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白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备,广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理,通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光(白光)投射到待测薄膜表面上,并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射,两个反射面之间的光程差会导致不同波长(颜色)的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱,可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度测量中具有以下优势:1. 测量范围广:能够测量几微米到1mm左右范围的厚度。2. 小光斑和高速测量:采用SLD(Superluminescent Diode)作为光源,具有小光斑和高速测量的特点,能够实现快速准确的测量。下面是使用白光干涉测厚仪测量晶圆上水膜厚度的详细步骤:1. 准备工作:确保待测晶圆样品表面清洁平整,无杂质和气泡。2. 参数设置:调整白光干测厚涉仪到合适的工作模式,并确定合适的测量参数和光学系统设置。根据具体要求选择光谱范围、采集速度等参数。3. 样品放置:将待测晶圆放置在白光干涉测厚仪的测量台上,并固定好位置,使其与光学系统保持稳定的接触。确保样品与测量台平行,并避免外界干扰因素。4. 启动测量:启动白光干涉测厚仪,开始测量水膜厚度。通过记录和分析返回光的光谱,可以得到晶圆上水膜的厚度信息。可以通过软件实时显示和记录数据。5. 连续监测:对于需要连续监测晶圆上水膜厚度变化的情况,可以设置相应的测量间隔和数据采集系统,以实现实时监测和记录。根据实际需求,可以进行定时测量或连续测量,以便及时获取水膜厚度变化的趋势。总结:白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备,可用于测量晶圆上水膜的厚度。在操作过程中,准备工作、参数设置、样品放置和启动测量是关键步骤。通过详细分析返回光的光谱,可以得到晶圆上水膜的厚度信息。对于需要连续监测的情况,可设置相应的测量间隔和数据采集系统,实现...
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更新日期: 2024 - 01 - 21
在制造业、航空航天、光学制造等行业中,准确地测量工件表面的平整度和倾斜度对于产品质量、设备性能和工程安全至关重要。为了适应这一需求,本文将详细介绍运用高精度激光位移传感器进行非接触测量工件倾斜度的具体操作步骤、应用领域以及如何通过实例演示其测量原理和效果。首先,测量设备的配置环节。需要准备3到5个高精度激光位移传感器,并配合用于数据分析处理的微机软件。在开始测量之前,传感器需要先行进行标定,以一个已知的标准平面作为参照进行校准,并让所有传感器的数值归零。这一步骤保证了测量过程的准确性,也为后续的数据分析奠定了基础。进行实测时,将待测工件放置在需要测量的表面上。根据物体表面的倾斜情况,每个传感器所显示的数值会出现差距。后续,我们可以通过微机软件读取这些二次数据,进行处理,从而精确地得出倾斜度和平整度等参数。值得注意的是,我们选择3-5个传感器进行测量的原因是,三个传感器可以保证确定一个平面的最少需求。在成本允许的情况下,增加到五个传感器进行多点测量,可以有效提高测量的准确性和稳定性。另外,在使用过程中,对传感器的同步性有很高的要求,尤其是采样速度。最好达到5k以上,以便实时调整待测表面,使得调整结果更精准,并且满足实时性的需求。当然,高精度激光位移传感器的应用领域非常广泛。在制造业,尤其是汽车制造业和机械加工行业中,通过测量工件表面的倾斜度和平整度,可以有效进行质量控制和生产过程优化,提高产品的性能和精度。在建筑工程中,通过测量地基的倾斜度和平整度,可以为建筑物的稳定性和安全性提供有效保障。在航空航天领域,通过检测飞机表面的倾斜度和平整度,可以确保飞机的稳定性和飞行安全。而在光学元件的生产制造中,通过测量元件表面的倾斜度和平整度,有助于提高光学系统的精度和性能,并提高产品质量。总结起来,高精度激光位移传感器在非接触测量工件倾斜度中的应用及其重要性不言而喻。只要正确选取传感器数...
