光谱共焦传感器 - 同轴光位移传感器 - 激光位移传感器

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光谱共焦传感器在激光隐切技术（激光隐形切割）晶圆切割中发挥了哪些作用？

2023 - 09 - 25

由于半导体生产工艺的复杂性和精密性，对晶圆切割的技术要求极高，传统的机械切割方式已经无法满足现代电子行业的需求。在这种情况下，光谱共焦位移传感器配合激光隐切技术（激光隐形切割）在晶圆切割中发挥了重要作用。以下将详细介绍这种新型高效切割技术的应用案例及其优势。原理：利用小功率的激光被光谱共焦位移传感器设定的预定路径所导，聚焦在直径只有100多纳米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后根据这个能量将晶圆切割开。光谱共焦位移传感器在切割过程中实时检测切口深度和位置，确保切口的深广和位置的精确性。激光隐切与光谱共焦位移传感器结合的应用案例：以某种先进的半导体制程为例，晶圆经过深刻蚀、清洗、扩散等步骤后，需要进行精确切割。在这个过程中，首先，工程师根据需要的切割图案在软件上设定好切割路径，然后切割机通过光谱共焦位移传感器引导激光按照预定的路径且此过程工程师可以实时观察和测量切口深度和位置。优点：这种技术最大的优势就是它能够实现超微细切割，避免了大功率激光对芯片可能会带来的影响。另外，因为切割的深度和位置可以实时调控，这法也非常具有灵活性。同时，由于使用光谱共焦位移传感器精确控制切割的深度和位置，所以切割出来的晶圆表面平整，质量更好。总的来看，光谱共焦位移传感器配合激光隐切在晶圆切割中的应用，不仅提升了生产效率，减少了废品率，而且大幅度提升了产品质量，对于当前和未来的半导体行业都将是一个革新的技...
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非接触式激光传感器在生产线上的应用有哪些优势？

2024 - 03 - 05

非接触式激光位移传感器在生产线上的应用具有多方面的优势，下面将从精度、速度、可靠性、灵活性和安全性等方面进行逐一分析，并通过具体的应用场景来说明其应用价值。同时，还会与传统的接触式传感器进行比较，以突显非接触式激光位移传感器的独特优势。精度：非接触式激光位移传感器采用激光三角测量法，具有极高的测量精度。例如，在半导体制造过程中，需要精确控制薄膜的厚度，非接触式激光位移传感器可以实现微米级的测量精度，从而确保产品质量。相比之下，传统接触式传感器可能会因为接触力度的不同而影响测量精度。速度：非接触式激光位移传感器具有快速响应的特点，可以在生产线上实现高速测量。例如，在包装机械中，需要实时监测包装材料的位置和速度，非接触式激光位移传感器可以迅速捕捉到这些变化，从而确保包装过程的顺利进行。而传统接触式传感器可能会因为接触摩擦等因素而影响测量速度。可靠性：非接触式激光位移传感器无需与目标物体直接接触，因此可以避免因摩擦、磨损等因素导致的传感器损坏。此外，非接触式传感器还具有较好的抗干扰能力，可以在恶劣的生产环境中稳定工作。相比之下，传统接触式传感器更容易受到环境因素的影响而出现故障。灵活性：非接触式激光位移传感器可以适应不同的测量需求，通过调整激光发射角度、接收透镜焦距等参数，可以实现不同距离、不同角度的测量。此外，非接触式传感器还可以与计算机、PLC等设备进行连接，实现自动化控制和数据处理...
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泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 国产激光位移传感器替代进口基恩士 IL-S025 的技术可行性研究

2025 - 03 - 27

1. 引言在工业自动化领域，激光位移传感器是实现高精度非接触测量的核心器件。基恩士 IL-S025 作为市场主流产品，以其 1μm 重复精度和稳定性能著称。然而，随着国产传感器技术的突破，泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 型号凭借更高的性能参数和经济性，为用户提供了新的选择。本文将从技术参数、性能表现、应用场景等方面，深入对比分析两者的替代可行性。 2. 核心技术参数对比参数基恩士 IL-S025泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W对比结论重复精度1μm0.25μm（LTM3-030）/ 0.25μm（LTM3-030W）LTM3 系列更优（4 倍精度提升）线性误差±0.075% F.S.（±5mm 范围）LTM3-030W 更优（接近 IL-S025）测量范围±5mm（参考距离 25mm）±5mm（参考距离 30mm）等效采样频率3kHz（采样周期 0.33ms）10kHzLTM3 系列更优（3倍速度提升）光斑尺寸25×1200μm（线性光斑）Φ35μm（M3-030）/ Φ35×400μm（M3-030W）LTM3 系列光斑更小（点光斑更聚焦）光源类型660nm 激光（Class 2）655nm 激光（Class 2）等效接口配置需外接放大器单元（支持 EtherNet/IP 等）...
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激光测量技术在（ADAS）驾驶辅助系统的应用案例（三）

