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LTCS-100 白光干涉测厚控制器 聚焦光斑,测厚 2μm~100μm,重复精度 1nm

上市日期: 2026-04-19
  • 型号:LTCS-100

  • 适配探头:IRVP-TVF

  • 可测厚度:2μm~100μm(折射率 1.5)

  • 重复精度:1nm

  • 线性误差:<20nm

  • 采样频率:Max.10kHz

  • 光斑直径:Φ100μm

  • 工作距离:55mm±2mm

  • 测量角度:±5°

  • 探头防护:IP40

  • 电源:24VDC±10%

  • 通讯接口:Ethernet、RS485、USB2.0


Top / 精选推荐
  • 发布时间: 2023 - 12 - 09
    10kHz的超快采样速度LTS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光学镜组和高灵敏度的电子器件,能够实现行业领先的采样 速度,从而帮助客户提高测量效率和加快产线的节拍。+20nm的超高线性精度独立设计的高空间分辨率的白光干涉光学探头,能够带来极为出色的线性特性。基于干涉原理的测厚探头,无原理层面引入的非线性因素,只需要考虑光谱分析过程中的非线性误差。1nm的超高重复精度采用高灵敏度、高信噪比的元器件,同时在探头中实现内部信号数字化,大大减小了噪声干扰。同时基于干涉的测厚方式能够大大提高传感器对外部扰动的抑制能力。
  • 发布时间: 2021 - 09 - 06
    基于调频连续波(FMCW)的相干接收原理,高精度的测距。实现微米级的远距准确测距。通过集成光学原理实现超高精度的测量硅基光电集成技术,一体化的光学封装技术,实现半导体激光器和探测器集成统一光学传感模组。非凡的抗干扰性和稳定性不受材质颜色、环境光等干扰同轴测量无死角轻量、便携无需控制器、放大器等,只一个传感器即可测量。数字化 可与多个开放式现场网络兼容。检测不受限通过物体的表面反射或遮光量进行检测,可检测大多数物体(玻璃、金属、塑料、木料及液体等)。长距离 高功率传感器,轻松进行长距离检测。非接触采用激光非接触测量方法,对被测设备无任何影响且不会产生接触划痕。寿命较长,无需进行维护。同轴回光 支持狭小空间间隙检测。高精度 小光斑可精确检测小微型物体。稳定检测 根据工件设置最优的激光发射功率以及增益。
  • 发布时间: 2021 - 08 - 12
    泓川科技LTC全系列光谱共焦传感器,量程横跨±0.05mm至±25mm,0.02%FS线性精度+30kHz超高速采样,支持Φ1.7μmΦ400μm三级光斑配置。深孔内壁(LTCR侧向出光)、透明多层测厚(LTC7000S)、超高温场景(200°C定制)全覆盖,适配21kHz高速控制器(LT-CCH)及16通道同步系统。专为半导体晶圆、新能源极片、航空航天精密件、医疗植入物等高端制造领域提供国产高性价比替代方案,重新定义工业检测新标准!
  • 发布时间: 2021 - 04 - 20
    高韧性线缆,配备至机器人时也可放心使用。完全符合 IP67 标准的连接器,在潮湿或粉尘较多的现场环境中也可放心使用,传感头也完全符合 IP67 标准。光量自动调节功能,有效提高光亮调整的灵敏度,自动根据不同被测物的反光度调节激光亮度范围。定制物镜可将不规则的光束消除,同时将畸变的影响降至最低,大幅提高测量系统的线性精度。
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  • 1
    2022 - 12 - 03