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更新日期: 2024 - 01 - 21
一、介绍在许多须要进行精确检查的工业生产领域,视觉系统的高度定位已成为一项关键技术。尤其在物料变化情况复杂或需要精确测量的应用场景中,如何通过视觉系统稳定地执行Z轴方向定位是个重要议题。而在这方面,高精度激光测距传感器无疑可以提供解决方法。二、解决方案1、测量初始化首先提供一个安全并且可控的环境以保证传感器的测量工作。将目标工件放在固定的位置上,并确保其稳固不动来为测量过程提供准确的基础。2、高精度激光测距传感器启动测量启动高精度激光测距传感器对目标进行测量。传感器会发出一束红外激光,该激光会瞄准工件并反射回传感器,创建出一个明确的测量路径。传感器具有强大的抗干扰能力,即使目标工件材质变化,也能够维持稳定的测量结果。3、数据处理与分析接下来进入数据处理阶段。传感器会捕捉反射回来的激光,然后利用内部的光学组件和测量算法进行数据分析,计算出其对应的Z轴坐标值。4、结果反馈与定位最后,我们将测量结果(即Z轴的坐标值)传递给工业相机,一旦接收到数据,相机就能在Z轴上进行精确的位置定位。在这个过程中,即使工件移动或者改变位置,我们的系统也能实时根据新的测量结果进行调整,保证视觉系统始终在正确的位置对工件进行检测。5、持续追踪与更新系统会持续监测工件的位置,并根据需要实时更新Z轴的高度信息。这样,在整个生产过程中,无论工件如何变化或移动,我们的视觉系统都能进行稳定、准确的检测。三、行业应用1....
发布时间: 2023 - 09 - 30
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1 激光光热技术测厚:原理是利用激光照射材料,产生的热量使材料产生变化,再通过光学方式检测这种变化以确定材料的厚度。优点是非接触式、无损伤、准确;缺点也是显而易见的,对于颜色、形状、表面纹理等都有不同程度的影响。2 白光干涉测厚:原理是使用白光干涉仪产生干涉图案,然后通过分析干涉图案得材料厚度。优点是测量精度高、灵敏度高;缺点是设备复杂且成本高昂。3 激光干涉测厚:主要是利用激光波的相干性,测量物体的干涉条纹来反推出物体的厚度。优点是测量精度高、速度快;但激光源的稳定性和调节技术要求比较高。4 光谱共聚焦测厚:该方法是根据材料对不同波长光的反射、折射和吸收特性,同时探测所有波长的光谱,从而计算出材料厚度。优点是测量准确、适用范围广;缺点是设备复杂、操作要求高。5 椭圆偏光法测厚:原理是利用光的偏振特性对材料进行测量,根据计算出材料厚度。优点是接触、无损伤,但适用范围有限。6 红外吸收法测厚:红外吸收法是指通过测定红外光在材料中吸收的程度来推断优点是测量过程简单、直观、精度高;缺点是对材料的红外吸收特性有严格要求。7 X/β射线测厚:主要是利用X射线或者β射线穿透材料时,穿透的射线强度和物体的厚度之间存在一定的关系。优点是精确、可靠;缺点是人体安全需要考虑。8 电容测厚:原理是利用两极板间的电容量与介质厚度成正比,通过测量电容量来测量厚度。优点是设备简单、便宜;缺点是精度较低。9 反...
