激光位移 - 无锡泓川科技有限公司

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使用对射的激光距离传感器测量橡胶带接缝位置

2023 - 10 - 11

激光测距传感器对射技术在自动化生产线上的应用愈发广泛，今天我们将介绍一个基于两台激光测距传感器上下对射来检测橡胶带接缝的案例。在橡胶带的生产过程中，橡胶带的接缝是一个非常关键的部位。由于橡胶带在运输行走的过程中，其厚度会随着接缝的存在而变化。接缝是由两个橡胶带重叠在一起形成的，因此接缝的厚度显然会大于橡胶带本身。为了保证产品质量和生产效率，我们需要及时准确地检测并计数橡胶带的接缝。我们采用了两台激光测距传感器进行上下对射的方式来实现这一目标。具体操作如下：首先，将一台激光测距传感器安装在橡胶带上方，另一台安装在橡胶带下方，使得两台传感器之间垂直对射。通过激光束的反射和接收时间的测量，可以获取到橡胶带表面和接缝的距离信息。当橡胶带的接缝位置经过测距传感器时，根据上文提到的厚度大于阈值的特点，我们可以通过一个内部的比较器来判断是否检测到了接缝。当橡胶带的厚度数据高于预设的阈值时，比较器将输出一个开关量信号，表示接缝位置被检测到。通过这种方式，我们不需要具体测量接缝的厚度数值，只需要一个开关量信号，就可以实现对橡胶带接缝位置质量的检测和接缝数量的计数。这对于保证产品质量、提高生产效率具有重要意义。总结起来，利用两台激光测距传感器上下对射的方法，结合内部的比较器功能，我们可以实现对橡胶带接缝位置的检测。这种技术应用既简单又有效，可以在自动化生产线中广泛应用，提高生产效率并确保产品质量的稳定...
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片材/板材/薄膜/薄板厚度测量的 “神器”—— 对射激光位移传感器

2025 - 01 - 04

在工业生产的众多环节中，板材厚度测量的重要性不言而喻。无论是建筑领域的钢梁结构、汽车制造的车身板材，还是电子设备的外壳，板材的厚度都直接关乎产品质量与性能。哪怕是微小的厚度偏差，都可能引发严重的安全隐患或使用问题。传统的板材厚度测量方法，如卡尺测量、超声波测量等，各有弊端。卡尺测量效率低、易受人为因素干扰；超声波测量则在精度和稳定性上有所欠缺，面对高精度需求时常力不从心。而激光位移传感器的出现，为板材厚度测量带来了革命性的变化。它宛如一位精准的 “测量大师”，凭借先进的激光技术，实现非接触式测量，不仅精度极高，还能快速、稳定地获取数据，有效规避了传统测量方式的诸多问题。接下来，让我们一同深入探究，两台激光位移传感器是如何默契配合，精准测量板材片材厚度的。激光位移传感器测厚原理大揭秘当谈及利用两台激光位移传感器对射安装测量板材片材厚度的原理，其实并不复杂。想象一下，在板材的上下方各精准安置一台激光位移传感器，它们如同两位目光犀利的 “卫士”，紧紧 “盯” 着板材。上方的传感器发射出一道激光束，这束激光垂直射向板材的上表面，而后经板材上表面反射回来。传感器凭借内部精密的光学系统与信号处理单元，迅速捕捉反射光的信息，并通过复杂而精准的算法，计算出传感器到板材上表面的距离，我们暂且将这个距离记为。与此同时，下方的传感器也在同步运作。它发射的激光束射向板材的下表面，同样经过反射、捕捉与计算...
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半导体行业测量与检测现状--白皮书（1）

2026 - 07 - 24

1 行业概述半导体 “量检测” 一般指半导体制造过程中的测量与检测（Metrology & Inspection），涵盖对晶圆和芯片进行尺寸测量、缺陷检测、测试分析等环节。这类设备通过精密仪器和软件，在晶圆制造从光刻到封装的各阶段对关键参数和缺陷进行检测，把控产品良率。由于半导体元件的微缩和复杂化，量测与检测成为保障产品性能和良率的核心环节，被视为芯片制造的“质量保障”命脉。这些设备广泛应用于硅晶圆制造线的各步骤，以及封装测试、印刷电路板检测等领域，确保从晶圆到成品的每一阶段满足严格的技术规范。例如，在晶圆制造中，自动检测系统可识别光刻中的缺陷、量测线宽和膜厚，在封装中 AOI 和 X 射线检测设备可发现封装内部的焊点空洞等缺陷。半导体 “量检测” 存在诸多难点，主要体现在检测精度要求高、检测速度与效率的平衡、缺陷检测难度大等方面。这些技术难点直接推高了行业准入门槛，促使企业加大研发投入，同时也推动了检测设备向智能化、自动化方向发展。高效精准的检测技术已成为提升产品良率、降低生产成本的关键，正在重塑半导体行业的市场竞争格局。市场规模及发展随着半导体行业的持续增长，对检测设备的需求也稳步上升。据统计，2021 年全球半导体量测与检测设备市场规模约为 73 亿美元，预计 2031 年将增长至 133 亿美元，年复合增长率约 6.2%。...
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光谱共焦传感器在IC芯片测量领域的应用剖析（上）

