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半导体行业测量与检测现状--白皮书 （2）
半导体行业测量与检测现状--白皮书 （2）
3 半导体行业发展现状与趋势 本章分析全球及中国半导体产业的发展动态，以及对量测检测领域的影响，包括市场驱动力、挑战和技术演进路线等。 3.1 产业发展现状 全球与中国市场规模： 受益于 5G、AI、物联网等需求推动，全球半导体设备市场近年来快速扩张，2019 年2022 年从 598 亿美元增长至 1,076 亿美元。2023 年由于芯片下游需求疲软出现小幅下滑，全球设备销售额约 1,063 亿美元，同比下降 1.3%。其中，中国大陆仍是全球最大的半导体设备市场，2023 年采购约 367 亿美元设备，占全球约 34.5%。在这一大背景下，用于工艺控制的量测 / 检测设备（即良率检测设备）也保持增长：2023 年全球半导体量测和检测设备市场规模达 128.3亿美元，同比增长 1.6%，2019-2023 年 CAGR 高达19.1%。中国大陆市场同期由 16.9 亿美元增至约 42.3亿美元，占全球比重从 26.5% 提升至约 33%。尽管短期增速有所区别，但中长期看大陆市场增势强劲，预计2025 年中国大陆量测设备销售将继续两位数增长。 行业格局与竞争： 半导体量检测设备属于高技术壁垒行业， 全球市场集中度极高。前道量测 / 检测领域被少数国际巨头垄断， 前五大厂商市占率超过 80%。美国科磊公司 (KLA) 是绝对龙头，在光学检测和裸晶圆检测等核心领域市占率超过 50%。KLA 在光学晶圆检查和无图形晶圆检测等关键市场份额甚至高达 85% 以上，在套刻量测市场份额超 66%。美国应用材料 (AMAT) 和美国 ONTO Innovation 分列第二、第三位，合计约占全球 市 场 的 30%。此 外，日 本 日 立 高 新 (HitachiHigh-Tech)、荷兰 ASML（并购 HMI 进军电子束检测）、日本 Lasertec（光罩 EU...
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更新日期： 2026 - 07 - 25
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半导体行业测量与检测现状--白皮书 （1）
半导体行业测量与检测现状--白皮书 （1）
1 行业概述 半导体 “量检测” 一般指半导体制造过程中的测量与检测（Metrology & Inspection），涵盖对晶圆和芯片进行尺寸测量、缺陷检测、测试分析等环节。这类设备通过精密仪器和软件，在晶圆制造从光刻到封装的各阶段对关键参数和缺陷进行检测，把控产品良率。由于半导体元件的微缩和复杂化，量测与检测成为保障产品性能和良率的核心环节，被视为芯片制造的“质量保障”命脉。这些设备广泛应用于硅晶圆制造线的各步骤，以及封装测试、印刷电路板检测等领域，确保从晶圆到成品的每一阶段满足严格的技术规范。例如，在晶圆制造中，自动检测系统可识别光刻中的缺陷、量测线宽和膜厚，在封装中 AOI 和 X 射线检测设备可发现封装内部的焊点空洞等缺陷。 半导体 “量检测” 存在诸多难点，主要体现在检测精度要求高、检测速度与效率的平衡、缺陷检测难度大等方面。这些技术难点直接推高了行业准入门槛，促使企业加大研发投入，同时也推动了检测设备向智能化、自动化方向发展。高效精准的检测技术已成为提升产品良率、降低生产成本的关键，正在重塑半导体行业的市场竞争格局。 市场规模及发展 随着半导体行业的持续增长，对检测设备的需求也稳步上升。据统计，2021 年全球半导体量测与检测设备市场规模约为 73 亿美元，预计 2031 年将增长至 133 亿美元，年复合增长率约 6.2%。另一份研究显示 2022 年该市场约为 75.5 亿美元，到 2028 年将达到 111 亿美元。这一市场增长的驱动力包括电子产品需求上升、晶圆产能扩张以及先进封装的普及。地理上，亚太地区占据最大市场份额，2021 年约占全球 一半以上，主要因为中国大陆、台湾、韩国等地集中了大量晶圆厂。值得注意的是，量测与检测设备虽然占半导体设备市场比例不高（约占 13%）。但其增长速度往往超过整体半导体设备市场...