2025 - 01 - 16

七、声纳传感器应用案例深析7.1 外壳相关检测7.1.1 外壳的外观检测在声纳传感器的实际应用中，对外壳的外观检测是确保产品质量的关键步骤。在进行外壳外观检测时，声纳传感器并非仅依赖传统的图像明暗判断方式，而是借助先进的技术，利用 3D 形状的图像来实现精准的形状变化识别。其工作过程如下：传感器发射特定频率和模式的声波，这些声波以特定的角度和范围向外传播，当遇到外壳表面时，会根据外壳表面的形状、材质以及纹理等特征产生不同的反射模式。反射回来的声波被传感器的接收装置高效捕捉，然后转化为电信号。系统对这些电信号进行复杂的处理和分析，通过独特的算法将其转换为详细的 3D 形状数据。在这个过程中，系统会对 3D 形状数据进行精确的分析和比对，与预先设定的标准外壳模型进行细致的匹配。一旦发现外壳的形状与标准模型存在差异，系统会立即识别出这些变化，从而确定外壳是否存在缺陷或不符合规格的情况。这种利用 3D 形状图像进行外观检测的方式具有诸多显著优势。它极大地提高了检测的准确性和可靠性。传统的基于图像明暗判断的方法，容易受到环境光、外壳表面光泽度以及颜色等多种因素的干扰，导致检测结果出现偏差。而 3D 形状图像检测技术能够直接获取外壳的真实形状信息，不受这些外部因素的影响，从而能够更准确地发现外壳表面的细微瑕疵，如划痕、凹陷、凸起等，以及形状上的偏差。该技术具有较强的稳定性。无论环境光如何变化，...
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泓川科技 LTM3 系列与米铱 ILD1750 系列激光位移传感器深度对比：高性价比之选

2025 - 05 - 26

一、引言在工业自动化领域，激光位移传感器作为精密测量的核心部件，其性能与成本直接影响设备的竞争力。本文聚焦泓川科技 LTM3 系列与米铱 ILD1750 系列，从技术参数、应用场景及成本等维度展开深度对比，揭示 LTM3 系列如何以卓越性能和显著成本优势成为更具性价比的选择。二、核心参数对比指标泓川科技 LTM3 系列米铱 ILD1750 系列测量频率最高 10kHz，适用于高速动态测量场景最高 7.5kHz，满足常规工业速度需求重复性精度0.25μm 起（如 LTM3 - 030），达到亚微米级精度0.1μm 起，精度表现优异线性误差低至 0.06% FSO 起，基于百分比的误差控制防护等级IP67，可抵御粉尘、液体喷射及短时浸水IP65，防护性能良好但略逊于 LTM3外形尺寸605020.4mm，体积小巧，适配狭窄空间未明确标注，但工业通用设计体积较大重量约 150g，轻便易安装未明确标注，推测重于 LTM3 系列输出接口以太网、485 串口、模拟信号（±10V/4 - 20mA），支持工业网络集成模拟量（U/I）、数字量（RS422），传统工业接口配置光源655nm/660nm 红光激光，稳定可靠670nm 红光激光，测量光斑控制优秀工作温度0 - 50°C，适应多数工业环境0 - 50°C，环境适应性相当三、LTM3 系列核心优势解析（一）性能...
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激光位移传感器如何对薄膜进行测厚？