发布时间: 2023 - 09 - 26
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在高精度的生产工序中,薄膜偏差是一项极为重要的控制指标。由于微观材料结构的敏感性,稍有偏差就可能会导致产品的细微变形,从而引发性能下降、使用寿命缩短等一系列问题。因此,对薄膜偏差的精确检测与实时调控具有至关重要的意义。对于这样的需求,光谱共焦位移传感器便能发挥出它重要的作用。通过实现对薄膜厚度的非接触式实时监视,它可以有效地预防或及时地调整可能发生的偏差,提高生产过程中的精准度和稳定性。原理上,光谱共焦位移传感器利用光源通过物体后的干涉进行测量,借助高精度的光学系统和高灵敏的光电检测设备,最终得出偏差情况。另一方面,光谱共焦位移传感器具有小型化的优势。它采用集成设计,尺寸小巧,可以安装在设备内的有限空间中,且不会影响主机性能。这大大扩展了其使用场景,让即使是较为狭小的环境也能实现精确的监控。总结来说,光谱共焦位移传感器代表着未来高精密度生产领域的主流趋。其不仅具备高精度、快反应、难以受到环境干扰等优点,还由于其小型化、适用于狭窄环境等特性,使其逐渐被更多的高科技领域所接受和采纳。
发布时间: 2023 - 09 - 25
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由于半导体生产工艺的复杂性和精密性,对晶圆切割的技术要求极高,传统的机械切割方式已经无法满足现代电子行业的需求。在这种情况下,光谱共焦位移传感器配合激光隐切技术(激光隐形切割)在晶圆切割中发挥了重要作用。以下将详细介绍这种新型高效切割技术的应用案例及其优势。原理:利用小功率的激光被光谱共焦位移传感器设定的预定路径所导,聚焦在直径只有100多纳米的光斑上,形成巨大的局部能量,然后根据这个能量将晶圆切割开。光谱共焦位移传感器在切割过程中实时检测切口深度和位置,确保切口的深广和位置的精确性。激光隐切与光谱共焦位移传感器结合的应用案例:以某种先进的半导体制程为例,晶圆经过深刻蚀、清洗、扩散等步骤后,需要进行精确切割。在这个过程中,首先,工程师根据需要的切割图案在软件上设定好切割路径,然后切割机通过光谱共焦位移传感器引导激光按照预定的路径且此过程工程师可以实时观察和测量切口深度和位置。优点:这种技术最大的优势就是它能够实现超微细切割,避免了大功率激光对芯片可能会带来的影响。另外,因为切割的深度和位置可以实时调控,这 法也非常具有灵活性。同时,由于使用光谱共焦位移传感器精确控制切割的深度和位置,所以切割出来的晶圆表面平整,质量更好。总的来看,光谱共焦位移传感器配合激光隐切在晶圆切割中的应用,不仅提升了生产效率,减少了废品率,而且大幅度提升了产品质量,对于当前和未来的半导体行业都将是一个革新的技...
发布时间: 2023 - 09 - 25
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2024 - 01 - 21
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白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备,广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理,通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光(白光)投射到待测薄膜表面上,并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射,两个反射面之间的光程差会导致不同波长(颜色)的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱,可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度...
2024 - 01 - 21
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在制造业、航空航天、光学制造等行业中,准确地测量工件表面的平整度和倾斜度对于产品质量、设备性能和工程安全至关重要。为了适应这一需求,本文将详细介绍运用高精度激光位移传感器进行非接触测量工件倾斜度的具体操作步骤、应用领域以及如何通过实例演示其测量原理和效果。首先,测量设备的配置环节。需要准备3到5个高精度激光位移传感器,并配合用于数据分析处理的微机软件。在开始测量之前,传感器需要先行进行标定,以一个...
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  • 25
    2023 - 03 - 08
    一、概述随着现代工业的不断发展和进步,精度对于工业生产过程中所需要的各种测试测量技术要求也越来越高。而激光测量技术则是在这种背景下得以应用的,这是利用激光作为工具进行测量分析的一种方法。激光测量可以分为非接触式和接触式两种方式。二、非接触激光测量非接触激光测量技术是指激光束在不与被测物体表面发生接触的情况下,对被测物体进行测量操作。它主要利用激光的高亮度、高单色性、高方向性等特点,将测量对象和激光之间的无线电辐射或光辐射联系起来,通过对测量信号的处理,来获得被测物体的相关参数。可以广泛应用于自动化制造、工业检测、生命科学、质量控制检测等领域。2.1 非接触式测量优点(1)不会对被测物体造成损伤。激光测量技术是无损伤性的,测量过程中不会对被测物体造成任何损伤,也不会影响被测物体的结构、形状和性能。(2)精度高。非接触激光测量技术具有高精密性、高灵敏性和高分辨力,能够以亚微米级的精度获得被测物体的相关参数,减小了人为误差和测量结果的不确定性。(3)高速度。非接触激光测量技术具有快速高效的特点,对于一些需要进行即时在线检测或高频率的质检要求,非接触激光测量技术具有独特的优势。(4)测量安全。由于非接触激光测量技术可以在安全距离的范围内进行,因此保障了测量人员的身体健康和安全。2.2 非接触式测量缺点(1)不适用于暗面测量。非接触激光测量技术无法对于有光线被挡住的部位进行测量,因此适用于透...
