服务热线: 0510-88155119
13301510675@163.com
Language
项目案例 Case
Case 激光测振

基于激光测振仪的压电陶瓷高频振动特性非接触测量技术案例 ——以超声波焊接换能器性能优化为例

日期: 2025-03-03
浏览次数: 32

1. 背景与测试需求

压电陶瓷是超声波焊接设备的核心驱动元件,其振动特性(谐振频率、振幅一致性、动态响应速度等)直接决定焊接质量。某厂商开发新型超声波焊接换能器时,需对直径8mm的PZT-4压电陶瓷片进行以下测试:

  • 谐振频率点:在20kHz120kHz范围内精确标定;

  • 振幅稳定性:10V驱动电压下,位移峰峰值波动需5%;

  • 动态响应:阶跃信号激励下的上升时间与过冲量。

基于激光测振仪的压电陶瓷高频振动特性非接触测量技术案例 ——以超声波焊接换能器性能优化为例

技术难点

  • 高频振动(120kHz)需MHz级采样率;

  • 微米级振幅需纳米级分辨率;

  • 传统接触式传感器(如应变片)引入附加质量,导致谐振频率偏移高达3%5%。




2. 非接触测量方案设计

2.1 设备选型与配置

  • 核心设备:泓川科技微型激光测振仪(型号MV-HW-TR-M)

    • 高频能力:5MHz采样率,覆盖120kHz振动信号的40倍谐波;

    • 超低噪声:位移噪声密度0.3pm/√Hz,确保微振动信号信噪比>60dB;

    • 大动态范围:最大速度20m/s,适配瞬态冲击测试。

  • 光学组件

    • 镜头:TR-LENS-F2848可调焦镜头(工作距离58cm,光斑直径0.5mm),实现微小陶瓷片的精准定位;

    • 激光安全:Class I安全等级,避免对操作人员造成伤害。

  • 同步方案:以太网触发信号与驱动电源同步,消除时序抖动(同步精度1μs)。

基于激光测振仪的压电陶瓷高频振动特性非接触测量技术案例 ——以超声波焊接换能器性能优化为例

2.2 实验系统搭建

  1. 被测件固定:压电陶瓷片粘接于质量块(模拟实际负载),置于STAND-1花岗岩测振台(隔振环境);

  2. 光路对准:通过655nm红光指示调整激光光斑至陶瓷中心,利用显微镜辅助确保光斑覆盖区域无缺陷;

  3. 信号链路

    • 激光测振仪数字输出(以太网)接入上位机,实时显示时域波形与频谱;

    • 模拟输出(SMA)连接示波器,监测瞬态响应;

    • 驱动信号发生器输出同步触发信号至测振仪。




3. 测试过程与数据分析

3.1 谐振频率扫描测试

  • 方法:在20120kHz范围内以1kHz步进施加10V正弦波,记录各频点位移峰峰值。

  • 结果

    • 主谐振峰:67.5kHz(位移4.2μm),与理论值偏差0.3%(图1);

    • 寄生谐振:112kHz处出现微弱峰值(位移0.8μm),需通过结构优化抑制。

3.2 振幅稳定性测试

  • 方法:67.5kHz下连续驱动1小时,每5秒记录位移峰峰值。

  • 结果

    • 位移波动范围4.184.25μm(标准差0.02μm),稳定性达99.5%;

    • 温度漂移补偿算法使静态位移误差0.1nm(图2)。

3.3 动态响应测试

  • 方法:施加0→10V阶跃电压,测量上升时间与过冲量。

  • 结果

    • 上升时间(10%90%):82μs,满足设计要求;

    • 过冲量:2%,表明压电陶瓷阻尼特性优良(图3)。




4. 非接触测量的核心优势

对比项

激光测振仪(泓川科技)

接触式传感器

附加质量影响

零负载,真实反映谐振特性

质量负载导致频率偏移

高频响应

5MHz采样率,无机械迟滞

受限于传感器固有频率

分辨率

0.01nm(亚纳米级)