2023 - 03 - 09

激光位移传感器被广泛应用于各种领域中。其中一个很有用的应用是测量薄膜厚度。这种传感器可以在离表面很近的距离下进行高精度测量，因此非常适合这种应用。本文将介绍激光位移传感器如何用于测量薄膜厚度，包括测量方法、测量原理和市场应用。一、测量方法测量薄膜厚度的基本思路是利用激光位移传感器测量薄膜前后表面的距离差，然后通过几何公式计算出薄膜厚度。在实际操作中，测量方法大致可分为以下几种：1. 手持式测量手持式测量通常用于快速的现场检测。用户只需要将激光位移传感器靠近待测表面，然后通过读取显示屏上的数值判断薄膜厚度是否符合要求。这种方法不需要复杂的设备和步骤，非常易于使用。但是由于人手的震动和误差等因素，手持式测量的精度相对较低，只适用于需求不是特别高的场合。2. 自动化在线测量自动化在线测量一般用于工业生产线上的质量控制。这种方法需要将激光位移传感器与自动化设备相连接，将测量数据传递给计算机进行分析。在这种情况下，测量过程可以完全自动化，精度也可以得到保证。但是相对于手持式测量来说，这种方法需要的设备和技术要求更高，成本也更高。3. 显微镜下测量显微镜下测量常用于对细小薄膜厚度的测量。在这种情况下，用户需要将激光位移传感器与显微镜相结合进行测量。由于显微镜的存在，可以大大增强测量精度。但是相对于其他两种方法，这种方法需要的设备更多，并且技巧要求也更高。二、测量原理激光位移传感器利用的是激光三...
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光学传感器：薄膜涂布生产工艺的革新驱动力（下）

2025 - 01 - 14

四、光学传感器应用对薄膜涂布生产的影响4.1 提升生产效率4.1.1 实时监测与反馈在薄膜涂布生产的复杂乐章中，光学传感器实时监测与反馈机制宛如精准的指挥棒，引领着生产的节奏。凭借其卓越的高速数据采集能力，光学传感器能够如同闪电般迅速捕捉涂布过程中的关键参数变化。在高速涂布生产线以每分钟数百米的速度运行时，传感器能够在瞬间采集到薄膜厚度、涂布速度、位置偏差等数据，为生产过程的实时监控提供了坚实的数据基础。这些采集到的数据如同及时的情报，被迅速传输至控制系统。控制系统则如同智慧的大脑，对这些数据进行深入分析。一旦发现参数偏离预设的理想范围，控制系统会立即发出指令，如同指挥官下达作战命令，对涂布设备的相关参数进行精准调整。当检测到薄膜厚度略微超出标准时，控制系统会迅速调整涂布头的压力，使涂布量精确减少，确保薄膜厚度回归正常范围。这种实时监测与反馈机制的存在，使得生产过程能够始终保持在最佳状态。它避免了因参数失控而导致的生产中断和产品质量问题，如同为生产线安装了一个智能的 “稳定器”。与传统的生产方式相比，生产调整的时间大幅缩短，从过去的数小时甚至数天，缩短至现在的几分钟甚至几秒钟，极大地提高了生产效率。4.1.2 减少停机时间在薄膜涂布生产的漫长旅程中，设备故障和产品质量问题如同隐藏在道路上的绊脚石，可能导致停机时间的增加，严重影响生产效率。而光学传感器的实时监测功能，就像一位警惕的卫...
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如何利用光谱共焦传感器来检测薄膜生产中的薄厚偏差？

2023 - 09 - 25

在高精度的生产工序中，薄膜偏差是一项极为重要的控制指标。由于微观材料结构的敏感性，稍有偏差就可能会导致产品的细微变形，从而引发性能下降、使用寿命缩短等一系列问题。因此，对薄膜偏差的精确检测与实时调控具有至关重要的意义。对于这样的需求，光谱共焦位移传感器便能发挥出它重要的作用。通过实现对薄膜厚度的非接触式实时监视，它可以有效地预防或及时地调整可能发生的偏差，提高生产过程中的精准度和稳定性。原理上，光谱共焦位移传感器利用光源通过物体后的干涉进行测量，借助高精度的光学系统和高灵敏的光电检测设备，最终得出偏差情况。另一方面，光谱共焦位移传感器具有小型化的优势。它采用集成设计，尺寸小巧，可以安装在设备内的有限空间中，且不会影响主机性能。这大大扩展了其使用场景，让即使是较为狭小的环境也能实现精确的监控。总结来说，光谱共焦位移传感器代表着未来高精密度生产领域的主流趋。其不仅具备高精度、快反应、难以受到环境干扰等优点，还由于其小型化、适用于狭窄环境等特性，使其逐渐被更多的高科技领域所接受和采纳。

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