2025 - 01 - 20

一、引言1.1 研究背景与意义在当今数字化时代，IC 芯片作为现代电子设备的核心部件，其重要性不言而喻。从智能手机、电脑到汽车电子、工业控制，乃至新兴的人工智能、物联网等领域，IC 芯片无处不在，如同电子设备的 “大脑”，掌控着设备的运行与功能实现。其发展水平不仅是衡量一个国家科技实力的重要标志，更在全球经济竞争中占据着关键地位。近年来，IC 芯片产业呈现出蓬勃发展的态势。随着摩尔定律的持续推进，芯片的集成度不断提高，尺寸愈发微小，性能却实现了质的飞跃。与此同时，5G、人工智能、大数据等新兴技术的迅猛发展，为 IC 芯片产业注入了强大的发展动力，市场对芯片的需求呈现出爆发式增长。在 IC 芯片制造的复杂流程中，精确测量起着举足轻重的作用，如同工匠手中精准的量具，确保每一个环节都达到极高的精度标准。从芯片设计阶段的版图测量，到制造过程中的光刻、蚀刻、沉积等工艺的尺寸控制，再到封装测试阶段对芯片外形、引脚等的精确测量，每一步都离不开高精度测量技术的支撑。只有通过精确测量，才能保证芯片的性能、良率以及可靠性，满足市场对高质量芯片的严苛要求。光谱共焦传感器作为一种先进的测量技术，凭借其独特的工作原理和卓越的性能优势，在 IC 芯片测量领域展现出了巨大的潜力。它能够实现对芯片表面形貌、厚度、尺寸等参数的高精度非接触测量，为芯片制造提供了可靠的数据支持。这种高精度测量对于提高芯片制造工艺的精度...
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泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览

2025 - 09 - 05

高精度测量传感器全系列：赋能精密制造，适配多元检测需求聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点，我们推出全系列高性能测量传感器，覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景，以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心，为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍：1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器：半导体材料测厚专属核心用途：专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料设计，精准实现晶圆等器件的厚度测量。性能优点：精度卓越：±0.1μm 线性精度 + 2nm 重复精度，确保测量数据稳定可靠；量程适配：覆盖 10μm2mm 测厚范围，满足多数半导体材料检测需求；高效高速：40kHz 采样速度，快速捕捉厚度数据，适配在线检测节奏；灵活适配：宽范围工作距离设计，可灵活匹配不同规格的检测设备与场景。2. 分体式对焦传感器：半导体 / 面板缺陷检测的 “高速对焦助手”核心用途：针对半导体、面板领域的高精度缺陷检测场景，提供高速实时对焦支持，尤其适配显微对焦类检测设备。性能优点：对焦速度快：50kHz 高速对焦，同步匹配缺陷检测的实时性需求；对焦精度高：0.5μm 对焦精度，保障缺陷成像清晰、检测无偏差；设计灵活：分体式结构，可根据检测设备的安装空间与布局灵活调整，降低适配难度。3. LT-R 反射膜厚仪：极薄膜厚检测的 “精密管家”核心用途：专注于极薄膜...
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新型安全激光扫描仪的优点特性介绍