典型1nm(受应变极限限制)

环境适应性

抗油污、粉尘(IP64)

需洁净环境(易受污染)

安装复杂度

无需物理接触,快速对准

需粘接或夹持,耗时易损




5. 工程价值与结论

通过激光测振仪的非接触测量,该厂商实现:

  1. 精准标定:谐振频率误差从传统方法的±3%降至±0.3%,减少换能器匹配调试时间50%;

  2. 缺陷诊断:发现112kHz寄生谐振,通过修改电极图案将其幅值降低80%;

  3. 工艺优化:基于动态响应数据调整驱动电路阻尼,过冲量从5%降至2%。

结论
激光测振技术凭借无干扰、高精度、宽频带的特性,已成为压电陶瓷器件研发与质量控制的核心工具。激光测振仪的微型化设计(110×50×25mm)与智能化接口(支持SDK二次开发),进一步推动了该技术在MEMS传感器、超声医疗设备等精密领域的普及。




图1:谐振频率扫描曲线(主峰67.5kHz)
图2:1小时振幅稳定性测试数据(波动0.5%)
图3:阶跃响应波形(上升时间82μs,过冲量2%)

注:测试数据来自实际案例,采用配套分析软件PhotonAnalyzer生成。

通过此案例,泓川科技再次验证了激光测振技术在精密器件动态特性分析中的不可替代性,为压电材料与器件的性能突破提供了坚实的技术支撑。

 


