纳米级精度激光位移传感器 | LTS-I 系列可测位移与厚度

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真空环境下应用光谱共焦位移传感器的可行性

2023 - 09 - 11

在真空环境下应用光谱共焦位移传感器的可行性一直是一个备受关注的问题。真空环境的特殊性决定了对传感器的要求与常规环境有所不同。本篇文章将围绕真空环境下光谱共焦位移传感器的应用可行性展开讨论，并进一步深入探讨传感器在不同真空环境下的要求和变化。首先，真空环境下的应用对传感器的热产生要求较高。由于真空环境的热传导性能较差，传感器不能产生过多的热量，以避免影响传感器的正常工作和对样品的测量。光谱共焦位移传感器由于采用了被动元件，不会产生热量，因此非常适合在真空环境中应用。其次，在真空环境下使用传感器时，配件的耐真空能力也是一个重要的考虑因素。传感器配件如胶水、光纤、线缆等都必须能够耐受真空环境的特殊条件，例如低压和缺氧。为此，无锡泓川科技提供了专门用于真空环境的配件，以确保传感器的正常运行和稳定性。这些配件经过特殊处理，具有耐真空的特性，可以在真空环境中长时间使用。此外，从高真空（HV）环境到超高真空（UHV）环境，传感器对环境的要求也会发生变化。在HV环境下，传感器必须具备抗气压、抗水汽和抗粒子沉积等特性。而在UHV环境中，由于气氛更为稀薄，传感器还需要具备更高的抗气压和更低的气体释放性能。因此，传感器在HV到UHV环境的过渡中，需要经过更严格的测试和优化，以保证其在不同真空级别下的稳定性和可靠性。综上所述，真空环境下应用光谱共焦位移传感器具有可行性。传感器需要满足不产生热量的要求，并配...
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国产激光位移传感器替代方案：泓川科技LTP系列与基恩士（kyence)LK-G系列深度对比

2025 - 03 - 04

在工业自动化领域，激光位移传感器是精密测量的核心器件，而进口品牌长期占据市场主导地位。然而，国产传感器技术近年来飞速发展，无锡泓川科技推出的 LTP系列激光位移传感器，凭借不输国际品牌基恩士LK-G系列的性能表现，以及仅为其一半的成本优势，为国产替代提供了极具竞争力的选择。本文将从核心技术、性能参数、应用场景及综合成本四大维度，对两者进行深度对比分析。一、核心技术对比：自主创新突破瓶颈技术维度泓川LTP系列基恩士LK-G系列光学设计投受光分离型设计，支持同轴测量与镜面材料检测Li-CCD接收技术，优化像素边缘误差抗干扰能力蓝宝石防护镜+特殊滤波，抗强光（20000Lux）ND滤镜选件，适应镜面/高反光环境光斑控制宽光斑/聚焦光斑可选，适配粗糙表面与微小目标小光斑（最小20μm）与宽光斑（圆柱镜头扩展）算法优化半透明材料漫反射算法，消除内部散射干扰RPD/MRC算法，处理多重反射与透明材料分层测量光源定制405nm蓝光定制，适用于有机材料与红热金属标准655nm红光，可选ND滤镜适配高反射场景技术亮点： LTP系列通过投受光分离设计实现与执行器（如工业相机、点胶针头）的同轴集成，解决了传统传感器空间干涉问题；其蓝光定制技术针对基恩士红光方案的局限性，在透明/半透明材料（如薄膜、玻璃）及高温金属表面测量中表现更优。二、性能参数对标：...
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详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

2023 - 09 - 16

大家好，今天给大家详细说明下目前我们市面上用的激光位移传感器内部构造及详细原理、应用、市场种类、及未来发展，我在网上搜索了很多资料，发现各大平台或者厂商提供的信息大多千篇一律或者式只言片语，要么是之说出大概原理，要买只讲出产品应用，对于真正想了解激光位移传感器三角回差原理的朋友们来说总是没有用办法说透，我今天花点时间整理了各大平台的大牛们的解释，再结合自己对产品这么多年来的认识，整理出以下这篇文章，希望能给想要了解这种原理的小伙伴一点帮助！好了废话不多说我们直接上干货首先我们要说明市面上的激光测量位移或者距离的原理有很多，比如最常用的激光三角原理，TOF时间飞行原理，光谱共焦原理和相位干涉原理，我们今天给大家详细介绍的是激光三角测量法和激光回波分析法，激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量，而激光回波分析法则用于远距离测量，下面分别介绍激光三角测量原理和激光回波分析原理。让我们给大家分享一个激光位移传感器原理图，一般激光位移传感器采用的基本原理是光学三角法：半导体激光器：半导体激光器①被镜片②聚焦到被测物体⑥。反射光被镜片③收集，投射到CMOS阵列④上；信号处理器⑤通过三角函数计算阵列④上的光点位置得到距物体的距离。一、激光位移传感器原理之激光三角测量法原理1．激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面，经物体反射的激光通过接收器镜头，被内部的CCD线性相机接收，根据...
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白光干涉测厚传感器在晶圆水膜厚度测量中的应用及操作步骤详解

