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半导体行业测量与检测现状--白皮书 （2）
半导体行业测量与检测现状--白皮书 （2）
3 半导体行业发展现状与趋势 本章分析全球及中国半导体产业的发展动态，以及对量测检测领域的影响，包括市场驱动力、挑战和技术演进路线等。 3.1 产业发展现状 全球与中国市场规模： 受益于 5G、AI、物联网等需求推动，全球半导体设备市场近年来快速扩张，2019 年2022 年从 598 亿美元增长至 1,076 亿美元。2023 年由于芯片下游需求疲软出现小幅下滑，全球设备销售额约 1,063 亿美元，同比下降 1.3%。其中，中国大陆仍是全球最大的半导体设备市场，2023 年采购约 367 亿美元设备，占全球约 34.5%。在这一大背景下，用于工艺控制的量测 / 检测设备（即良率检测设备）也保持增长：2023 年全球半导体量测和检测设备市场规模达 128.3亿美元，同比增长 1.6%，2019-2023 年 CAGR 高达19.1%。中国大陆市场同期由 16.9 亿美元增至约 42.3亿美元，占全球比重从 26.5% 提升至约 33%。尽管短期增速有所区别，但中长期看大陆市场增势强劲，预计2025 年中国大陆量测设备销售将继续两位数增长。 行业格局与竞争： 半导体量检测设备属于高技术壁垒行业， 全球市场集中度极高。前道量测 / 检测领域被少数国际巨头垄断， 前五大厂商市占率超过 80%。美国科磊公司 (KLA) 是绝对龙头，在光学检测和裸晶圆检测等核心领域市占率超过 50%。KLA 在光学晶圆检查和无图形晶圆检测等关键市场份额甚至高达 85% 以上，在套刻量测市场份额超 66%。美国应用材料 (AMAT) 和美国 ONTO Innovation 分列第二、第三位，合计约占全球 市 场 的 30%。此 外，日 本 日 立 高 新 (HitachiHigh-Tech)、荷兰 ASML（并购 HMI 进军电子束检测）、日本 Lasertec（光罩 EU...
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更新日期： 2026 - 07 - 25
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半导体行业测量与检测现状--白皮书 （1）
半导体行业测量与检测现状--白皮书 （1）
1 行业概述 半导体 “量检测” 一般指半导体制造过程中的测量与检测（Metrology & Inspection），涵盖对晶圆和芯片进行尺寸测量、缺陷检测、测试分析等环节。这类设备通过精密仪器和软件，在晶圆制造从光刻到封装的各阶段对关键参数和缺陷进行检测，把控产品良率。由于半导体元件的微缩和复杂化，量测与检测成为保障产品性能和良率的核心环节，被视为芯片制造的“质量保障”命脉。这些设备广泛应用于硅晶圆制造线的各步骤，以及封装测试、印刷电路板检测等领域，确保从晶圆到成品的每一阶段满足严格的技术规范。例如，在晶圆制造中，自动检测系统可识别光刻中的缺陷、量测线宽和膜厚，在封装中 AOI 和 X 射线检测设备可发现封装内部的焊点空洞等缺陷。 半导体 “量检测” 存在诸多难点，主要体现在检测精度要求高、检测速度与效率的平衡、缺陷检测难度大等方面。这些技术难点直接推高了行业准入门槛，促使企业加大研发投入，同时也推动了检测设备向智能化、自动化方向发展。高效精准的检测技术已成为提升产品良率、降低生产成本的关键，正在重塑半导体行业的市场竞争格局。 市场规模及发展 随着半导体行业的持续增长，对检测设备的需求也稳步上升。据统计，2021 年全球半导体量测与检测设备市场规模约为 73 亿美元，预计 2031 年将增长至 133 亿美元，年复合增长率约 6.2%。另一份研究显示 2022 年该市场约为 75.5 亿美元，到 2028 年将达到 111 亿美元。这一市场增长的驱动力包括电子产品需求上升、晶圆产能扩张以及先进封装的普及。地理上，亚太地区占据最大市场份额，2021 年约占全球 一半以上，主要因为中国大陆、台湾、韩国等地集中了大量晶圆厂。值得注意的是，量测与检测设备虽然占半导体设备市场比例不高（约占 13%）。但其增长速度往往超过整体半导体设备市场...