Case / 相关推荐
2025 - 03 - 03
点击次数: 32
1. 背景与测试需求压电陶瓷是超声波焊接设备的核心驱动元件,其振动特性(谐振频率、振幅一致性、动态响应速度等)直接决定焊接质量。某厂商开发新型超声波焊接换能器时,需对直径8mm的PZT-4压电陶瓷片进行以下测试:谐振频率点:在20kHz120kHz范围内精确标定;振幅稳定性:10V驱动电压下,位移峰峰值波动需5%;动态响应:阶跃信号激励下的上升时间与过冲量。技术难点:高频振动(120kHz)需MH...
2024 - 12 - 17
点击次数: 39
摘要:后坐位移是火炮设计中的一个重要参数,它关系到火炮射击过程中的稳定性、精度以及整体性能。为了准确测量火炮的后坐位移,本文介绍了一种采用激光测振仪进行测量的新方法。该方法基于多普勒效应和激光外差干涉原理,通过测量火炮后坐过程中产生的多普勒频移来计算位移量。实验结果表明,该方法具有较高的实用性和准确性,为火炮的设计和优化提供了有力的支持。关键词:火炮;后坐位移;激光测振仪;多普勒效应;激光外差干涉...
2024 - 12 - 11
点击次数: 15
在当今科技日新月异的时代,能量收集系统作为实现自持续运行的关键技术,正日益受到广泛关注。这些系统通过捕捉环境中的各种能量形式,如机械振动、热能等,并将其转化为电能,为微型设备提供源源不断的动力。其中,激光测振仪作为一种高精度的测量工具,在能量收集系统的研发与优化中发挥着举足轻重的作用。为何激光测振仪如此重要?能量收集系统的性能评估与优化离不开对振动特性的精确测量。激光测振仪以其非接触、高精度、实时...
2024 - 12 - 11
点击次数: 25
激光测量振动传感器作为一种先进的测试技术,正逐渐成为评估超声波换能器性能的关键工具。超声波换能器,作为能量转换的核心部件,其振动特性的精确测量对于确保设备的高效运行至关重要。通过激光测量技术,我们可以非接触、高精度地捕捉到换能器的振动数据,为产品优化和质量控制提供有力支持。超声波换能器在医疗、工业检测、材料科学等领域有着广泛的应用,其性能的稳定性和可靠性直接关系到整个系统的效能。相较于传统的测量手...
2024 - 12 - 04
点击次数: 33
摘要:本文深入探讨了3D扫描激光测振仪在金属超声疲劳试验中的高精度应用,通过详细的数据分析、算法公式以及测量步骤的阐述,展示了其在非接触式应力应变测试中的独特优势。结合德国凯泽斯劳滕大学材料科学与工程学院的实际研究案例,本文揭示了3D扫描激光测振仪在金属疲劳特性研究中的重要作用,为高性能材料的可靠性评估提供了有力的技术支持。一、引言随着现代动力系统的不断发展,对高性能材料的疲劳特性研究提出了更高的...
2024 - 11 - 27
点击次数: 21
引言在水下环境中进行振动测试,对于理解水下结构物的动态行为至关重要。例如,超声医疗换能器、海洋勘探设备以及潜艇结构等,都需要在水下进行精确的振动测试。本文将以一个简单的金属梁为测试样品,利用三维激光测振仪PSV-500-3D,详细阐述如何在水下进行振动测试,并通过数据分析揭示物体在水中的振动特性变化。实验搭建测试仪器与配置泓川科技提供了两种扫描式激光测振仪,分别适用于不同测量场合:红外式扫描头:激...
About Us
关于泓川科技
专业从事激光位移传感器,激光焊缝跟踪系统研发及销售的科技公司
中国 · 无锡 · 总部地址:无锡新吴区天山路6号
销售热线:0510-88155119 
图文传真:0510-88152650
Working Time
我们的工作时间
周一至周五:8:00-18:00
周六至周日:9:00-15:00
Shown 企业秀 More
  • 1
    2023 - 03 - 20
