参考距离:100mm
测量范围:±25mm
光斑直径:Φ15μm
测量角度:±9.5°
静态噪声*2:850nm
线性误差:<±5μm
横向分辨率:12.5μm
外径*长度:φ60*217.3mm
重量:1180g
最小可测厚度:5% of F.S.
温度特征:<0.03% of F.S./℃
防护等级:IP40
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