  • 26
    2023 - 09 - 30
    1. 引言:随着科技的迅猛发展和市场需求的不断提升,对建材板的厚度与宽度尺寸精确测量变得越来越关键。因此,选用高精度激光位移传感器来实现,既可以提高产量,又能保证质量。2. 技术原理:激光位移传用光干涉测量技术,发出红外激光束并接收反射回仪器的光阴影,通过光敏元件将其转换成电信号,经过放大处理后输出相应的标准信号来实现位移的测量。其中,红外激光束可以达到丝级别的精度,准确度极高。3. 技术方案:- 挤出流程结束后,立即利用激光位移传感器进行厚度和宽度的测量,效率高;厚度调整功能的使用,可以显著缩短安装和产品更换所需的工时。- 高精度激光位移传感器设置于生产线上,根据实际产品的厚度和宽度需要,选定合适的光束焦距和安装位置。传感器投射出激光束,反射回传感器的发射率会随着测量对象的位移变化而变动。- 传感器内部的电路系统将接收到的电信号进行处理,根据预设的参数,输出标准信号。- 通过对数据的实时监测和分析,可以找出生产中存在的问题并及时进行调整,以确保建材板的质量。4. 应用行业:因为对射的高精度激光位移传感器具有精度和效率高、可靠性强等优点,被广泛用于建材、塑料制品、金属材料、石材加工、生物医疗、微电子等范围。特别是在板材生产等领域,可以有效提高产品质量与生产效率,满足市场对精密制造的需求。结论:利用激光位移传感器在建材板的厚度和宽度测量中,可以实现精准测量,促进生产效率,同时保证产品...
  • 27
    2023 - 03 - 09
    激光位移传感器被广泛应用于各种领域中。其中一个很有用的应用是测量薄膜厚度。这种传感器可以在离表面很近的距离下进行高精度测量,因此非常适合这种应用。本文将介绍激光位移传感器如何用于测量薄膜厚度,包括测量方法、测量原理和市场应用。一、测量方法测量薄膜厚度的基本思路是利用激光位移传感器测量薄膜前后表面的距离差,然后通过几何公式计算出薄膜厚度。在实际操作中,测量方法大致可分为以下几种:1. 手持式测量手持式测量通常用于快速的现场检测。用户只需要将激光位移传感器靠近待测表面,然后通过读取显示屏上的数值判断薄膜厚度是否符合要求。这种方法不需要复杂的设备和步骤,非常易于使用。但是由于人手的震动和误差等因素,手持式测量的精度相对较低,只适用于需求不是特别高的场合。2. 自动化在线测量自动化在线测量一般用于工业生产线上的质量控制。这种方法需要将激光位移传感器与自动化设备相连接,将测量数据传递给计算机进行分析。在这种情况下,测量过程可以完全自动化,精度也可以得到保证。但是相对于手持式测量来说,这种方法需要的设备和技术要求更高,成本也更高。3. 显微镜下测量显微镜下测量常用于对细小薄膜厚度的测量。在这种情况下,用户需要将激光位移传感器与显微镜相结合进行测量。由于显微镜的存在,可以大大增强测量精度。但是相对于其他两种方法,这种方法需要的设备更多,并且技巧要求也更高。二、测量原理激光位移传感器利用的是激光三...