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更新日期： 2026 - 07 - 24
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激光位移传感器的作用有哪些
激光位移传感器的作用有哪些
激光位移传感器可在生产线上进行灌装水平的检测,在制造过程中当灌装产品通过传感器时可以检测是否灌装完毕,当生产线与传感器的安装线平行时,传感器测得的距离差越大物体的直线度越差,该传感器利用激光束反射面的扩展程序,可以准确识别灌装产品的灌装是否合格以及产品的数量是否正确。1、尺寸测定机关位移传感器在进行尺寸测量的时候采用振动分析,可以对汽车等高等级产品进行相关的测试和实验,另外对于一些工业产品可以实现实时的动态监测,另外一些中高等级的器件状态与产品的性价比和价位息息相关，激光位移传感器可以与机械手或其他的工业附加品相互配合形成一整套的监控系统,既可以对生产器械进行监控来避免其发生故障,又可以对产品进行质量检验避免厚度或长度等参数异常。2、均匀度的检查激光位移传感器的使用方法相对来说要更加简单,尤其在测量工件运动的倾斜方向时可以一次性测量多个运动工件,另外它可以迅速甚至实时的将测量值进行输出,另外它使用软件计算出的度量值误差相对来说较小,并可以根据数据输出情况实时的优化和调整数据的结果以保证结果的长期稳定,除此之外激光位移传感器还可以与各类扫描仪相互配合使用,一个负责读出数据另外一个可以及时的对其他的原件尺寸和完整性及精准度进行测试。这对于同类的位移传感器来说均不可能实现，然而激光位移传感器除了可以测量单组数据外,甚至多组数据共同测量时也可以保证精准性。激光位移传感器还可测量物体的直线度...
发布时间: 2020 - 10 - 22
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By Aleksandar Nikcevic
激光位移传感器的三角测量法和激光回波分析法具有哪些区别
激光位移传感器的三角测量法和激光回波分析法具有哪些区别
激光位移传感器是位移、厚度以及高度等不同参数检测新的突破点，许多人更是借助激光位移传感器视频预备深入了解其测量方法以及应用功能。而三角测量法和激光回波分析法是位移传感器较为常用的测量方法，现在就三角测量法和激光回波分析法具有哪些区别为大家作进一步解析：1.适宜测量的距离远近不同激光位移传感器的三角测量法和激光回波分析法在测量物体远近上有较大差别。一般来说三角测量法可通过镜头将光反射至物体表面，故而它更适宜短距离参数的测量；而激光回波分析法更适宜进行长距离参数的测量，因为回波的距离相比可见红光波长要更长些。2.测量所依据的工作原理差别较大激光位移传感器应用率较高的三角测量法指的是利用可见红光激光射向待测物体，再通过物体反射激光并且由接收器镜头进行接收。比如CCD线性相机就是通过不同角度获得光点探测激光和相机的距离；而激光回波分析法主要是基于发射的脉冲碰到障碍物返回所需时间再进行测量。3. 测量所得精度不同据众多用户反馈表明激光位移传感器的三角测量法和激光回波分析法两者拥有不同的测量精度。很多人经大量的试验发现三角测量法在进行机械加工以及上下料装配作业中拥有更高的测量精度，而激光回波分析法由于测距较长，故而其测量精度略低于三角测量的精度。据调查反馈表明激光位移传感器在市场上的应用率逐年递增，那些激光位移传感器厂家的地位也因此水涨船高。据这些厂家分享表明激光位移传感器的三角测量法和激光回...