2023 - 02 - 26

今天我为大家展示安全激光扫描仪产品，安全激光扫描仪适用于各种应用技术领域，在设备开发期间我们给予了特别关注，以确保它能够在广泛应用中发挥最佳功能，尤其重视大型工作区域的防护，例如机床正面区域或机器人工作区域。其他应用包括移动车辆的防护，例如侧向滑动装置或移动运输设备，无人驾驶运输系统。甚至垂直安装激光扫描仪的出入口保护系统。尽管我们在安全激光扫描与领域，已经有数10年的经验了，但该应用领域仍然面对许多挑战。不过我们的激光安全扫描仪具有独一无二的功能属性，例如具有8.25米检测距离和270度扫描范围。属于目前市场上的高端设备，非常适合侧向滑动装置正面区域等大型区域或长距离的防护。该设备的另一个亮点就是能够同时监测两个保护功能。这在许多应用领域中，独具优势以前需要使用两个设备，如今只需要使用一台这样的安全激光扫描仪，即可完成两台设备的功能。实践中遇到的一项挑战是设计一款异常强骨的激光安全扫描仪。能够适应周围环境中可能存在的灰尘和颗粒等恶劣条件，因此我们提供了较分辨率达到0.1度的设备。它在目前市场上具有非常高的价值。 ...
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泓川科技白光干涉测厚仪：精准测量透明薄膜/镀膜厚度的黑科技

2025 - 01 - 10

一文读懂白光干涉测厚仪在工业生产、科研领域，精准测量材料厚度常常起着决定性作用。从电子设备的精细薄膜，到汽车制造的零部件，再到航空航天的关键组件，材料厚度的精准把控，直接关系到产品质量与性能。而在众多测厚技术中，白光干涉测厚仪凭借其超高精度与先进原理，脱颖而出，成为众多专业人士的得力助手。今天，就让我们一起深入了解这款神奇的仪器。原理：光学魔法精准测厚白光干涉测厚仪的核心原理，宛如一场精妙的光学魔法。仪器内部的光源发出的白光，首先经过扩束准直，让光线更加整齐有序。随后，这束光抵达分光棱镜，被巧妙地分成两束。一束光射向被测物体表面，在那里发生反射；另一束光则投向参考镜，同样被反射回来。这两路反射光如同久别重逢的老友，再次汇聚，相互干涉，形成了独特的干涉条纹。这些干涉条纹就像是大自然书写的密码，它们的明暗程度以及出现的位置，与被测物体的厚度紧密相关。当薄膜厚度发生细微变化时，光程差也随之改变，干涉条纹便会相应地舞动起来。通过专业的探测器接收这些条纹信号，并运用复杂而精准的算法进行解析，就能精确地计算出薄膜的厚度值，就如同从神秘的密码中解读出关键信息一般。打个比方，想象白光如同一场盛大的交响乐，不同波长的光如同各种乐器发出的声音。当它们在物体表面反射并干涉时，就像是乐器合奏，产生出独特的 “旋律”—— 干涉条纹。而我们的测厚仪，便是那位精通音律的大师，能从这旋律中精准听出薄膜厚度的 “音...
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面对反射率不同的目标物时，激光位移传感器需要做哪些调整以确保测量的稳定性？

2023 - 10 - 20

面对反射率不同的目标物时，激光位移传感器需要调整以下方面以确保测量的稳定性：根据目标物的反射率变化，调整接收光量。反射率较高的目标物可能导致光量饱和，而反射率较低的目标物可能无法获得足够的接收光量。因此，需要根据目标物的反射特性，适时调整激光位移传感器的接收光量，以使其处于最佳工作状态。使用光量控制范围调整功能。这种功能可以预先决定接收光量的上限和下限，缩短获取最佳光量的时间，从而可以更快地调整光量。针对反射率较高的目标物，需要减小激光功率和缩短发射时间，以避免光量饱和。而对于反射率较低的目标物，则应增大激光功率和延长发射时间，以确保获得足够的接收光量。在调整过程中，需要注意测量反射率急剧变化位置的稳定程度，以及使用光量调整功能以外功能时的稳定程度。如果无法稳定测量反射率不同的目标物，可能是由于目标物的反射光因颜色、反光、表面状况（粗度、倾斜度）等因素而发生变化，导致感光元件（接收光波形）上形成的光点状态也会随之变化。这种情况下，需要通过反复试验和调整，找到最佳的激光位移传感器工作参数。总结来说，激光位移传感器需要根据目标物的反射率变化，调整接收光量、激光发射时间、激光功率和增益等参数，以确保测量的稳定性和准确性。同时，需要注意目标物的反射特性及其变化情况，以便及时调整激光位移传感器的参数。

