 6.5kHz(持续可调) |
接口能力 | USB/RS485 / 以太网 / 模拟量,支持 PLC 总线 | Ethernet/EtherCAT/RS422,支持工业总线同步 |
优势 | 1. 测量范围更广,适合中距离工件;2. 控制器接口兼容性强,适配传统工业设备;3. 重量轻(162g),安装灵活。 | 1. 线性误差更低,适合高精度厚度测量;2. 支持 EtherCAT 高速总线,适配自动化产线;3. 前端防护等级 IP65,适合多尘环境。 |
劣势 | 1. 采样频率与总线兼容性略逊于米铱;2. 温度漂移系数(≈0.1% F.S/°C)高于米铱。 | 1. 成本是 LTC 的 2-3 倍;2. 探头重量较大(125g),动态测量时需考虑机械负载。 |
典型应用 | PCB 零件高度差测量、结构件平面度检测 | 玻璃厚度在线监测、多层薄膜单向测厚 |
参数维度 | 泓川科技 LTC系列控制器 | 米铱 IFC2421/2422 控制器 |
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通道数 | LT-CCS(1 通道)/TS-CCH(16 通道) | IFC2421(1 通道)/IFC2422(2 通道) |
最高采样频率 | 1 通道 10kHz,16 通道 4kHz | 1 通道 6.5kHz(内置光源),外接氙灯可达 70kHz |
工业接口 | 标准配置,支持 Modbus / 以太网,可选 EtherCAT | 原生支持 EtherCAT/RS422,适配工业 4.0 产线 |
软件生态 | 提供 TSConfocalStudio 软件,支持 C++/C# 二次开发 | 支持网页调试界面,集成材料数据库,开发文档更完善 |
优势 | 1. 多通道同步采集成本低,16 通道控制器价格约为米铱的 1/3;2. 接口协议通用,适配国产 PLC。 | 1. 采样频率与信号稳定性更强,适合高速动态测量;2. 网页调试界面简化操作,材料数据库支持自定义扩充。 |
劣势 | 1. 高速采样时(如 10kHz)噪声抑制能力较弱;2. 复杂场景下的算法优化(如多层厚度)不如米铱。 | 1. 单通道成本高,多通道系统造价昂贵;2. 对工程师调试能力要求更高。 |
核心优势:
成本控制能力突出:硬件用料(如铝合金外壳 vs 米铱钛合金)与供应链本地化降低成本,适合 3C 产品、汽车零部件等大规模量产场景,相同精度下采购成本可节省 50%-60%。
兼容性与灵活性:接口覆盖 USB/RS485 / 模拟量等传统工业协议,探头尺寸多样(如 C8000 直款 / 折款适配狭小空间),适配非标自动化设备改造。
基础性能均衡:重复精度 3nm-300nm 覆盖多数工业场景(如手机屏幕平整度检测要求≤100nm),抗干扰能力强(如抗环境光 30000lx)。
应用局限:
极端环境适应性弱:不支持真空环境与防爆场景,高温(>50℃)或振动剧烈场景下精度衰减明显。
高端功能缺失:多层厚度测量仅支持 2-3 层峰值识别(米铱支持 6 层),半导体晶圆测厚等场景难以满足。
核心优势:
技术指标领先:分辨率达 16nm,线性误差≤0.08% FSO,适合半导体芯片(线宽≤10nm)、医疗导管(壁厚公差≤1μm)等极致精度需求。
环境鲁棒性强:钛合金探头 + 无磨损透镜设计,可用于真空、防爆区域(如锂电池注液工序),温度漂移系数 < 0.03% F.S/°C,长期稳定性更优。
系统集成度高:EtherCAT 总线支持纳秒级同步,配合氙灯光源实现 70kHz 高速采样,适配光伏硅片在线检测等动态场景。
应用局限:
性价比劣势:单探头成本通常超万元,多通道系统(如 16 通道)造价可达 LTC 的 5-8 倍,中小批量生产场景成本压力大。
调试门槛高:网页界面需专业知识(如光谱校准),非标准化测量需定制算法,依赖厂商技术支持。
优先选择泓川科技 LTC 系列的场景:
消费电子制造:手机中框 R 角测量、PCB 焊盘高度检测(精度要求≤50nm);
一般工业自动化:金属工件轮廓扫描、液膜厚度监测(采样频率≤10kHz);
中小企业产线改造:预算有限,需快速替换传统激光传感器。
优先选择米铱 confocalDT 的场景:
半导体与微电子:晶圆厚度测量、芯片封装翘曲检测(精度要求≤10nm);
高端制造:航空发动机叶片涂层厚度、医疗内窥镜导管内径检测;
科研与极端环境:真空腔体尺寸标定、高温炉膛内构件位移监测。
光谱共焦传感器的技术竞争本质是 “精度 - 成本 - 适应性” 的三角博弈。泓川科技 LTC 系列以 “一半成本实现 80% 性能” 打破了高端测量的价格壁垒,成为工业量产的 “普及者”;而米铱 confocalDT 则以 “纳米级精度 + 全场景覆盖” 守住了高端制造的技术高地。用户可根据自身场景的精度刚需与预算空间,在两者之间找到最优解 —— 毕竟,最合适的测量方案,从来不是参数表上的绝对值,而是性价比与需求的精准匹配。