  • 28
    2023 - 09 - 30
    引言:在搬送薄片材料时,准确辨别材料的单双张对于生产流程的顺利进行至关重要。即使材料的材质发生了变化,我们仍然可以利用非接触传感器实现稳定的检测。本文介绍了两种常用方式:激光位移传感器和超声波传感器,在机械搬运过程中通过测量材料的厚度来判断其单双张状态。主体:1. 激光位移传感器方案:(a)准备工作:安装两个激光位移传感器,使其形成对射式布置。在中间放置一张标准厚度的材料,并通过上位机软件进行校准设定。(b)测量与校准:激光位移传感器通过测量材料的厚度,获得距离总和,并与设定的固定差值进行比较。当机械搬运过程中出现误差导致厚度与之前的距离数据明显不同时,激光位移传感器将发出错误信号,指示材料为双张状态。2. 超声波传感器方案:(a)准备工作:使用对射式超声波传感器,并先安装一张标准材料来校准基准能量。(b)测量与判断:超声波传感器利用能量穿透原理,通过测量接收端收取到的能量来判断材料的状态。当材料为单张时,接收端将收到接近基准值的能量;而当材料为双张或多张时,接收端收到的能量明显小于标准值,此时超声波传感器将发出报警信号。3. 激光位移传感器方案的优势:- 高精度测量:激光位移传感器具有高精度,可以精确测量材料的厚度变化,从而能够准确判断材料的单双张状态。- 实时监测:传感器反应速度快,并可以实时检测材料的厚度变化,确保在搬运过程中能够及时发现错误信号并进行处理。- 非接触式:激光...
  • 29
    2023 - 03 - 20
    介绍工业光电传感器是现代制造业中最常用的检测设备之一,广泛应用于自动化生产线、机械加工、装配、物流搬运等行业。随着国民经济的不断发展,中国的工业光电传感器制造业也不断发展壮大,成为制造业的一支重要力量。本文旨在对中国产的工业光电传感器现状进行描述。发展历史20世纪80年代初期,我国的工业自动化程度比较低,大部分生产线仍采用人力操作,制造业存在高人力成本、低效率、品质难以保证等问题。为了提高制造业的效率和品质,中国开始引入外国的工业自动化设备,其中就包括工业光电传感器。80年代中后期,国内开始试水制造工业光电传感器,并逐步发展壮大。90年代初期,随着国民经济的增长和工业自动化的加速推进,中国的工业光电传感器制造业进入快速发展期。如今,中国的工业光电传感器制造业已经处于全球领先地位,成为世界闻名的光电传感器生产基地之一。产业链分析商业模式中国的工业光电传感器制造业商业模式主要是以生产销售为主,较少采用研发生产销售一体化模式。生产企业主要供应给自动化设备制造商,然后这些自动化设备制造商销售给最终用户,最终用户则使用这些设备来自动化生产线。除此之外,还有一些企业将工业光电传感器产品应用到自己的设备制造中,以提高自己产品的品质和效率,然后再将自己的产品销售给最终用户。在商业模式上,中国的工业光电传感器制造业与欧美等发达国家还存在一定的差距。技术研发中国的工业光电传感器制造业在技术研发方面逐渐...
  • 30
    2023 - 09 - 30
    国产LTP系列激光位移传感器具备一系列突出的特点,如光量自适应算法、高速高灵敏度的测量性能、高精度长距离非接触测量、高可靠性一体化传感器结构等。然而,在面对进口品牌如松下、基恩士、欧姆龙、米铱和奥泰斯等的竞争时,国产激光位移传感器仍面临着挑战。主体:国产LTP系列激光位移传感器的突出特点:1. 光量自适应算法:通过动态调整激光功率、曝光时间等参数,实现1000000:1的光量动态调整范围,适应不同被测表面的测量,包括胶水、PCB、碟片、陶瓷和金属等多种材料。2. 高速高灵敏度测量性能:借助像素宽度和数量提升的CMOS及高速驱动与低噪声信号读取技术,国产LTP系列激光位移传感器能够实现最高160kHz的测量速度和亚微米级的测量精度,满足压电陶瓷等物体的极端测量需求。3. 高精度长距离非接触测量:专门设计开发的高分辨物镜可最小化被测物体表面光斑变化对测量结果的影响,并降低光学畸变。可根据需要选择测量工作距离在30-2250mm之间,满足了高温、窗口限制等远距离测量的场景需求。4. 高可靠性一体化传感器结构:国产LTP系列激光位移传感器经过高低温、振动、冲击等测试,能够适应大多数工业应用场景。此外,常用的工业接口(如以太网、485、模拟量输出等)可直接从探头接出,便于集成。国产激光位移传感器面临的挑战:1. 进口品牌把持高端市场:目前国内高端的激光位移传感器几乎都被进口品牌如松下、基恩士...
