量程:1500μm(F.S.)
检测范围:±750μm(以量程中心位置为基准)
测量中心距离:1.7mm(以量程中心计算)
静态重复精度:0.1μm(测试条件:标准镀银膜反射镜,1kHz 采样率,无平均,连续采集 10000 组数据的均方根偏差)
线性误差:<±0.75μm(采用纳米级激光干涉仪标定验证)
温度漂移:<0.03% F.S/°C
测量角度范围:±12°(标准平面反射镜,1kHz 采样率下倾斜测试)
工作温度:0°C~+50°C(不可结露、结冰),保存温度:-20°C~+70°C(可订制 200°C 高温版)
防护等级:IP40
材质:外壳为压铸铝
尺寸:外径 φ3.8mm× 长度 85mm
重量:23g(含跳线)
连接方式:FC/PC 接口光纤
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