    激光测距传感器的功能,你了解多少呢?大家好,我是无锡宏川传感学堂的李同学。激光测距传感器的功能可分为距离测量和窗口测量。其中距离测量在测距应用中传感器可以随时投入使用。直接给出与物体之间的距离。测量值可用于系统控制或者物体的精准定位。此外还可以选择对数字量模拟,量输出进行调整。如果需要检测尺寸较小的物体。可直接进行窗口测量。通过对参照物进行自学习,传感器可直接测得与标称尺寸的偏差。在这种情况下,数字量输出也可以进行相应的参数进行。除了传感器的尺寸和测量范围。光斑的形状也尤其重要,点击光代表精准聚焦。能精确测量小尺寸的物体。线激光能可靠测量粗糙度比较大的表面积。带纹理的彩色表面。在光泽不均匀或极其粗糙的表面上也能进行稳定的测量。
  • 2
    2023 - 10 - 01
    '新吴科之匠',泓川科技有限公司全新打造的传感器新标杆,我们凝聚高端技术力量,专注于高精度、高性能的激光位移传感器LTP系列,光谱共焦传感器LTC系列,白光干涉测厚传感器,线光谱共焦传感器,以及3D结构光和3D线激光。 强大的研发能力和对细节无穷追求,让我们的产品在每个细微处都彰显出卓越品质。'新吴科之匠'不仅寓意着尖端科技的集中体现,更代表着对品质的极致追求。我们相信,只有最好,才能过硬。
  • 3
    2025 - 04 - 02
    以下为HC16-15国产激光位移传感器与进口ILD1420-10的对比分析报告,重点围绕技术参数、性能指标及国产替代可行性展开:一、核心参数对比指标HC16-15(泓川科技)ILD1420-10(Micro-Epsilon)测量范围±5mm(总10mm)10mm(SMR 20mm至EMR 30mm)线性度±0.1% F.S.±0.08% F.S.重复精度1μm0.5μm采样频率3000Hz(最高)4000Hz(最高)光源波长655nm(可见红光)670nm(可见红光)输出接口RS485(Modbus RTU)、0-10V/4-20mARS422、4-20mA/1-5V工作温度-10°C ~ +50°C0°C ~ +50°C防护等级IP67IP65尺寸(mm)44×31×18约47.5×14(主体)重量70g(含线缆)60g(含线缆)激光安全等级Class 2Class 2(ILD1420)/ Class 1(CL1版本)二、性能深度分析1. 精度与稳定性HC16-15:线性度±0.1% F.S.(优于多数国产传感器),1μm重复精度满足工业级需求,温度特性0.05% F.S/°C,适合宽温环境。ILD1420-10:线性度±0.08% F.S....
  • 4
    2023 - 09 - 25
    由于半导体生产工艺的复杂性和精密性,对晶圆切割的技术要求极高,传统的机械切割方式已经无法满足现代电子行业的需求。在这种情况下,光谱共焦位移传感器配合激光隐切技术(激光隐形切割)在晶圆切割中发挥了重要作用。以下将详细介绍这种新型高效切割技术的应用案例及其优势。原理:利用小功率的激光被光谱共焦位移传感器设定的预定路径所导,聚焦在直径只有100多纳米的光斑上,形成巨大的局部能量,然后根据这个能量将晶圆切割开。光谱共焦位移传感器在切割过程中实时检测切口深度和位置,确保切口的深广和位置的精确性。激光隐切与光谱共焦位移传感器结合的应用案例:以某种先进的半导体制程为例,晶圆经过深刻蚀、清洗、扩散等步骤后,需要进行精确切割。在这个过程中,首先,工程师根据需要的切割图案在软件上设定好切割路径,然后切割机通过光谱共焦位移传感器引导激光按照预定的路径且此过程工程师可以实时观察和测量切口深度和位置。优点:这种技术最大的优势就是它能够实现超微细切割,避免了大功率激光对芯片可能会带来的影响。另外,因为切割的深度和位置可以实时调控,这 法也非常具有灵活性。同时,由于使用光谱共焦位移传感器精确控制切割的深度和位置,所以切割出来的晶圆表面平整,质量更好。总的来看,光谱共焦位移传感器配合激光隐切在晶圆切割中的应用,不仅提升了生产效率,减少了废品率,而且大幅度提升了产品质量,对于当前和未来的半导体行业都将是一个革新的技...