发布时间: 2020 - 09 - 24
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By Aleksandar Nikcevic
选购激光位移传感器时应着重关注哪些方面
选购激光位移传感器时应着重关注哪些方面
现如今激光位移传感器在很多领域当中都有了广泛的应用，这与激光位移传感器功能的强大是密不可分的，再加上其维护简单、更加耐用等特点加持更是成为了某些领域当中必不可少的重要倚赖。不过用户们要想让激光位移传感器能够更好的满足自身实际测量需求，那么在选购时应着重关注这几点才行。一、确认测量时是否需要直接接触激光位移传感器的测量过程需要一个完整的三角光路，而在测量过程当中能否形成完整的三角光路则决定着能否带来精准的数据结果。如果测量时需要直接接触到测量目标就会不可避免的产生印记或者划痕，这样就会对测量数据的精准度带来影响，因此这个问题要事先明确。二、确认各项主要指标的误差值用户选择激光位移传感器正是看中了其高精度测量的显著特点，而这个显著特点也正是某些对零部件生产有着高精度要求的领域所必不可少的，比如说汽车零部件及航空飞行器零部件等都对于精度要求很高。在这个前提之下在选择激光位移传感器的时候就需要确认好各项主要指标的误差值，因为在使用的过程当中测量频率、量程以及分辨率和精度等指标都会产生相互的影响进而影响到测量数据结果的精准度，所以尤其是对测量精度要求更高的用户更是要提前做好了解才行，尽管前些年激光位移传感器都是进口产品主导着整个市场，但是随着激光位移传感器国产化进程的不断加快，尤其在以上这几个方面都进行了不断的优化与创新，如今已经能够为广大用户带来了日臻完善的使用功能与进口产品之间的差距已经...
发布时间: 2020 - 09 - 23
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By Aleksandar Nikcevic
激光位移传感器的功能有哪些
激光位移传感器的功能有哪些
激光位移传感器作为一种在工业生产当中很常用的精密测量仪器有着重要的作用，因为激光位移传感器功能强大所以得到了愈来愈广泛的应用，那么激光位移传感器到底都有哪些功能呢？接下来就这个问题做个详细的介绍。功能一、尺寸的测定在激光位移传感器众多的实用功能当中尺寸的测定无疑是更基本且更为具有代表性的功能之一，比如说能够对微小的零部件进行精准的位置识别；能够对生产过程当中传送带的上面有无零件进行准备的监测与识别；对于机械化操作重要组建的工具中心位置进行准确检测的等等从而确保生产过程的顺利无障碍的进行。功能二、电子元件的检查在电子领域的生产当中对于电子元件的生产及使用过程是有着极高要求的，而激光位移传感器就能够更好的执行对电子元件的检查任务，一般会采用两个激光位移传感器来对置于中间的电子元件进行检查然后通过读出的数据来确定该元件尺寸是够精准及完整。功能三、均匀度的检查在某些工业领域当中对于产品或者零部件的均匀度有着极高要求，为了保证这些产品或者零部件具有合格的均匀度就需要激光位移传感器来完成了，可以沿测量目标的倾斜方向摆置几个激光位移传感器来进行检查然后根据其读数的数据来判断结果。概括来说，目前应用愈加广泛的激光位移传感器受到了更多用户们的高度关注，虽然进口的激光位移传感器多年来始终占据着市场当中的主导，但是随着激光位移传感器国产化脚步的不断加快，也将会给用户们带来价格更加实惠功能更加强大的产品。
发布时间: 2020 - 09 - 22
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By Aleksandar Nikcevic
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半导体行业测量与检测现状--白皮书 （2）
半导体行业测量与检测现状--白皮书 （2）
2026 - 07 - 25
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3 半导体行业发展现状与趋势 本章分析全球及中国半导体产业的发展动态，以及对量测检测领域的影响，包括市场驱动力、挑战和技术演进路线等。 3.1 产业发展现状 全球与中国市场规模： 受益于 5G、AI、物联网等需求推动，全球半导体设备市场近年来快速扩张，2019 年2022 年从 598 亿美元增长至 1,076 亿美元。2023 年由于芯片下游需求疲软出现小幅下滑，全球设备销售额约 1...