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更新日期： 2026 - 07 - 24
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激光位移传感器的作用有哪些
激光位移传感器的作用有哪些
激光位移传感器可在生产线上进行灌装水平的检测,在制造过程中当灌装产品通过传感器时可以检测是否灌装完毕,当生产线与传感器的安装线平行时,传感器测得的距离差越大物体的直线度越差,该传感器利用激光束反射面的扩展程序,可以准确识别灌装产品的灌装是否合格以及产品的数量是否正确。1、尺寸测定机关位移传感器在进行尺寸测量的时候采用振动分析,可以对汽车等高等级产品进行相关的测试和实验,另外对于一些工业产品可以实现实时的动态监测,另外一些中高等级的器件状态与产品的性价比和价位息息相关，激光位移传感器可以与机械手或其他的工业附加品相互配合形成一整套的监控系统,既可以对生产器械进行监控来避免其发生故障,又可以对产品进行质量检验避免厚度或长度等参数异常。2、均匀度的检查激光位移传感器的使用方法相对来说要更加简单,尤其在测量工件运动的倾斜方向时可以一次性测量多个运动工件,另外它可以迅速甚至实时的将测量值进行输出,另外它使用软件计算出的度量值误差相对来说较小,并可以根据数据输出情况实时的优化和调整数据的结果以保证结果的长期稳定,除此之外激光位移传感器还可以与各类扫描仪相互配合使用,一个负责读出数据另外一个可以及时的对其他的原件尺寸和完整性及精准度进行测试。这对于同类的位移传感器来说均不可能实现，然而激光位移传感器除了可以测量单组数据外,甚至多组数据共同测量时也可以保证精准性。激光位移传感器还可测量物体的直线度...
发布时间: 2020 - 10 - 22
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By Aleksandar Nikcevic
激光位移传感器的三角测量法和激光回波分析法具有哪些区别
激光位移传感器的三角测量法和激光回波分析法具有哪些区别
激光位移传感器是位移、厚度以及高度等不同参数检测新的突破点，许多人更是借助激光位移传感器视频预备深入了解其测量方法以及应用功能。而三角测量法和激光回波分析法是位移传感器较为常用的测量方法，现在就三角测量法和激光回波分析法具有哪些区别为大家作进一步解析：1.适宜测量的距离远近不同激光位移传感器的三角测量法和激光回波分析法在测量物体远近上有较大差别。一般来说三角测量法可通过镜头将光反射至物体表面，故而它更适宜短距离参数的测量；而激光回波分析法更适宜进行长距离参数的测量，因为回波的距离相比可见红光波长要更长些。2.测量所依据的工作原理差别较大激光位移传感器应用率较高的三角测量法指的是利用可见红光激光射向待测物体，再通过物体反射激光并且由接收器镜头进行接收。比如CCD线性相机就是通过不同角度获得光点探测激光和相机的距离；而激光回波分析法主要是基于发射的脉冲碰到障碍物返回所需时间再进行测量。3. 测量所得精度不同据众多用户反馈表明激光位移传感器的三角测量法和激光回波分析法两者拥有不同的测量精度。很多人经大量的试验发现三角测量法在进行机械加工以及上下料装配作业中拥有更高的测量精度，而激光回波分析法由于测距较长，故而其测量精度略低于三角测量的精度。据调查反馈表明激光位移传感器在市场上的应用率逐年递增，那些激光位移传感器厂家的地位也因此水涨船高。据这些厂家分享表明激光位移传感器的三角测量法和激光回...
