无锡泓川科技 LT-R 系列反射膜厚仪基于光干涉原理,
采用高强度氘灯(190-400nm)与卤素灯(350-2500nm)组合光源,
光谱覆盖紫外可见光到近红外范围。
适配探头包括 LT-IVP-T10-UV-VIS(弥散光斑)、
LT-IRVP-TVF(聚焦光斑)等型号,不同探头参考距离、测量角度、
光斑直径等参数有所差异。其重复精度达 0.05nm,
准确度为 <±1nm 或 ±0.3%(取较大值),
采样频率最高 100Hz(视求解参数复杂度而定),
测厚范围约 20nm~50μm(折射率 1.5 时)。
具备抗干扰能力强、纳米级测量精度等特点,
支持自定膜结构测量、多层透明测厚、硬薄膜测量等,
可应用于液晶显示膜厚测量、喷涂膜厚测量、光伏硅片 Poly 层膜厚测量、
精密涂布膜层测厚等场景。测控软件为 WLIStudio,
提供二次开发包 WLI-SDK,工作温度 10-40℃,
相对湿度 20%-85% RH(无冷凝),电源电压 220V±20V 50Hz AC,
最大功率 50W。