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半导体行业测量与检测现状--白皮书 （1）
半导体行业测量与检测现状--白皮书 （1）
2026 - 07 - 24
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1 行业概述 半导体 “量检测” 一般指半导体制造过程中的测量与检测（Metrology & Inspection），涵盖对晶圆和芯片进行尺寸测量、缺陷检测、测试分析等环节。这类设备通过精密仪器和软件，在晶圆制造从光刻到封装的各阶段对关键参数和缺陷进行检测，把控产品良率。由于半导体元件的微缩和复杂化，量测与检测成为保障产品性能和良率的核心环节，被视为芯片制造的“质量保障”命脉。...
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  • 97
    光谱共焦传感器在厚度测量中的应用研究报告（上）
    光谱共焦传感器在厚度测量中的应用研究报告（上）
    2025 - 01 - 29
    一、引言1.1 研究背景与意义在工业生产和科学研究中，精确测量物体厚度是保证产品质量、控制生产过程以及推动技术创新的关键环节。随着制造业向高精度、高性能方向发展，对厚度测量技术的精度、速度和适应性提出了更高要求。传统的厚度测量方法，如接触式测量（游标卡尺、千分尺等）不仅效率低下，还容易对被测物体表面造成损伤，且难以满足现代工业高速、在线测量的需求；一些非接触式测量方法，如激光三角法，在面对透明或反光表面时测量精度较低。光谱共焦传感器作为一种基于光学原理的高精度测量设备，近年来在厚度测量领域展现出独特优势。它利用光谱聚焦原理，通过发射宽光谱光并分析反射光的波长变化来精确计算物体表面位置信息，进而得到厚度值。该传感器具有纳米级测量精度、快速响应、广泛的适用性以及无接触测量等特点，能够有效解决传统测量方法的局限性，为玻璃、薄膜、半导体等行业的厚度测量提供了可靠的解决方案，在提升产品质量、优化生产流程、降低生产成本等方面发挥着重要作用。因此，深入研究光谱共焦传感器测量厚度的应用具有重要的现实意义和广阔的应用前景。1.2 研究目的与方法本研究旨在全面深入地了解光谱共焦传感器在测量厚度方面的性能、应用场景、优势以及面临的挑战，为其在工业生产和科研领域的进一步推广和优化应用提供理论支持和实践指导。具体而言，通过对光谱共焦传感器测量厚度的原理进行详细剖析，明确其测量的准确性和可靠性；分析不同行业中...
  • 98
    非接触激光测量和接触式测量的优缺点分析及市场应用
    非接触激光测量和接触式测量的优缺点分析及市场应用
    2023 - 03 - 08
    一、概述随着现代工业的不断发展和进步，精度对于工业生产过程中所需要的各种测试测量技术要求也越来越高。而激光测量技术则是在这种背景下得以应用的，这是利用激光作为工具进行测量分析的一种方法。激光测量可以分为非接触式和接触式两种方式。二、非接触激光测量非接触激光测量技术是指激光束在不与被测物体表面发生接触的情况下，对被测物体进行测量操作。它主要利用激光的高亮度、高单色性、高方向性等特点，将测量对象和激光之间的无线电辐射或光辐射联系起来，通过对测量信号的处理，来获得被测物体的相关参数。可以广泛应用于自动化制造、工业检测、生命科学、质量控制检测等领域。2.1 非接触式测量优点（1）不会对被测物体造成损伤。激光测量技术是无损伤性的，测量过程中不会对被测物体造成任何损伤，也不会影响被测物体的结构、形状和性能。（2）精度高。非接触激光测量技术具有高精密性、高灵敏性和高分辨力，能够以亚微米级的精度获得被测物体的相关参数，减小了人为误差和测量结果的不确定性。（3）高速度。非接触激光测量技术具有快速高效的特点，对于一些需要进行即时在线检测或高频率的质检要求，非接触激光测量技术具有独特的优势。（4）测量安全。由于非接触激光测量技术可以在安全距离的范围内进行，因此保障了测量人员的身体健康和安全。2.2 非接触式测量缺点（1）不适用于暗面测量。非接触激光测量技术无法对于有光线被挡住的部位进行测量，因此适用于透...