发布时间: 2020 - 09 - 24
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By Aleksandar Nikcevic
选购激光位移传感器时应着重关注哪些方面
选购激光位移传感器时应着重关注哪些方面
现如今激光位移传感器在很多领域当中都有了广泛的应用，这与激光位移传感器功能的强大是密不可分的，再加上其维护简单、更加耐用等特点加持更是成为了某些领域当中必不可少的重要倚赖。不过用户们要想让激光位移传感器能够更好的满足自身实际测量需求，那么在选购时应着重关注这几点才行。一、确认测量时是否需要直接接触激光位移传感器的测量过程需要一个完整的三角光路，而在测量过程当中能否形成完整的三角光路则决定着能否带来精准的数据结果。如果测量时需要直接接触到测量目标就会不可避免的产生印记或者划痕，这样就会对测量数据的精准度带来影响，因此这个问题要事先明确。二、确认各项主要指标的误差值用户选择激光位移传感器正是看中了其高精度测量的显著特点，而这个显著特点也正是某些对零部件生产有着高精度要求的领域所必不可少的，比如说汽车零部件及航空飞行器零部件等都对于精度要求很高。在这个前提之下在选择激光位移传感器的时候就需要确认好各项主要指标的误差值，因为在使用的过程当中测量频率、量程以及分辨率和精度等指标都会产生相互的影响进而影响到测量数据结果的精准度，所以尤其是对测量精度要求更高的用户更是要提前做好了解才行，尽管前些年激光位移传感器都是进口产品主导着整个市场，但是随着激光位移传感器国产化进程的不断加快，尤其在以上这几个方面都进行了不断的优化与创新，如今已经能够为广大用户带来了日臻完善的使用功能与进口产品之间的差距已经...
发布时间: 2020 - 09 - 23
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By Aleksandar Nikcevic
激光位移传感器的功能有哪些
激光位移传感器的功能有哪些
激光位移传感器作为一种在工业生产当中很常用的精密测量仪器有着重要的作用，因为激光位移传感器功能强大所以得到了愈来愈广泛的应用，那么激光位移传感器到底都有哪些功能呢？接下来就这个问题做个详细的介绍。功能一、尺寸的测定在激光位移传感器众多的实用功能当中尺寸的测定无疑是更基本且更为具有代表性的功能之一，比如说能够对微小的零部件进行精准的位置识别；能够对生产过程当中传送带的上面有无零件进行准备的监测与识别；对于机械化操作重要组建的工具中心位置进行准确检测的等等从而确保生产过程的顺利无障碍的进行。功能二、电子元件的检查在电子领域的生产当中对于电子元件的生产及使用过程是有着极高要求的，而激光位移传感器就能够更好的执行对电子元件的检查任务，一般会采用两个激光位移传感器来对置于中间的电子元件进行检查然后通过读出的数据来确定该元件尺寸是够精准及完整。功能三、均匀度的检查在某些工业领域当中对于产品或者零部件的均匀度有着极高要求，为了保证这些产品或者零部件具有合格的均匀度就需要激光位移传感器来完成了，可以沿测量目标的倾斜方向摆置几个激光位移传感器来进行检查然后根据其读数的数据来判断结果。概括来说，目前应用愈加广泛的激光位移传感器受到了更多用户们的高度关注，虽然进口的激光位移传感器多年来始终占据着市场当中的主导，但是随着激光位移传感器国产化脚步的不断加快，也将会给用户们带来价格更加实惠功能更加强大的产品。
发布时间: 2020 - 09 - 22
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By Aleksandar Nikcevic
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半导体行业测量与检测现状--白皮书 （2）
半导体行业测量与检测现状--白皮书 （2）
2026 - 07 - 25
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3 半导体行业发展现状与趋势 本章分析全球及中国半导体产业的发展动态，以及对量测检测领域的影响，包括市场驱动力、挑战和技术演进路线等。 3.1 产业发展现状 全球与中国市场规模： 受益于 5G、AI、物联网等需求推动，全球半导体设备市场近年来快速扩张，2019 年2022 年从 598 亿美元增长至 1,076 亿美元。2023 年由于芯片下游需求疲软出现小幅下滑，全球设备销售额约 1...