    介绍工业光电传感器是现代制造业中最常用的检测设备之一,广泛应用于自动化生产线、机械加工、装配、物流搬运等行业。随着国民经济的不断发展,中国的工业光电传感器制造业也不断发展壮大,成为制造业的一支重要力量。本文旨在对中国产的工业光电传感器现状进行描述。发展历史20世纪80年代初期,我国的工业自动化程度比较低,大部分生产线仍采用人力操作,制造业存在高人力成本、低效率、品质难以保证等问题。为了提高制造业的效率和品质,中国开始引入外国的工业自动化设备,其中就包括工业光电传感器。80年代中后期,国内开始试水制造工业光电传感器,并逐步发展壮大。90年代初期,随着国民经济的增长和工业自动化的加速推进,中国的工业光电传感器制造业进入快速发展期。如今,中国的工业光电传感器制造业已经处于全球领先地位,成为世界闻名的光电传感器生产基地之一。产业链分析商业模式中国的工业光电传感器制造业商业模式主要是以生产销售为主,较少采用研发生产销售一体化模式。生产企业主要供应给自动化设备制造商,然后这些自动化设备制造商销售给最终用户,最终用户则使用这些设备来自动化生产线。除此之外,还有一些企业将工业光电传感器产品应用到自己的设备制造中,以提高自己产品的品质和效率,然后再将自己的产品销售给最终用户。在商业模式上,中国的工业光电传感器制造业与欧美等发达国家还存在一定的差距。技术研发中国的工业光电传感器制造业在技术研发方面逐渐...
  • 2
    2025 - 01 - 22
    一、引言1.1 研究背景与目的在当今科技迅猛发展的时代,传感器作为获取信息的关键设备,在工业自动化、智能制造、航空航天、汽车制造等众多领域中发挥着不可或缺的重要作用。激光位移传感器凭借其高精度、非接触式测量、快速响应等显著优势,成为了现代精密测量领域的核心设备之一。近年来,随着国内制造业的转型升级以及对高精度测量需求的不断攀升,我国传感器市场呈现出蓬勃发展的态势。然而,长期以来,高端激光位移传感器市场大多被国外品牌所占据,这不仅限制了国内相关产业的自主发展,还在一定程度上影响了国家的产业安全。在此背景下,国产激光位移传感器的研发与推广显得尤为重要。本研究聚焦于国产激光位移传感器 HCM 系列,旨在深入剖析该系列产品的技术特点、性能优势、应用场景以及市场竞争力。通过对 HCM 系列产品的全面研究,期望能够为相关行业的企业提供有价值的参考依据,助力其在设备选型、技术升级等方面做出更为明智的决策。同时,本研究也希望能够为推动国产激光位移传感器行业的发展贡献一份力量,促进国内传感器产业的技术进步与创新,提升我国在高端传感器领域的自主研发能力和市场竞争力。1.2 研究方法与数据来源本研究综合运用了多种研究方法,以确保研究的全面性、准确性和可靠性。在研究过程中,首先进行了广泛的文献研究,收集并深入分析了国内外关于激光位移传感器的学术论文、行业报告、专利文献等资料,从而对激光位移传感器的发展历程...
  • 3
    2023 - 09 - 30
    国产LTP系列激光位移传感器具备一系列突出的特点,如光量自适应算法、高速高灵敏度的测量性能、高精度长距离非接触测量、高可靠性一体化传感器结构等。然而,在面对进口品牌如松下、基恩士、欧姆龙、米铱和奥泰斯等的竞争时,国产激光位移传感器仍面临着挑战。主体:国产LTP系列激光位移传感器的突出特点:1. 光量自适应算法:通过动态调整激光功率、曝光时间等参数,实现1000000:1的光量动态调整范围,适应不同被测表面的测量,包括胶水、PCB、碟片、陶瓷和金属等多种材料。2. 高速高灵敏度测量性能:借助像素宽度和数量提升的CMOS及高速驱动与低噪声信号读取技术,国产LTP系列激光位移传感器能够实现最高160kHz的测量速度和亚微米级的测量精度,满足压电陶瓷等物体的极端测量需求。3. 高精度长距离非接触测量:专门设计开发的高分辨物镜可最小化被测物体表面光斑变化对测量结果的影响,并降低光学畸变。可根据需要选择测量工作距离在30-2250mm之间,满足了高温、窗口限制等远距离测量的场景需求。4. 高可靠性一体化传感器结构:国产LTP系列激光位移传感器经过高低温、振动、冲击等测试,能够适应大多数工业应用场景。此外,常用的工业接口(如以太网、485、模拟量输出等)可直接从探头接出,便于集成。国产激光位移传感器面临的挑战:1. 进口品牌把持高端市场:目前国内高端的激光位移传感器几乎都被进口品牌如松下、基恩士...