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半导体行业测量与检测现状--白皮书（2） 2026 - 07 - 25 3 半导体行业发展现状与趋势本章分析全球及中国半导体产业的发展动态，以及对量测检测领域的影响，包括市场驱动力、挑战和技术演进路线等。 3.1 产业发展现状全球与中国市场规模：受益于 5G、AI、物联网等需求推动，全球半导体设备市场近年来快速扩张，2019 年2022 年从 598 亿美元增长至 1,076 亿美元。2023 年由于芯片下游需求疲软出现小幅下滑，全球设备销售额约 1,063 亿美元，同比下降 1.3%。其中，中国大陆仍是全球最大的半导体设备市场，2023 年采购约 367 亿美元设备，占全球约 34.5%。在这一大背景下，用于工艺控制的量测 / 检测设备（即良率检测设备）也保持增长：2023 年全球半导体量测和检测设备市场规模达 128.3亿美元，同比增长 1.6%，2019-2023 年 CAGR 高达19.1%。中国大陆市场同期由 16.9 亿美元增至约 42.3亿美元，占全球比重从 26.5% 提升至约 33%。尽管短期增速有所区别，但中长期看大陆市场增势强劲，预计2025 年中国大陆量测设备销售将继续两位数增长。行业格局与竞争：半导体量检测设备属于高技术壁垒行业，全球市场集中度极高。前道量测 / 检测领域被少数国际巨头垄断，前五大厂商市占率超过 80%。美国科磊公司 (KLA) 是绝对龙头，在光学检测和裸晶圆检测等核心领...

半导体行业测量与检测现状--白皮书（1） 2026 - 07 - 24 1 行业概述半导体 “量检测” 一般指半导体制造过程中的测量与检测（Metrology & Inspection），涵盖对晶圆和芯片进行尺寸测量、缺陷检测、测试分析等环节。这类设备通过精密仪器和软件，在晶圆制造从光刻到封装的各阶段对关键参数和缺陷进行检测，把控产品良率。由于半导体元件的微缩和复杂化，量测与检测成为保障产品性能和良率的核心环节，被视为芯片制造的“质量保障”命脉。这些设备广泛应用于硅晶圆制造线的各步骤，以及封装测试、印刷电路板检测等领域，确保从晶圆到成品的每一阶段满足严格的技术规范。例如，在晶圆制造中，自动检测系统可识别光刻中的缺陷、量测线宽和膜厚，在封装中 AOI 和 X 射线检测设备可发现封装内部的焊点空洞等缺陷。半导体 “量检测” 存在诸多难点，主要体现在检测精度要求高、检测速度与效率的平衡、缺陷检测难度大等方面。这些技术难点直接推高了行业准入门槛，促使企业加大研发投入，同时也推动了检测设备向智能化、自动化方向发展。高效精准的检测技术已成为提升产品良率、降低生产成本的关键，正在重塑半导体行业的市场竞争格局。市场规模及发展随着半导体行业的持续增长，对检测设备的需求也稳步上升。据统计，2021 年全球半导体量测与检测设备市场规模约为 73 亿美元，预计 2031 年将增长至 133 亿美元，年复合增长率约 6.2%。...

LTP 系列激光位移传感器全国产化之路 —— 从技术依赖到自主可控的心路历程 2026 - 04 - 12 作为一名深耕精密传感行业十余年的从业者，我全程参与了泓川科技 LTP 系列高速高精度激光三角位移传感器的全国产化攻坚。这段从 “全盘进口” 到 “100% 自主可控” 的历程，不仅是一款产品的突围，更是中国高端工业传感器打破封锁、实现自立自强的真实缩影。当前，中国已是全球最大的制造业基地与工业传感器消费市场，智能制造、半导体、锂电、汽车电子等领域对纳米级位移测量的需求呈爆发式增长。而激光三角位移传感器作为精密测控的 “核心标尺”，长期被欧美日品牌垄断 —— 高端型号依赖进口核心器件，不仅采购成本高出 30%-50%，交期动辄 3-6 个月，更面临供应链断供、技术卡脖子的致命风险。在国产替代成为国家战略、产业链安全重于一切的今天，高端传感器的全国产化，早已不是选择题，而是关乎制造业根基的必答题。LTP 系列的国产化之路，正是在这样的时代背景下，一群中国传感人用坚守与突破，写下的硬核答卷。一、初心与觉醒：从 “拿来主义” 到 “必须自主” 的心路转折回望 LTP 系列的起点，我们和国内绝大多数同行一样，深陷核心部件全面依赖进口的困境。早年做激光位移传感器，我们奉行 “集成路线”：激光器选日本某品牌的 655nm 半导体激光管，光学镜头采购德国高精度玻璃透镜，信号处理芯片用美国 TI 的高精度 ADC，就连光电探测器、滤波片也全部依赖进口。这套方案成熟稳定，但代价沉重：核心部件被供应商卡...

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