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半导体行业测量与检测现状--白皮书 （1）
半导体行业测量与检测现状--白皮书 （1）
2026 - 07 - 24
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1 行业概述 半导体 “量检测” 一般指半导体制造过程中的测量与检测（Metrology & Inspection），涵盖对晶圆和芯片进行尺寸测量、缺陷检测、测试分析等环节。这类设备通过精密仪器和软件，在晶圆制造从光刻到封装的各阶段对关键参数和缺陷进行检测，把控产品良率。由于半导体元件的微缩和复杂化，量测与检测成为保障产品性能和良率的核心环节，被视为芯片制造的“质量保障”命脉。...
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  • 97
    光谱共焦位移传感器制造技术详解
    光谱共焦位移传感器制造技术详解
    2024 - 12 - 11
    摘要光谱共焦位移传感器是一种高精度、非接触式的光电位移传感器，广泛应用于光学镜片检测、半导体制造、医疗器械生产等多个领域。本文详细阐述了光谱共焦位移传感器的制造技术，包括生产技术细节、工艺流程以及需要注意的具体事项，为相关领域的研发和生产提供参考。引言随着精密仪器制造业的发展，对于工业生产测量的要求越来越高。光谱共焦位移传感器以其高精度、非接触式、实时无损检测等特性，成为解决这一问题的有效手段。本文旨在详细介绍光谱共焦位移传感器的制造技术，包括关键零部件的选择、生产工艺流程以及制造过程中需要注意的事项。一、光谱共焦位移传感器的基本原理光谱共焦位移传感器由光源、分光镜、光学色散镜头组、小孔以及光谱仪等部分组成。传感器通过色散镜头将位移信息转换成波长信息，再利用光谱仪进行光谱分解，反解得出被测位移。其中，色散镜头作为光学部分完成了波长和位移的一一映射，是传感器的核心部件。二、关键零部件的选择1. 光源选择白光LED作为光源，其光谱分布范围广泛，能够满足不同测量需求。同时，白光LED具有寿命长、稳定性好等优点，适合用于工业生产环境。2. 色散镜头色散镜头是光谱共焦位移传感器的关键部件，其性能直接影响传感器的测量精度和分辨率。在选择色散镜头时，需要考虑其轴向色散与波长之间的线性度、色散范围以及镜头材料等因素。3. 光谱仪光谱仪用于接收通过小孔的光信号，并确定其波长，从而实现位移分辨。在选择...
  • 98
    国产替代深度解析：泓川科技 HC8-050 与松下 HG-C1050 激光位移传感器的技术对比与应用价值
    国产替代深度解析：泓川科技 HC8-050 与松下 HG-C1050 激光位移传感器的技术对比与应用价值
    2025 - 04 - 13
    在工业自动化领域，精密测量是保障产品质量与生产效率的核心环节。泓川科技 HC8-050 与松下 HG-C1050 作为两款主流的中短距离激光位移传感器，在电子制造、精密加工、自动化检测等领域应用广泛。本文将从技术参数、核心性能、应用场景等维度展开深度对比，揭示 HC8-050 在特定场景下的显著优势及高性价比。一、基础技术参数：精准定位性能差异参数HC8-050HG-C1050差异分析测量范围50±15mm（35-65mm）50±15mm（35-65mm）两者一致，覆盖中短距离精密测量场景。重复精度15μm30μmHC8-050 的重复精度比 HG-C1050 提升 50%，适用于对微小位移敏感的精密检测（如芯片封装、精密轴承测量）。光点直径70μm约 70μm光斑尺寸相同，但 HC8-050 通过光学优化，在低反射率表面的光斑识别能力更强。线性度±0.1%F.S.±0.1%F.S.线性度一致，满足工业级测量精度要求。温度特性±0.05%F.S/℃±0.03%F.S/℃HG-C1050 理论温漂略优，但 HC8-050 通过硬件散热与软件温补算法，实际在高温环境（如 80℃）下稳定性更优。工作温度-10~50℃（支持 80℃长期使用）-10~45℃HC8-050 突破行业常规，通过特殊设计可在 80℃高温环境稳定运行，而 ...