  • 4
    2024 - 12 - 22
    在旋转机械的运行过程中,振动情况直接关乎其性能与安全。激光测振动传感器凭借其独特优势,成为该领域不可或缺的检测利器。它采用非接触式测量,有效避免了对旋转机械的物理干扰,确保测量的精准性。其高精度的特性,能够捕捉到极其微小的振动变化,为故障诊断提供可靠依据。广泛的应用范围涵盖了电机、风机、轴承等各类旋转机械,在能源、化工、机械制造等众多行业都发挥着关键作用。通过实时监测振动数据,可及时发现潜在问题,预防设备故障,保障生产的连续性与稳定性,大大降低维修成本与停机风险。工作原理:激光与振动的深度互动激光测振动传感器基于激光多普勒效应工作。当激光照射到旋转机械的振动表面时,由于物体表面的振动,反射光的频率会发生多普勒频移。设激光源发射的激光频率为,物体表面振动速度为,激光波长为,则多普勒频移可由公式计算得出。通过精确测量多普勒频移,就能得到物体表面的振动速度,进而获取振动信息。与传统测量原理相比,激光多普勒测振具有显著优势。传统的接触式测量方法,如压电式传感器,需要与被测物体直接接触,这不仅会对旋转机械的运行产生一定干扰,还可能因安装问题影响测量精度,而且在高速旋转或微小振动测量时,接触式传感器的响应速度和精度受限。而激光测振传感器采用非接触式测量,避免了对旋转机械的物理干扰,可实现高精度、宽频带的测量,适用于各种复杂工况下的旋转机械振动测量。实验设置:精准测量的基石(一)微型激光多普勒测...
  • 5
    2025 - 01 - 14
    六、应用案例深度解析6.1 光伏压延玻璃厚度监测案例6.1.1 案例背景与需求在全球积极推动清洁能源发展的大背景下,光伏产业迎来了蓬勃发展的黄金时期。光伏压延玻璃作为光伏电池板的关键封装材料,其质量直接关系到光伏电池板的性能与使用寿命。在光伏压延玻璃的生产过程中,厚度的精确控制是确保产品质量的核心要素之一。光伏压延玻璃的厚度对光伏电池板的性能有着至关重要的影响。若玻璃厚度过薄,可能无法为电池片提供足够的机械保护,在运输、安装及使用过程中容易出现破裂等问题,降低电池板的可靠性;而厚度过厚,则会增加光伏电池板的重量,不仅提高了运输成本,还可能影响电池板的光电转换效率。此外,玻璃厚度的均匀性也不容忽视。不均匀的厚度会导致光线在玻璃内部传播时产生折射和散射差异,进而影响光伏电池板对光线的吸收和利用效率,降低整体发电性能。传统的光伏压延玻璃厚度检测方法,如人工抽样测量,不仅效率低下,无法满足大规模生产的实时监测需求,而且受人为因素影响较大,测量精度难以保证。在这种情况下,迫切需要一种高精度、高效率的测量技术,以实现对光伏压延玻璃厚度的实时、精确监测,确保产品质量的稳定性和一致性。 6.1.2 传感器选型与安装在本案例中,经过对多种测量技术的综合评估与测试,最终选用了一款具有卓越性能的光谱共焦传感器。该传感器具备高精度测量能力,能够满足光伏压延玻璃对厚度测量精度的严苛要求;同时,其具...
  • 6
    2025 - 02 - 09
    摘要为提高激光位移传感器在机测量工件特征的精度,本文针对其关键误差源展开研究并提出补偿策略。实验表明,激光位移传感器的测量误差主要由传感器倾斜误差与数控机床几何误差构成。通过设计倾斜误差实验,利用Legendre多项式建立误差模型,补偿后倾斜误差被控制在±0.025 mm以内;针对机床几何误差,提出基于球杆仪倾斜安装的解耦方法,结合参数化建模对X/Y轴误差进行辨识与补偿。实验验证表明,补偿后工件线性尺寸测量误差小于0.05 mm,角度误差小于0.08°,显著提升了在机测量的精度与可靠性。研究结果为高精度在机测量系统的误差补偿提供了理论依据与实用方法。关键词:工件特征;在机测量;激光位移传感器;误差建模;Legendre多项式1. 引言在机测量技术通过集成测量与加工过程,避免了传统离线测量的重复装夹与搬运误差,成为精密制造领域的关键技术之一。非接触式激光位移传感器凭借其高精度、高采样率及非损伤性等优势,被广泛应用于复杂曲面、微结构等工件的在机测量中。然而,实际测量中,传感器倾斜误差与机床几何误差会显著影响测量结果。现有研究多聚焦单一误差源,缺乏对多误差耦合影响的系统性分析。本文结合理论建模与实验验证,提出一种综合误差补偿方法,为提升在机测量精度提供新的解决方案。2. 误差源分析与建模2.1 激光位移传感器倾斜误差当激光束方向与被测表面法线存在夹角时,倾斜误差会导致...