  • 99
    光学传感器：薄膜涂布生产工艺的革新驱动力（上）
    光学传感器：薄膜涂布生产工艺的革新驱动力（上）
    2025 - 01 - 14
    一、引言1.1 研究背景与意义在现代工业的广阔版图中，薄膜涂布生产工艺宛如一颗璀璨的明星，闪耀于包装、电子、光学等诸多关键领域。从日常生活中轻盈便捷的食品包装，到电子产品里精细入微的电子元件，再到光学仪器中不可或缺的光学镜片，薄膜涂布工艺的身影无处不在，它以独特的方式赋予产品卓越的性能与品质。在包装领域，经过精心涂布的薄膜，能够摇身一变成为食品的忠诚守护者，有效阻挡氧气、水汽等外界因素的侵袭，极大地延长食品的保鲜期，确保其新鲜美味。在电子领域，薄膜涂布工艺如同神奇的魔法，为电子元件披上一层特殊的 “外衣”，显著提升其绝缘性、导电性等关键性能，为电子产品的高效稳定运行奠定坚实基础。而在光学领域，它更是大展身手，通过精确控制涂布的厚度与均匀度，制造出具有高透光率、低反射率等优异光学性能的薄膜，让我们的视野更加清晰，成像更加精准。然而，传统的薄膜涂布生产工艺在发展过程中逐渐遭遇瓶颈。涂布厚度的均匀性难以精准把控，这就如同在一幅精美的画卷上出现了瑕疵，不仅会影响产品的性能，还可能导致产品的废品率居高不下。同时，生产过程中的实时监测与调控也面临诸多挑战，就像在茫茫大海中航行的船只，难以准确把握前进的方向。而光学传感器的横空出世，宛如一道曙光，为薄膜涂布生产工艺带来了全新的变革契机。凭借其高精度、非接触、响应速度快等一系列卓越特性，光学传感器能够像敏锐的探测器一样，实时、精准地监测涂布过程中的...
  • 100
    有没有一种非接触测量的传感器，可以不受被测物体颜色、材质、透明度和反光量影响的？
    有没有一种非接触测量的传感器，可以不受被测物体颜色、材质、透明度和反光量影响的？
    2023 - 11 - 22
    标题：光谱共焦位移传感器：实现非接触测量的无影响性能摘要：光谱共焦位移传感器是一种先进的测量设备，利用共焦技术和光谱分析相结合，能够实现对被测物体的非接触测量，并且不受被测物体材质、颜色、透明度、反光度等因素的影响。本文将详细介绍光谱共焦位移传感器的原理和优越性，展示它在各个领域的广泛应用前景。引言：传统的非接触测量方法往往会受到被测物体材质、颜色、透明度、反光度等因素的干扰，导致测量结果的准确性下降。光谱共焦位移传感器作为一种新型的测量设备，成功解决了这一难题。它基于共焦技术和光谱分析原理，具有高精度、高灵敏度和多参数同时测量等优势，被广泛应用于工业、生命科学、环境监测等领域。一、光谱共焦位移传感器的原理光谱共焦位移传感器利用共焦技术，通过快速成像和光谱分析的方法，实现对被测物体的位移测量。传感器通过发送一束激光到被测物体上，并收集反射回来的光信号。然后，利用光谱分析技术将这些光信号解析成不同波长的频谱图像。根据频谱图像的变化，可以计算出被测物体的位移信息。二、光谱共焦位移传感器的优越性1. 无受材质影响：光谱共焦位移传感器采用光谱分析技术，可以将不同波长的光信号进行解析，不受被测物体的材质影响。无论是金属、塑料、液体还是透明物体，传感器都能够准确测量其位移信息。2. 无受颜色影响：传统的传感器常常受到被测物体颜色的影响，导致测量结果的误差增加。而光谱共焦位移传感器通过分析光信号...