  • 99
    激光测量技术在（ADAS）驾驶辅助系统的应用案例（三）
    激光测量技术在（ADAS）驾驶辅助系统的应用案例（三）
    2025 - 01 - 16
    七、声纳传感器应用案例深析7.1 外壳相关检测7.1.1 外壳的外观检测在声纳传感器的实际应用中，对外壳的外观检测是确保产品质量的关键步骤。在进行外壳外观检测时，声纳传感器并非仅依赖传统的图像明暗判断方式，而是借助先进的技术，利用 3D 形状的图像来实现精准的形状变化识别。其工作过程如下：传感器发射特定频率和模式的声波，这些声波以特定的角度和范围向外传播，当遇到外壳表面时，会根据外壳表面的形状、材质以及纹理等特征产生不同的反射模式。反射回来的声波被传感器的接收装置高效捕捉，然后转化为电信号。系统对这些电信号进行复杂的处理和分析，通过独特的算法将其转换为详细的 3D 形状数据。在这个过程中，系统会对 3D 形状数据进行精确的分析和比对，与预先设定的标准外壳模型进行细致的匹配。一旦发现外壳的形状与标准模型存在差异，系统会立即识别出这些变化，从而确定外壳是否存在缺陷或不符合规格的情况。这种利用 3D 形状图像进行外观检测的方式具有诸多显著优势。它极大地提高了检测的准确性和可靠性。传统的基于图像明暗判断的方法，容易受到环境光、外壳表面光泽度以及颜色等多种因素的干扰，导致检测结果出现偏差。而 3D 形状图像检测技术能够直接获取外壳的真实形状信息，不受这些外部因素的影响，从而能够更准确地发现外壳表面的细微瑕疵，如划痕、凹陷、凸起等，以及形状上的偏差。该技术具有较强的稳定性。无论环境光如何变化，...
  • 100
    泓川科技 LTM3 系列与米铱 ILD1750 系列激光位移传感器深度对比：高性价比之选
    泓川科技 LTM3 系列与米铱 ILD1750 系列激光位移传感器深度对比：高性价比之选
    2025 - 05 - 26
    一、引言在工业自动化领域，激光位移传感器作为精密测量的核心部件，其性能与成本直接影响设备的竞争力。本文聚焦泓川科技 LTM3 系列与米铱 ILD1750 系列，从技术参数、应用场景及成本等维度展开深度对比，揭示 LTM3 系列如何以卓越性能和显著成本优势成为更具性价比的选择。二、核心参数对比指标泓川科技 LTM3 系列米铱 ILD1750 系列测量频率最高 10kHz，适用于高速动态测量场景最高 7.5kHz，满足常规工业速度需求重复性精度0.25μm 起（如 LTM3 - 030），达到亚微米级精度0.1μm 起，精度表现优异线性误差低至 0.06% FSO 起，基于百分比的误差控制防护等级IP67，可抵御粉尘、液体喷射及短时浸水IP65，防护性能良好但略逊于 LTM3外形尺寸605020.4mm，体积小巧，适配狭窄空间未明确标注，但工业通用设计体积较大重量约 150g，轻便易安装未明确标注，推测重于 LTM3 系列输出接口以太网、485 串口、模拟信号（±10V/4 - 20mA），支持工业网络集成模拟量（U/I）、数字量（RS422），传统工业接口配置光源655nm/660nm 红光激光，稳定可靠670nm 红光激光，测量光斑控制优秀工作温度0 - 50°C，适应多数工业环境0 - 50°C，环境适应性相当三、LTM3 系列核心优势解析（一）性能...