  • 31
    2023 - 09 - 11
    在真空环境下应用光谱共焦位移传感器的可行性一直是一个备受关注的问题。真空环境的特殊性决定了对传感器的要求与常规环境有所不同。本篇文章将围绕真空环境下光谱共焦位移传感器的应用可行性展开讨论,并进一步深入探讨传感器在不同真空环境下的要求和变化。首先,真空环境下的应用对传感器的热产生要求较高。由于真空环境的热传导性能较差,传感器不能产生过多的热量,以避免影响传感器的正常工作和对样品的测量。光谱共焦位移传感器由于采用了被动元件,不会产生热量,因此非常适合在真空环境中应用。其次,在真空环境下使用传感器时,配件的耐真空能力也是一个重要的考虑因素。传感器配件如胶水、光纤、线缆等都必须能够耐受真空环境的特殊条件,例如低压和缺氧。为此,无锡泓川科技提供了专门用于真空环境的配件,以确保传感器的正常运行和稳定性。这些配件经过特殊处理,具有耐真空的特性,可以在真空环境中长时间使用。此外,从高真空(HV)环境到超高真空(UHV)环境,传感器对环境的要求也会发生变化。在HV环境下,传感器必须具备抗气压、抗水汽和抗粒子沉积等特性。而在UHV环境中,由于气氛更为稀薄,传感器还需要具备更高的抗气压和更低的气体释放性能。因此,传感器在HV到UHV环境的过渡中,需要经过更严格的测试和优化,以保证其在不同真空级别下的稳定性和可靠性。综上所述,真空环境下应用光谱共焦位移传感器具有可行性。传感器需要满足不产生热量的要求,并配...
  • 32
    2023 - 10 - 11
    激光测距传感器对射技术在自动化生产线上的应用愈发广泛,今天我们将介绍一个基于两台激光测距传感器上下对射来检测橡胶带接缝的案例。在橡胶带的生产过程中,橡胶带的接缝是一个非常关键的部位。由于橡胶带在运输行走的过程中,其厚度会随着接缝的存在而变化。接缝是由两个橡胶带重叠在一起形成的,因此接缝的厚度显然会大于橡胶带本身。为了保证产品质量和生产效率,我们需要及时准确地检测并计数橡胶带的接缝。我们采用了两台激光测距传感器进行上下对射的方式来实现这一目标。具体操作如下:首先,将一台激光测距传感器安装在橡胶带上方,另一台安装在橡胶带下方,使得两台传感器之间垂直对射。通过激光束的反射和接收时间的测量,可以获取到橡胶带表面和接缝的距离信息。当橡胶带的接缝位置经过测距传感器时,根据上文提到的厚度大于阈值的特点,我们可以通过一个内部的比较器来判断是否检测到了接缝。当橡胶带的厚度数据高于预设的阈值时,比较器将输出一个开关量信号,表示接缝位置被检测到。通过这种方式,我们不需要具体测量接缝的厚度数值,只需要一个开关量信号,就可以实现对橡胶带接缝位置质量的检测和接缝数量的计数。这对于保证产品质量、提高生产效率具有重要意义。总结起来,利用两台激光测距传感器上下对射的方法,结合内部的比较器功能,我们可以实现对橡胶带接缝位置的检测。这种技术应用既简单又有效,可以在自动化生产线中广泛应用,提高生产效率并确保产品质量的稳定...