  • 5
    2024 - 03 - 05
    非接触式激光位移传感器在生产线上的应用具有多方面的优势,下面将从精度、速度、可靠性、灵活性和安全性等方面进行逐一分析,并通过具体的应用场景来说明其应用价值。同时,还会与传统的接触式传感器进行比较,以突显非接触式激光位移传感器的独特优势。精度:非接触式激光位移传感器采用激光三角测量法,具有极高的测量精度。例如,在半导体制造过程中,需要精确控制薄膜的厚度,非接触式激光位移传感器可以实现微米级的测量精度,从而确保产品质量。相比之下,传统接触式传感器可能会因为接触力度的不同而影响测量精度。速度:非接触式激光位移传感器具有快速响应的特点,可以在生产线上实现高速测量。例如,在包装机械中,需要实时监测包装材料的位置和速度,非接触式激光位移传感器可以迅速捕捉到这些变化,从而确保包装过程的顺利进行。而传统接触式传感器可能会因为接触摩擦等因素而影响测量速度。可靠性:非接触式激光位移传感器无需与目标物体直接接触,因此可以避免因摩擦、磨损等因素导致的传感器损坏。此外,非接触式传感器还具有较好的抗干扰能力,可以在恶劣的生产环境中稳定工作。相比之下,传统接触式传感器更容易受到环境因素的影响而出现故障。灵活性:非接触式激光位移传感器可以适应不同的测量需求,通过调整激光发射角度、接收透镜焦距等参数,可以实现不同距离、不同角度的测量。此外,非接触式传感器还可以与计算机、PLC等设备进行连接,实现自动化控制和数据处理...
  • 6
    2025 - 03 - 27
    1. 引言在工业自动化领域,激光位移传感器是实现高精度非接触测量的核心器件。基恩士 IL-S025 作为市场主流产品,以其 1μm 重复精度和稳定性能著称。然而,随着国产传感器技术的突破,泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 型号凭借更高的性能参数和经济性,为用户提供了新的选择。本文将从技术参数、性能表现、应用场景等方面,深入对比分析两者的替代可行性。 2. 核心技术参数对比参数基恩士 IL-S025泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W对比结论重复精度1μm0.25μm(LTM3-030)/ 0.25μm(LTM3-030W)LTM3 系列更优(4 倍精度提升)线性误差±0.075% F.S.(±5mm 范围)LTM3-030W 更优(接近 IL-S025)测量范围±5mm(参考距离 25mm)±5mm(参考距离 30mm)等效采样频率3kHz(采样周期 0.33ms)10kHzLTM3 系列更优(3倍速度提升)光斑尺寸25×1200μm(线性光斑)Φ35μm(M3-030)/ Φ35×400μm(M3-030W)LTM3 系列光斑更小(点光斑更聚焦)光源类型660nm 激光(Class 2)655nm 激光(Class 2)等效接口配置需外接放大器单元(支持 EtherNet/IP 等)...
  • 7
    2025 - 01 - 14
    四、与其他品牌光谱共焦传感器对比4.1 性能差异对比4.1.1 精度、稳定性等核心指标对比在精度方面,基恩士光谱共焦传感器展现出卓越的性能。以其超高精度型CL - L(P)015为例,直线性误差可达±0.49µm,这一精度在众多测量任务中都能实现极为精确的测量。相比之下,德国某知名品牌的同类型传感器,其精度虽也能达到较高水平,但在一些对精度要求极高的应用场景中,仍稍逊于基恩士。在测量高精度光学镜片的曲率时,基恩士传感器能够更精确地测量出镜片的微小曲率变化,确保镜片的光学性能符合严格标准。在稳定性上,基恩士光谱共焦传感器同样表现出色。