  • 101
    激光位移传感器在汽车行业各种应用案例
    激光位移传感器在汽车行业各种应用案例
    2023 - 02 - 20
    1、激光位移传感器在轮胎转速测量中有重要作用。通常，一台汽车的轮胎都包含有激光位移传感器，它可以准确地测量出车轮的输出速度。该传感器利用轮胎上绕着水平或垂直线的激光点来测量轮胎行驶距离和变速器输出转速，从而确定变速比。此外，它还能准确地测量车轮上的前后运动，特别是对于汽车行驶的直线行驶和转弯的控制都有着重要的作用。2、激光位移传感器在防撞技术中也得到了广泛应用。它通常会被安装在前脸和侧面，通过测量前脸物体和周围物体的距离来调整外防撞车身和限速 门控驾驶，从而有效地防止汽车发生碰撞，保护汽车行驶的安全。 3、激光位移传感器在停车技术中也得到了广泛应用。它不仅可以测量汽车行驶距离、角度和速度，还可以准确地记录汽车在停车时的位置，并在遇到障 害的情况下立即触发保护电路或自动脱离，从而避免发生碰撞事故。 4、激光位移传感器也被广泛用于汽车行驶辅助系统中，它可以准确地测量出汽车行驶距离、方向及车速， 为汽车驾驶员提供实时信息，以增加驾驶操控质量，帮助驾驶员进行准确的行驶安排和调整。 5、激光位移传感器也在汽车悬挂系统中得到应用，它可以测量每个车轮的距离及方向，并建立一个三维的实时图像 。这种三维的实时图像可以非常准确地反映出汽车悬挂系统的表现，从而使汽车行驶的平稳性和操控性都大大提高。6、激光位移传感器还可用于汽车智能辅助驾驶系统中， 这种系统结合了导航、安全显...
  • 102
    汽车发动机缸孔内壁瑕疵检测报告--激光光纤内孔内管孔壁测量仪
    汽车发动机缸孔内壁瑕疵检测报告--激光光纤内孔内管孔壁测量仪
    2024 - 11 - 24
    样品检查报告书添加图片注释，不超过 140 字（可选）□ 全部可检出 □ 全部可检出（存在过度判定） ■ 部分可检出（6个孔中有2个可检出） □ 不可检出 □ 需要追加检查检查结果】由于未收到客户对于本次检查对象孔洞的判定结果，我们已通过⽬视确认将可⻅的划痕作为缺陷进⾏了检测。在6个被检孔洞中，有2个孔洞通过⽬视检测到了可⻅的划痕。剩余的4个孔洞，⽆论是通过⽬视还是数据分析，均未发现划痕或其他缺陷，因此未检出。（请参考第5⻚及之后的成像数据）【制造商意⻅】请客户也确认本次检测出的缺陷部位是否符合缺陷规格，即这些是否确实为应检出的缺陷。另外，在检测出缺陷的第②和第⑤个⼯作件中，还存在对⾮缺陷部位的误检。如果是在清洗前的状态下进⾏检查，由于污垢的附着，可能会导致难以捕捉到真正的缺陷部位，或者像本次⼀样，将污垢误判为缺陷。因此，如果考虑引⼊系统进⾏检测，请考虑将其安排在清洗后的⼯序中进⾏。此外，关于④A和④B两个孔洞，由于本次提供了切割⼯作件作为样本，因此能够进⾏拍摄。但在正规产品中，可能会因为探头⽀架等部件的接触⽽⽆法进⾏全⻓度的检查。考虑到实际的检查环境，我们认为有必要评估在产品状态下进⾏检查的可⾏性。（详情请参阅第3⻚）【后续推进⽅案】基于本次结果，如果您考虑引⼊内孔瑕疵检测系统，我们⾸先建议在图纸上评估④A和④B部位在产品状态下是否可以进⾏检查，并随后进⾏n次追加验证（有偿）。在...
