在高精度的生产工序中，薄膜偏差是一项极为重要的控制指标。由于微观材料结构的敏感性，稍有偏差就可能会导致产品的细微变形，从而引发性能下降、使用寿命缩短等一系列问题。因此，对薄膜偏差的精确检测与实时调控具有至关重要的意义。对于这样的需求，光谱共焦位移传感器便能发挥出它重要的作用。通过实现对薄膜厚度的非接触式实时监视，它可以有效地预防或及时地调整可能发生的偏差，提高生产过程中的精准度和稳定性。原理上，光谱共焦位移传感器利用光源通过物体后的干涉进行测量，借助高精度的光学系统和高灵敏的光电检测设备，最终得出偏差情况。另一方面，光谱共焦位移传感器具有小型化的优势。它采用集成设计，尺寸小巧，可以安装在设备内的有限空间中，且不会影响主机性能。这大大扩展了其使用场景，让即使是较为狭小的环境也能实现精确的监控。总结来说，光谱共焦位移传感器代表着未来高精密度生产领域的主流趋。其不仅具备高精度、快反应、难以受到环境干扰等优点，还由于其小型化、适用于狭窄环境等特性，使其逐渐被更多的高科技领域所接受和采纳。
发布时间:
2023
-
09
-
25
浏览次数：116
由于半导体生产工艺的复杂性和精密性，对晶圆切割的技术要求极高，传统的机械切割方式已经无法满足现代电子行业的需求。在这种情况下，光谱共焦位移传感器配合激光隐切技术（激光隐形切割）在晶圆切割中发挥了重要作用。以下将详细介绍这种新型高效切割技术的应用案例及其优势。原理：利用小功率的激光被光谱共焦位移传感器设定的预定路径所导，聚焦在直径只有100多纳米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后根据这个能量将晶圆切割开。光谱共焦位移传感器在切割过程中实时检测切口深度和位置，确保切口的深广和位置的精确性。激光隐切与光谱共焦位移传感器结合的应用案例：以某种先进的半导体制程为例，晶圆经过深刻蚀、清洗、扩散等步骤后，需要进行精确切割。在这个过程中，首先，工程师根据需要的切割图案在软件上设定好切割路径，然后切割机通过光谱共焦位移传感器引导激光按照预定的路径且此过程工程师可以实时观察和测量切口深度和位置。优点：这种技术最大的优势就是它能够实现超微细切割，避免了大功率激光对芯片可能会带来的影响。另外，因为切割的深度和位置可以实时调控，这 法也非常具有灵活性。同时，由于使用光谱共焦位移传感器精确控制切割的深度和位置，所以切割出来的晶圆表面平整，质量更好。总的来看，光谱共焦位移传感器配合激光隐切在晶圆切割中的应用，不仅提升了生产效率，减少了废品率，而且大幅度提升了产品质量，对于当前和未来的半导体行业都将是一个革新的技...
发布时间:
2023
-
09
-
25
浏览次数：154
大家好，今天给大家详细说明下目前我们市面上用的激光位移传感器内部构造及详细原理、应用、市场种类、及未来发展，我在网上搜索了很多资料，发现各大平台或者厂商提供的信息大多千篇一律或者式只言片语，要么是之说出大概原理，要买只讲出产品应用，对于真正想了解激光位移传感器三角回差原理的朋友们来说总是没有用办法说透，我今天花点时间整理了各大平台的大牛们的解释，再结合自己对产品这么多年来的认识，整理出以下这篇文章，希望能给想要了解这种原理的小伙伴一点帮助！好了废话不多说我们直接上干货首先我们要说明市面上的激光测量位移或者距离的原理有很多，比如最常用的激光三角原理，TOF时间飞行原理，光谱共焦原理和相位干涉原理，我们今天给大家详细介绍的是激光三角测量法和激光回波分析法，激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量，而激光回波分析法则用于远距离测量，下面分别介绍激光三角测量原理和激光回波分析原理。让我们给大家分享一个激光位移传感器原理图，一般激光位移传感器采用的基本原理是光学三角法：半导体激光器：半导体激光器①被镜片②聚焦到被测物体⑥。反射光被镜片③收集，投射到CMOS阵列④上；信号处理器⑤通过三角函数计算阵列④上的光点位置得到距物体的距离。一 、激光位移传感器原理之激光三角测量法原理1．激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面，经物体反射的激光通过接收器镜头，被内部的CCD线性相机接收，根据...
发布时间:
2023
-
09
-
16
浏览次数：327
摘要：本报告提出了一种利用高精度激光位移传感器测量物体振动的方案。通过测量被测物的位移量，并确定振动的时间点，可以计算出振动频率和振动模式。相比多普勒测振仪，激光位移传感器具有更低的成本，在低频范围内（1000Hz以下）可以进行振动测量。本方案详细介绍了方案设计、设备选择、实验验证以及成本核算，并通过实验数据和算法验证了方案的可行性和准确性。引言物体振动是许多领域的重要研究对象，包括机械、汽车、航空航天等。传统的多普勒测振仪可以用于高频振动测量，但其成本较高，对于低频振动测量（1000Hz以下）不适用。因此，本方案提出了一种利用高精度激光位移传感器测量物体振动的方案，以满足低频振动测量的需求。方案设计利用高精度激光位移传感器测量物体振动的方案设计如下：2.1 设备选择选择一台高精度激光位移传感器，具备以下特点：高测量精度：具备亚微米级的测量精度，满足振动测量的要求。高响应频率：能够以高速响应的方式进行位移测量，捕捉到物体振动的细微变化。宽测量范围：具备较大的测量范围，适应不同物体振动的需求。2.2 传感器布置与测量原理将激光位移传感器布置在被测物体附近，并对其进行校准和调试。在物体振动过程中，传感器测量物体的位移量。传感器工作原理基于激光光束照射到物体表面，测量光斑的位置随时间的变化，从而获得物体的位移信息。2.3 数据处理与振动频率计算根据传感器测得的位移量数据，通过数据处理和信...
发布时间:
2023
-
08
-
21
浏览次数：202