  • 7
    2023 - 09 - 11
    在真空环境下应用光谱共焦位移传感器的可行性一直是一个备受关注的问题。真空环境的特殊性决定了对传感器的要求与常规环境有所不同。本篇文章将围绕真空环境下光谱共焦位移传感器的应用可行性展开讨论,并进一步深入探讨传感器在不同真空环境下的要求和变化。首先,真空环境下的应用对传感器的热产生要求较高。由于真空环境的热传导性能较差,传感器不能产生过多的热量,以避免影响传感器的正常工作和对样品的测量。光谱共焦位移传感器由于采用了被动元件,不会产生热量,因此非常适合在真空环境中应用。其次,在真空环境下使用传感器时,配件的耐真空能力也是一个重要的考虑因素。传感器配件如胶水、光纤、线缆等都必须能够耐受真空环境的特殊条件,例如低压和缺氧。为此,无锡泓川科技提供了专门用于真空环境的配件,以确保传感器的正常运行和稳定性。这些配件经过特殊处理,具有耐真空的特性,可以在真空环境中长时间使用。此外,从高真空(HV)环境到超高真空(UHV)环境,传感器对环境的要求也会发生变化。在HV环境下,传感器必须具备抗气压、抗水汽和抗粒子沉积等特性。而在UHV环境中,由于气氛更为稀薄,传感器还需要具备更高的抗气压和更低的气体释放性能。因此,传感器在HV到UHV环境的过渡中,需要经过更严格的测试和优化,以保证其在不同真空级别下的稳定性和可靠性。综上所述,真空环境下应用光谱共焦位移传感器具有可行性。传感器需要满足不产生热量的要求,并配...
  • 8
    2025 - 03 - 04
    在工业自动化领域,激光位移传感器是精密测量的核心器件,而进口品牌长期占据市场主导地位。然而,国产传感器技术近年来飞速发展,无锡泓川科技推出的 LTP系列激光位移传感器,凭借不输国际品牌基恩士LK-G系列的性能表现,以及仅为其一半的成本优势,为国产替代提供了极具竞争力的选择。本文将从核心技术、性能参数、应用场景及综合成本四大维度,对两者进行深度对比分析。 一、核心技术对比:自主创新突破瓶颈技术维度泓川LTP系列基恩士LK-G系列光学设计投受光分离型设计,支持同轴测量与镜面材料检测Li-CCD接收技术,优化像素边缘误差抗干扰能力蓝宝石防护镜+特殊滤波,抗强光(20000Lux)ND滤镜选件,适应镜面/高反光环境光斑控制宽光斑/聚焦光斑可选,适配粗糙表面与微小目标小光斑(最小20μm)与宽光斑(圆柱镜头扩展)算法优化半透明材料漫反射算法,消除内部散射干扰RPD/MRC算法,处理多重反射与透明材料分层测量光源定制405nm蓝光定制,适用于有机材料与红热金属标准655nm红光,可选ND滤镜适配高反射场景    技术亮点: LTP系列通过投受光分离设计实现与执行器(如工业相机、点胶针头)的同轴集成,解决了传统传感器空间干涉问题;其蓝光定制技术针对基恩士红光方案的局限性,在透明/半透明材料(如薄膜、玻璃)及高温金属表面测量中表现更优。二、性能参数对标:...
Message 最新动态
泓川科技LTC2600与基恩士CL-P015光谱共焦传感器全方位对比及国产替代 2025 - 03 - 22 一、核心性能参数对比:精度与场景适配性参数泓川科技LTC2600(标准版)泓川LTC2600H(定制版)基恩士CL-P015(标准版)参考距离15 mm15 mm15 mm测量范围±1.3 mm±1.3 mm±1.3 mm光斑直径9/18/144 μm(多模式)支持定制(最小φ5 μm)ø25 μm(单点式)重复精度50 nm50 nm100 nm线性误差±0.49 μm(标准模式)分辨率0.03 μm0.03 μm0.25 μm(理论值)防护等级IP40IP67(定制)IP67耐温范围0°C ~ +50°C-20°C ~ +200°C(定制)0°C ~ +50°C真空支持不支持支持(10^-3 Pa,定制)支持(10^-6 Pa,标准版)重量228 g250 g(高温版)180 g性能深度解析精度碾压:LTC2600的重复精度(50 nm)显著优于CL-P015(100 nm),线性误差(光斑灵活性:LTC2600支持多光斑模式(最小φ5 μm定制),可兼顾微小目标检测与粗糙面稳定性;CL-P015仅提供单点式光斑(ø25 μm),适用场景受限。