  • 103
    泓川科技的光学楞镜如何解决光谱共焦传感器在狭小空间中大量程测量的难题？
    泓川科技的光学楞镜如何解决光谱共焦传感器在狭小空间中大量程测量的难题？
    2025 - 08 - 12
    在半导体芯片制造、精密电子组装等高端工业场景中，一个棘手的矛盾始终存在：一方面，设备内部空间日益紧凑，毫米级的安装高度都可能成为 “禁区”；另一方面，随着产品结构复杂化，对测量量程的需求不断提升，5mm 以上的大量程检测已成为常态。如何在狭小空间内实现大量程精密测量？无锡泓川科技给出了突破性答案 ——光学转折镜，以创新设计让光谱共焦传感器的测量方向 “直角转向”，既节省安装空间，又兼容大量程需求，重新定义精密测量的空间可能性。传统方案的痛点：空间与量程难以两全在精密测量领域，侧出光传感器曾是狭小空间的 “救星”。泓川科技旗下 LTCR 系列作为 90° 侧向出光型号，凭借紧凑设计广泛应用于深孔、内壁等特征测量。但受限于结构设计，其量程多集中在 2.5mm 以内（如 LTCR4000 量程为 ±2mm），难以满足半导体晶圆厚度、大型精密构件高度差等大量程场景的需求。若选择传统端面出光的大量程传感器（如 LTC10000 量程 ±5mm、LTC20000 量程 ±10mm、LTC50000 量程 ±25mm），虽能覆盖测量需求，却因轴向出光设计需预留足够安装高度，在半导体设备的密闭腔室、精密仪器的紧凑模组中 “寸步难行”。空间与量程，似乎成了不可调和的矛盾。光学转折镜：让大量程探头 “直角转身”，释放空间潜力泓川科技创新研发的光学转折镜...
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    基于非接触传感器的材料单双张检测方案
    基于非接触传感器的材料单双张检测方案
    2023 - 09 - 30
    引言：在搬送薄片材料时，准确辨别材料的单双张对于生产流程的顺利进行至关重要。即使材料的材质发生了变化，我们仍然可以利用非接触传感器实现稳定的检测。本文介绍了两种常用方式：激光位移传感器和超声波传感器，在机械搬运过程中通过测量材料的厚度来判断其单双张状态。主体：1. 激光位移传感器方案：（a）准备工作：安装两个激光位移传感器，使其形成对射式布置。在中间放置一张标准厚度的材料，并通过上位机软件进行校准设定。（b）测量与校准：激光位移传感器通过测量材料的厚度，获得距离总和，并与设定的固定差值进行比较。当机械搬运过程中出现误差导致厚度与之前的距离数据明显不同时，激光位移传感器将发出错误信号，指示材料为双张状态。2. 超声波传感器方案：（a）准备工作：使用对射式超声波传感器，并先安装一张标准材料来校准基准能量。（b）测量与判断：超声波传感器利用能量穿透原理，通过测量接收端收取到的能量来判断材料的状态。当材料为单张时，接收端将收到接近基准值的能量；而当材料为双张或多张时，接收端收到的能量明显小于标准值，此时超声波传感器将发出报警信号。3. 激光位移传感器方案的优势：- 高精度测量：激光位移传感器具有高精度，可以精确测量材料的厚度变化，从而能够准确判断材料的单双张状态。- 实时监测：传感器反应速度快，并可以实时检测材料的厚度变化，确保在搬运过程中能够及时发现错误信号并进行处理。- 非接触式：激光...
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半导体行业测量与检测现状--白皮书 （2） 2026 - 07 - 25 3 半导体行业发展现状与趋势 本章分析全球及中国半导体产业的发展动态，以及对量测检测领域的影响，包括市场驱动力、挑战和技术演进路线等。 3.1 产业发展现状 全球与中国市场规模： 受益于 5G、AI、物联网等需求推动，全球半导体设备市场近年来快速扩张，2019 年2022 年从 598 亿美元增长至 1,076 亿美元。2023 年由于芯片下游需求疲软出现小幅下滑，全球设备销售额约 1,063 亿美元，同比下降 1.3%。其中，中国大陆仍是全球最大的半导体设备市场，2023 年采购约 367 亿美元设备，占全球约 34.5%。在这一大背景下，用于工艺控制的量测 / 检测设备（即良率检测设备）也保持增长：2023 年全球半导体量测和检测设备市场规模达 128.3亿美元，同比增长 1.6%，2019-2023 年 CAGR 高达19.1%。中国大陆市场同期由 16.9 亿美元增至约 42.3亿美元，占全球比重从 26.5% 提升至约 33%。尽管短期增速有所区别，但中长期看大陆市场增势强劲，预计2025 年中国大陆量测设备销售将继续两位数增长。 行业格局与竞争： 半导体量检测设备属于高技术壁垒行业， 全球市场集中度极高。前道量测 / 检测领域被少数国际巨头垄断， 前五大厂商市占率超过 80%。美国科磊公司 (KLA) 是绝对龙头，在光学检测和裸晶圆检测等核心领...