  • 101
    一篇关于基恩士LK-G5000系列（LK-H系列）高端高精度高速激光位移传感器深度研究报告（上）
    一篇关于基恩士LK-G5000系列（LK-H系列）高端高精度高速激光位移传感器深度研究报告（上）
    2025 - 02 - 27
    一、引言1.1 研究背景与目的在工业自动化和智能制造快速发展的时代，激光位移传感器作为关键的测量设备，其重要性日益凸显。激光位移传感器凭借高精度、非接触测量、响应速度快等优势，广泛应用于汽车制造、电子、航空航天、机械加工等众多领域，为工业生产的高精度、高效率和智能化提供了有力支持。随着市场需求的不断增长和技术的持续进步，激光位移传感器行业呈现出蓬勃发展的态势。市场规模持续扩大，据相关数据显示，2023 年全球激光位移传感器市场规模大约为 15.13 亿美元，预计 2030 年将达到 25.09 亿美元，2024-2030 期间年复合增长率（CAGR）为 7.4%。在技术方面，传感器的精度、速度、稳定性等性能指标不断提升，新的技术和应用不断涌现，以满足不同行业日益多样化和严苛的测量需求。基恩士作为传感器领域的知名品牌，其推出的 LK-G5000 系列（LK-H 系列）高端高精度高速激光位移传感器在市场上备受关注。该系列产品凭借卓越的性能和先进的技术，在众多应用场景中展现出独特的优势，成为行业内的标杆产品之一。深入研究基恩士 LK-G5000 系列激光位移传感器，有助于我们全面了解激光位移传感器行业的最新技术趋势和产品发展方向，为相关企业的产品研发、市场竞争策略制定提供参考依据，同时也能为用户在选择和使用激光位移传感器时提供有价值的指导。1.2 研究方法与数据来源本研究主要采用了以下几...
  • 102
    激光位移传感器测量技巧深度解析与应用指南 （上）
    激光位移传感器测量技巧深度解析与应用指南 （上）
    2025 - 01 - 14
    一、引言1.1 激光位移传感器概述激光位移传感器，作为工业测量领域的关键设备，凭借其卓越的非接触测量特性，正日益成为众多行业实现高精度测量与自动化控制的核心技术。它主要利用激光的反射特性，通过精确测量反射光的相关参数，实现对目标物体的位移、距离、厚度等几何量的精准测定。这一技术的诞生，为现代制造业、科研实验以及诸多工业生产过程，提供了高效、可靠且精准的测量手段。其工作原理基于激光三角测量法和激光回波分析法。激光三角测量法常用于高精度、短距离测量场景。在该方法中，激光位移传感器发射出一束激光，射向被测物体表面，物体表面反射的激光经由特定的光学系统，被传感器内部的探测器接收。根据激光发射点、反射点以及探测器接收点之间所构成的三角几何关系，通过精密的计算，能够精确得出物体与传感器之间的距离 。激光回波分析法更适用于远距离测量，传感器以每秒发射大量激光脉冲的方式，向被测物体发送信号，随后依据激光脉冲从发射到被接收的时间差，精确计算出物体与传感器之间的距离。在工业测量领域，激光位移传感器的重要地位不容小觑。在汽车制造行业，它被广泛应用于车身零部件的尺寸检测、装配精度控制等环节。通过对汽车零部件的精确测量，能够确保各个部件的尺寸符合设计要求，从而提升整车的装配质量和性能。在电子制造领域，激光位移传感器可用于检测芯片的尺寸、平整度以及电子元件的贴装精度等。在芯片制造过程中，其微小的尺寸和极高的精...