环境适应性:CL-P015标准版支持超高真空(10^-6 Pa),但C2600通过...
求购激光位移传感器:量程200mm/500mm、采样48kHz、±0.05%线性度?-泓川... 2025 - 03 - 14 泓川科技LTP系列激光位移传感器全面匹配您的技术需求尊敬的客户: 感谢您对泓川科技产品的关注!针对您提出的高精度激光位移传感器需求,我司LTP系列产品凭借卓越性能与灵活定制能力,可完全满足您的技术要求,具体对应如下:一、核心参数精准匹配需求项LTP400(200mm)LTP450(500mm)量程200mm(±100mm)500mm(±250mm)线性度±0.03%F.S.(优于要求)±0.05%F.S.(达标)重复精度(静态)±0.03%F.S.±0.05%F.S.采样频率50kHz全量程(达标)50kHz全量程(达标)输出信号-10V~10V(选配模块)-10V~10V(选配模块)技术优势说明:超高采样频率:LTP400/LTP450全量程下支持50kHz采样(48kHz),且可缩短量程至20%时提升至160kHz,满足高速动态测量需求(如振动检测、高速产线)。响应时间最低6.25μs(通过参数表*6可选配置),确保实时数据捕获能力。纳米级标定精度:基于纳米级激光干涉仪标定技术(参数表*3),线性度与重复性指标通过严格验证,确保长期稳定性。多输出模式兼容:支持**-10V~10V模拟输出**(需选配模块)、4~20mA电流输出、RS485及TCP/IP通讯,适配各类工业控制系统。48kHz、±0.05%线性度...
案例应用 | 基于光谱共焦技术的DPC陶瓷基板金属层测厚方案 2025 - 03 - 06 背景与挑战随着电子封装技术的快速发展,直接镀铜陶瓷基板(DPC)因具备优异的导热性、机械强度及耐高温性能,被广泛应用于大功率LED、IGBT模块等领域。然而,其表面金属镀层的厚度均匀性直接影响器件的散热效率与可靠性。某客户需对一批DPC基板进行全检,要求**在正反面各选取10个金属块(含2个重复基准点)**进行高精度厚度测量,并同步获取表面轮廓与中心区高度数据,以满足严格的工艺质量控制标准。解决方案针对客户需求,我们采用LTC1200系列光谱共焦传感器(配套高精度运动平台与测控软件),设计了一套非接触式三维测厚方案:设备选型量程:±600μm(覆盖金属层典型厚度范围)重复精度:0.03μm(静态,确保基准点数据一致性)线性误差:<±0.3μm(满足亚微米级公差要求)采样频率:10kHz(高速扫描提升检测效率)选用LTC1200B型号传感器(光斑直径约19μm),兼顾测量精度与金属表面反射特性需求,其技术参数如下:搭配亚微米级定位平台,确保扫描路径精确控制。基准点设定以陶瓷基板裸露区域作为基准面,在正反面各设置2个重复测量点,通过传感器实时比对基准高度数据,消除基板翘曲或装夹误差对厚度计算的影响。实施流程数据采集:沿预设路径扫描金属块,同步记录轮廓点云与中心区高度(软件自动拟合最高点作为厚度参考值)。厚度计算:基于公式:\text{金属层厚度} = \text{金...
Copyright ©2005 - 2013 无锡泓川科技有限公司

1

犀牛云提供企业云服务
Our Link
X
3

SKYPE 设置

4

阿里旺旺设置

等待加载动态数据...

等待加载动态数据...

5

电话号码管理

  • 0510-88155119
6

二维码管理

等待加载动态数据...

等待加载动态数据...

展开