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白光干涉测厚传感器在晶圆水膜厚度测量中的应用及操作步骤详解 2024 - 01 - 21 白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备,广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理,通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光(白光)投射到待测薄膜表面上,并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射,两个反射面之间的光程差会导致不同波长(颜色)的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱,可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度测量中具有以下优势:1. 测量范围广:能够测量几微米到1mm左右范围的厚度。2. 小光斑和高速测量:采用SLD(Superluminescent Diode)作为光源,具有小光斑和高速测量的特点,能够实现快速准确的测量。下面是使用白光干涉测厚仪测量晶圆上水膜厚度的详细步骤:1. 准备工作:确保待测晶圆样品表面清洁平整,无杂质和气泡。2. 参数设置:调整白光干测厚涉仪到合适的工作模式,并确定合适的测量参数和光学系统设置。根据具体要求选择光谱范围、采集速度等参数。3. 样品放置:将待测晶圆放置在白光干涉测厚仪的测量台上,并固定好位置,使其与光学系统保持稳定的接触。确保样品与测量台平行,并避免外界干扰因素。4. 启动测量:启动白光干涉测厚仪,开始测量水膜厚度。通过记录和分析返回光的光谱,可以得到晶圆上水膜的厚度信息。可以通过软件实时显示和记录数据。5. 连续监测:对于需要连续监测晶圆上水膜厚度变...
运用高精度激光位移传感器进行非接触测量工件倾斜度的应用与实践 2024 - 01 - 21 在制造业、航空航天、光学制造等行业中,准确地测量工件表面的平整度和倾斜度对于产品质量、设备性能和工程安全至关重要。为了适应这一需求,本文将详细介绍运用高精度激光位移传感器进行非接触测量工件倾斜度的具体操作步骤、应用领域以及如何通过实例演示其测量原理和效果。首先,测量设备的配置环节。需要准备3到5个高精度激光位移传感器,并配合用于数据分析处理的微机软件。在开始测量之前,传感器需要先行进行标定,以一个已知的标准平面作为参照进行校准,并让所有传感器的数值归零。这一步骤保证了测量过程的准确性,也为后续的数据分析奠定了基础。进行实测时,将待测工件放置在需要测量的表面上。根据物体表面的倾斜情况,每个传感器所显示的数值会出现差距。后续,我们可以通过微机软件读取这些二次数据,进行处理,从而精确地得出倾斜度和平整度等参数。值得注意的是,我们选择3-5个传感器进行测量的原因是,三个传感器可以保证确定一个平面的最少需求。在成本允许的情况下,增加到五个传感器进行多点测量,可以有效提高测量的准确性和稳定性。另外,在使用过程中,对传感器的同步性有很高的要求,尤其是采样速度。最好达到5k以上,以便实时调整待测表面,使得调整结果更精准,并且满足实时性的需求。当然,高精度激光位移传感器的应用领域非常广泛。在制造业,尤其是汽车制造业和机械加工行业中,通过测量工件表面的倾斜度和平整度,可以有效进行质量控制和生产过程优化...
高精度激光位移传感器在桥梁结构监控中的关键应用 2024 - 01 - 21 保障桥梁的安全运行与结构稳定性是城市交通安全的重要链接,而高精度激光位移传感器正是完成此项任务的关键装备之一。在桥梁结构监测中,它们凭借其非接触式高精度测量原理,对桥梁的位移、变形、振动等关键参数进行实时监测,为桥梁健康管理提供重要依据。首先,在桥梁的挠度和变形监测中,激光位移传感器扮演着非常重要的角色。通过将传感器安装在结构的关键位置,可以实时地观察并记录桥梁的挠度、沉降和扭曲等变化情况,这些数据能够提供对桥梁健康状况的即时反馈,帮助维修人员及时发现并对异常变形现象进行处理。其次,激光位移传感器还能作为振动监测工具,为桥梁的刚度和自然频率评估提供重要依据。该传感器通过测量桥梁的振频、振型和振幅等参数,可以生成宝贵的结构振动数据。在桥梁出现异常振动现象时,它们可以实时检测并发出预警信号,为桥梁维护人员提供对策指引,确保桥梁的安全使用。最后,激光位移传感器在桥梁结构损伤检测与诊断中也展现出重要的价值。通过对激光位移传感器采集到的振动信号进行分析,可以提取出桥梁的频率响应函数和模态特征等关键信息。进一步地,这些特征可以与桥梁设计时的标准特征进行对比,以检测桥梁是否存在损伤或疲劳等问题。这也使得激光位移传感器能够在桥梁微小的结构变化初始阶段就进行预警和诊断,从而帮助维护人员采取及时的维修或加固措施,有效延长桥梁的使用寿命。总体来看,高精度激光位移传感器在桥梁结构监控中起关键作用。无论是挠...
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