  • 103
    光谱共焦传感器在厚度测量中的应用研究报告（下）
    光谱共焦传感器在厚度测量中的应用研究报告（下）
    2025 - 01 - 29
    五、光谱共焦传感器测量厚度的局限性及解决措施5.1 局限性分析5.1.1 测量范围限制光谱共焦传感器的测量范围相对有限，一般在几毫米到几十毫米之间。这是由于其测量原理基于色散物镜对不同波长光的聚焦特性，测量范围主要取决于色散物镜的轴向色差范围以及光谱仪的工作波段。在实际应用中，对于一些大尺寸物体的厚度测量，如厚壁管材、大型板材等，可能需要多次测量拼接数据，增加了测量的复杂性和误差来源。例如，在测量厚度超过传感器量程的大型金属板材时，需要移动传感器进行多次测量，然后将测量数据进行拼接处理，但在拼接过程中可能会因测量位置的定位误差、测量角度的变化等因素导致测量结果的不准确。5.1.2 对被测物体表面状态的要求虽然光谱共焦传感器对多种材料具有良好的适用性，但被测物体表面的粗糙度、平整度等因素仍会对测量精度产生一定影响。当被测物体表面粗糙度较大时，表面的微观起伏会导致反射光的散射和漫反射增强，使得反射光的强度分布不均匀，从而影响光谱仪对反射光波长的准确检测，导致测量误差增大。对于表面平整度较差的物体，如存在明显翘曲或弯曲的板材，会使传感器与物体表面的距离在不同位置发生变化，超出传感器的测量精度范围，进而影响厚度测量的准确性。例如，在测量表面粗糙的橡胶板材时，由于橡胶表面的微观纹理和不规则性，测量精度会明显下降，难以达到对光滑表面测量时的高精度水平。5.1.3 成本相对较高光谱共焦传感器作为...
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    激光位移传感器如何对薄膜进行测厚？
    激光位移传感器如何对薄膜进行测厚？
    2023 - 03 - 09
    激光位移传感器被广泛应用于各种领域中。其中一个很有用的应用是测量薄膜厚度。这种传感器可以在离表面很近的距离下进行高精度测量，因此非常适合这种应用。本文将介绍激光位移传感器如何用于测量薄膜厚度，包括测量方法、测量原理和市场应用。一、测量方法测量薄膜厚度的基本思路是利用激光位移传感器测量薄膜前后表面的距离差，然后通过几何公式计算出薄膜厚度。在实际操作中，测量方法大致可分为以下几种：1. 手持式测量手持式测量通常用于快速的现场检测。用户只需要将激光位移传感器靠近待测表面，然后通过读取显示屏上的数值判断薄膜厚度是否符合要求。这种方法不需要复杂的设备和步骤，非常易于使用。但是由于人手的震动和误差等因素，手持式测量的精度相对较低，只适用于需求不是特别高的场合。2. 自动化在线测量自动化在线测量一般用于工业生产线上的质量控制。这种方法需要将激光位移传感器与自动化设备相连接，将测量数据传递给计算机进行分析。在这种情况下，测量过程可以完全自动化，精度也可以得到保证。但是相对于手持式测量来说，这种方法需要的设备和技术要求更高，成本也更高。3. 显微镜下测量显微镜下测量常用于对细小薄膜厚度的测量。在这种情况下，用户需要将激光位移传感器与显微镜相结合进行测量。由于显微镜的存在，可以大大增强测量精度。但是相对于其他两种方法，这种方法需要的设备更多，并且技巧要求也更高。二、测量原理激光位移传感器利用的是激光三...
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半导体行业测量与检测现状--白皮书 （2） 2026 - 07 - 25 3 半导体行业发展现状与趋势 本章分析全球及中国半导体产业的发展动态，以及对量测检测领域的影响，包括市场驱动力、挑战和技术演进路线等。 3.1 产业发展现状 全球与中国市场规模： 受益于 5G、AI、物联网等需求推动，全球半导体设备市场近年来快速扩张，2019 年2022 年从 598 亿美元增长至 1,076 亿美元。2023 年由于芯片下游需求疲软出现小幅下滑，全球设备销售额约 1,063 亿美元，同比下降 1.3%。其中，中国大陆仍是全球最大的半导体设备市场，2023 年采购约 367 亿美元设备，占全球约 34.5%。在这一大背景下，用于工艺控制的量测 / 检测设备（即良率检测设备）也保持增长：2023 年全球半导体量测和检测设备市场规模达 128.3亿美元，同比增长 1.6%，2019-2023 年 CAGR 高达19.1%。中国大陆市场同期由 16.9 亿美元增至约 42.3亿美元，占全球比重从 26.5% 提升至约 33%。尽管短期增速有所区别，但中长期看大陆市场增势强劲，预计2025 年中国大陆量测设备销售将继续两位数增长。 行业格局与竞争： 半导体量检测设备属于高技术壁垒行业， 全球市场集中度极高。前道量测 / 检测领域被少数国际巨头垄断， 前五大厂商市占率超过 80%。美国科磊公司 (KLA) 是绝对龙头，在光学检测和裸晶圆检测等核心领...