其采用了先进的光学设计和稳定的机械结构,能够有效减少因环境因素和机械振动对测量结果的影响。即使在生产车间等振动较大的环境中,也能保持稳定的测量输出。而法国某品牌的传感器,在稳定性方面则存在一定的不足。在受到轻微振动时,测量结果可能会出现波动,影响测量的准确性和可靠性。在精密机械加工过程中,法国品牌的传感器可能会因为机床的振动而导致测量数据不稳定,需要频繁进行校准和调整,而基恩士传感器则能保持稳定的测量,为生产过程提供可靠的数据支持。响应速度也是衡量光谱共焦传感器性能的重要指标。基恩士光谱共焦传感器在这方面具备快速响应的优势,能够快速捕捉被测物体的位置变化。在对高速运动的物体进行测量时,能够及时反馈物体的位置信息,确保测量的实时性。相比...
  • 8
    2022 - 12 - 03
    无论是半导体加工过程中还是锂电池制造过程中总是伴随着腐蚀,高温振动等恶劣环境,为了保证生产的高效稳定,无锡泓川科技推出了多种具有不同钢铁不锈钢金属外壳的激光位移传感器,具有高防护性,可以从容的面对各种复杂的环境。在生产过程中总是在恶劣的环境中进行。在当今的环境中,自动化解决方案有时会暴露在非常困难的生产条件下。而且还必须具有可靠的功能,这对传感器技术来说是一个挑战。无锡泓川科技有限公司广泛的测试程序,确保了我们的激光位移传感器能够承受恶劣的环境要求。例如在电子行业中电子产品在我们日常生活中扮演着重要的角色。无论是在电动巴士和汽车的电池中,还是在太阳能发电模块中。自动化生产在电子工业的许多领域都是非常复杂的。真空和高温环境是随处可见的。使用的化学物质具有腐蚀性。这不仅影响生产条件和机器在许多应用领域,传感器解决方案也面临着新的挑战。那么能满足这些挑战的出色的激光位移传感器是什么样的呢?在某些情况他必须能抗抵抗至少70度到100度的高温。或者他必须能承受真空环境并且具有腐蚀性,化学物质的过程中也能抗拒。他应该有特别耐用的材料制成如不锈钢甚至特氟龙材料。无锡泓川科技有限公司提供范围广泛的激光位移传感器和激光位移传感器技术,尤其适用于恶劣环境。
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LTP 系列激光位移传感器全国产化之路 —— 从技术依赖到自主可控的心路历程 2026 - 04 - 12 作为一名深耕精密传感行业十余年的从业者,我全程参与了泓川科技 LTP 系列高速高精度激光三角位移传感器的全国产化攻坚。这段从 “全盘进口” 到 “100% 自主可控” 的历程,不仅是一款产品的突围,更是中国高端工业传感器打破封锁、实现自立自强的真实缩影。当前,中国已是全球最大的制造业基地与工业传感器消费市场,智能制造、半导体、锂电、汽车电子等领域对纳米级位移测量的需求呈爆发式增长。而激光三角位移传感器作为精密测控的 “核心标尺”,长期被欧美日品牌垄断 —— 高端型号依赖进口核心器件,不仅采购成本高出 30%-50%,交期动辄 3-6 个月,更面临供应链断供、技术卡脖子的致命风险。在国产替代成为国家战略、产业链安全重于一切的今天,高端传感器的全国产化,早已不是选择题,而是关乎制造业根基的必答题。LTP 系列的国产化之路,正是在这样的时代背景下,一群中国传感人用坚守与突破,写下的硬核答卷。一、初心与觉醒:从 “拿来主义” 到 “必须自主” 的心路转折回望 LTP 系列的起点,我们和国内绝大多数同行一样,深陷核心部件全面依赖进口的困境。早年做激光位移传感器,我们奉行 “集成路线”:激光器选日本某品牌的 655nm 半导体激光管,光学镜头采购德国高精度玻璃透镜,信号处理芯片用美国 TI 的高精度 ADC,就连光电探测器、滤波片也全部依赖进口。这套方案成熟稳定,但代价沉重:核心部件被供应商卡...
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