半导体行业测量与检测现状--白皮书 （1） 2026 - 07 - 24 1 行业概述 半导体 “量检测” 一般指半导体制造过程中的测量与检测（Metrology & Inspection），涵盖对晶圆和芯片进行尺寸测量、缺陷检测、测试分析等环节。这类设备通过精密仪器和软件，在晶圆制造从光刻到封装的各阶段对关键参数和缺陷进行检测，把控产品良率。由于半导体元件的微缩和复杂化，量测与检测成为保障产品性能和良率的核心环节，被视为芯片制造的“质量保障”命脉。这些设备广泛应用于硅晶圆制造线的各步骤，以及封装测试、印刷电路板检测等领域，确保从晶圆到成品的每一阶段满足严格的技术规范。例如，在晶圆制造中，自动检测系统可识别光刻中的缺陷、量测线宽和膜厚，在封装中 AOI 和 X 射线检测设备可发现封装内部的焊点空洞等缺陷。 半导体 “量检测” 存在诸多难点，主要体现在检测精度要求高、检测速度与效率的平衡、缺陷检测难度大等方面。这些技术难点直接推高了行业准入门槛，促使企业加大研发投入，同时也推动了检测设备向智能化、自动化方向发展。高效精准的检测技术已成为提升产品良率、降低生产成本的关键，正在重塑半导体行业的市场竞争格局。 市场规模及发展 随着半导体行业的持续增长，对检测设备的需求也稳步上升。据统计，2021 年全球半导体量测与检测设备市场规模约为 73 亿美元，预计 2031 年将增长至 133 亿美元，年复合增长率约 6.2%。...
LTP 系列激光位移传感器全国产化之路 —— 从技术依赖到自主可控的心路历程 2026 - 04 - 12 作为一名深耕精密传感行业十余年的从业者，我全程参与了泓川科技 LTP 系列高速高精度激光三角位移传感器的全国产化攻坚。这段从 “全盘进口” 到 “100% 自主可控” 的历程，不仅是一款产品的突围，更是中国高端工业传感器打破封锁、实现自立自强的真实缩影。当前，中国已是全球最大的制造业基地与工业传感器消费市场，智能制造、半导体、锂电、汽车电子等领域对纳米级位移测量的需求呈爆发式增长。而激光三角位移传感器作为精密测控的 “核心标尺”，长期被欧美日品牌垄断 —— 高端型号依赖进口核心器件，不仅采购成本高出 30%-50%，交期动辄 3-6 个月，更面临供应链断供、技术卡脖子的致命风险。在国产替代成为国家战略、产业链安全重于一切的今天，高端传感器的全国产化，早已不是选择题，而是关乎制造业根基的必答题。LTP 系列的国产化之路，正是在这样的时代背景下，一群中国传感人用坚守与突破，写下的硬核答卷。一、初心与觉醒：从 “拿来主义” 到 “必须自主” 的心路转折回望 LTP 系列的起点，我们和国内绝大多数同行一样，深陷核心部件全面依赖进口的困境。早年做激光位移传感器，我们奉行 “集成路线”：激光器选日本某品牌的 655nm 半导体激光管，光学镜头采购德国高精度玻璃透镜，信号处理芯片用美国 TI 的高精度 ADC，就连光电探测器、滤波片也全部依赖进口。这套方案成熟稳定，但代价沉重：核心部件被供应商卡...
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