半导体行业测量与检测现状--白皮书 （1） 2026 - 07 - 24 1 行业概述 半导体 “量检测” 一般指半导体制造过程中的测量与检测（Metrology & Inspection），涵盖对晶圆和芯片进行尺寸测量、缺陷检测、测试分析等环节。这类设备通过精密仪器和软件，在晶圆制造从光刻到封装的各阶段对关键参数和缺陷进行检测，把控产品良率。由于半导体元件的微缩和复杂化，量测与检测成为保障产品性能和良率的核心环节，被视为芯片制造的“质量保障”命脉。这些设备广泛应用于硅晶圆制造线的各步骤，以及封装测试、印刷电路板检测等领域，确保从晶圆到成品的每一阶段满足严格的技术规范。例如，在晶圆制造中，自动检测系统可识别光刻中的缺陷、量测线宽和膜厚，在封装中 AOI 和 X 射线检测设备可发现封装内部的焊点空洞等缺陷。 半导体 “量检测” 存在诸多难点，主要体现在检测精度要求高、检测速度与效率的平衡、缺陷检测难度大等方面。这些技术难点直接推高了行业准入门槛，促使企业加大研发投入，同时也推动了检测设备向智能化、自动化方向发展。高效精准的检测技术已成为提升产品良率、降低生产成本的关键，正在重塑半导体行业的市场竞争格局。 市场规模及发展 随着半导体行业的持续增长，对检测设备的需求也稳步上升。据统计，2021 年全球半导体量测与检测设备市场规模约为 73 亿美元，预计 2031 年将增长至 133 亿美元，年复合增长率约 6.2%。...
LTP 系列激光位移传感器全国产化之路 —— 从技术依赖到自主可控的心路历程 2026 - 04 - 12 作为一名深耕精密传感行业十余年的从业者，我全程参与了泓川科技 LTP 系列高速高精度激光三角位移传感器的全国产化攻坚。这段从 “全盘进口” 到 “100% 自主可控” 的历程，不仅是一款产品的突围，更是中国高端工业传感器打破封锁、实现自立自强的真实缩影。当前，中国已是全球最大的制造业基地与工业传感器消费市场，智能制造、半导体、锂电、汽车电子等领域对纳米级位移测量的需求呈爆发式增长。而激光三角位移传感器作为精密测控的 “核心标尺”，长期被欧美日品牌垄断 —— 高端型号依赖进口核心器件，不仅采购成本高出 30%-50%，交期动辄 3-6 个月，更面临供应链断供、技术卡脖子的致命风险。在国产替代成为国家战略、产业链安全重于一切的今天，高端传感器的全国产化，早已不是选择题，而是关乎制造业根基的必答题。LTP 系列的国产化之路，正是在这样的时代背景下，一群中国传感人用坚守与突破，写下的硬核答卷。一、初心与觉醒：从 “拿来主义” 到 “必须自主” 的心路转折回望 LTP 系列的起点，我们和国内绝大多数同行一样，深陷核心部件全面依赖进口的困境。早年做激光位移传感器，我们奉行 “集成路线”：激光器选日本某品牌的 655nm 半导体激光管，光学镜头采购德国高精度玻璃透镜，信号处理芯片用美国 TI 的高精度 ADC，就连光电探测器、滤波片也全部依赖进口。这套方案成熟稳定，但代价沉重：核心部件被供应商卡...
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