2024 - 01 - 21

白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备，广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理，通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光（白光）投射到待测薄膜表面上，并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射，两个反射面之间的光程差会导致不同波长（颜色）的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱，可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度测量中具有以下优势：1. 测量范围广：能够测量几微米到1mm左右范围的厚度。2. 小光斑和高速测量：采用SLD（Superluminescent Diode）作为光源，具有小光斑和高速测量的特点，能够实现快速准确的测量。下面是使用白光干涉测厚仪测量晶圆上水膜厚度的详细步骤：1. 准备工作：确保待测晶圆样品表面清洁平整，无杂质和气泡。2. 参数设置：调整白光干测厚涉仪到合适的工作模式，并确定合适的测量参数和光学系统设置。根据具体要求选择光谱范围、采集速度等参数。3. 样品放置：将待测晶圆放置在白光干涉测厚仪的测量台上，并固定好位置，使其与光学系统保持稳定的接触。确保样品与测量台平行，并避免外界干扰因素。4. 启动测量：启动白光干涉测厚仪，开始测量水膜厚度。通过记录和分析返回光的光谱，可以得到晶圆上水膜的厚度信息。可以通过软件实时显示和记录数据。5. 连续监测：对于需要连续监测晶圆上水膜厚度变...
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泓川科技LTC2600与基恩士CL-P015光谱共焦传感器全方位对比及国产替代

2025 - 03 - 22

一、核心性能参数对比：精度与场景适配性参数泓川科技LTC2600（标准版）泓川LTC2600H（定制版）基恩士CL-P015（标准版）参考距离15 mm15 mm15 mm测量范围±1.3 mm±1.3 mm±1.3 mm光斑直径9/18/144 μm（多模式）支持定制（最小φ5 μm）ø25 μm（单点式）重复精度50 nm50 nm100 nm线性误差±0.49 μm（标准模式）分辨率0.03 μm0.03 μm0.25 μm（理论值）防护等级IP40IP67（定制）IP67耐温范围0°C ~ +50°C-20°C ~ +200°C（定制）0°C ~ +50°C真空支持不支持支持（10^-3 Pa，定制）支持（10^-6 Pa，标准版）重量228 g250 g（高温版）180 g性能深度解析精度碾压：LTC2600的重复精度（50 nm）显著优于CL-P015（100 nm），线性误差（光斑灵活性：LTC2600支持多光斑模式（最小φ5 μm定制），可兼顾微小目标检测与粗糙面稳定性；CL-P015仅提供单点式光斑（ø25 μm），适用场景受限。环境适应性：CL-P015标准版支持超高真空（10^-6 Pa），但C2600通过...
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激光测量技术在（ADAS）驾驶辅助系统的应用案例（一）

2025 - 01 - 16

一、引言1.1 研究背景与目的在汽车行业迈向智能化与自动化的进程中，先进驾驶辅助系统（ADAS）作为关键技术，正发挥着愈发重要的作用。ADAS 凭借多种传感器与智能算法，能够实时监测车辆周边环境，为驾驶员提供预警与辅助控制，极大地提升了驾驶的安全性与舒适性。本报告旨在深入剖析《ADAS 相关工具核心功能 & 技术》中所涉及的 ADAS 相关工具应用案例，通过详细描述各案例的具体应用场景、工作原理及达成的效果，深度挖掘这些工具在汽车制造及 ADAS 系统开发过程中的重要价值，为行业内相关人员提供具有实际参考意义的信息，助力推动 ADAS 技术的进一步发展与广泛应用。 1.2 研究方法与数据来源本报告通过对《ADAS 相关工具核心功能 & 技术》进行全面细致的整理与深入分析，从中系统地提取出各类 ADAS 相关工具的应用案例。在分析过程中，对每个案例的技术原理、应用场景以及所实现的功能进行了详细阐述，并结合实际情况进行了深入探讨。本文所引用的 ADAS 相关工具的应用案例及技术原理均来自《ADAS 相关工具核心功能 & 技术》文档，该文档为此次研究提供了丰富且详实的一手资料，确保了研究的准确性与可靠性。二、车载相机应用案例剖析2.1 底部填充胶涂抹高度测量2.1.1 案例描述在汽车电子制造中，车载相机的底部填充胶涂抹高度对于确保相机的...
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如何在仓储物流锂电烟草等行业实现自动化生产的安全防护？

2022 - 12 - 01

在烟草分级及仓储环节中有大量的自动化设备，比如高速往复运动的穿梭车堆垛机等，如何建立完善的安全预防措施，保障作业人员的人身安全是企业在思考的方向，我们在烟草工业内部系统里面已经积累了众多的成功案例，我们会通过机械安全控制以及电器这三个维度来帮助企业进行评估，具体的改造场景有，立库输送管道出入口防护百度极速可在经过现场评估后我们会给客户出具评估报告和推荐的安全整改。机械设备，例如马舵机，泄漏机缠绕机等在快消品行业是广泛存在的，特别是码作机器，经常需要操作人员频繁介入该区域应用的工业机器人运行速度快存在着较高的安全隐患，在转运站码垛技术入口，经常采用一套光幕和光电传感器来实现屏蔽功能，从而实现人物分离，在这个应用中，以物体在传中带上面时，车场光电传感器，从而激活，屏蔽功能，当你为触发屏蔽功能很简单，有些操作人员会拿纸箱或者其他东西遮挡这个光电传感器，从而很容易就操纵了这个屏蔽功能，存在着很大的安全隐患，针对这个问题，我们开发出创新高效的是入口防护替代方案，智能门控系统，无锡屏蔽传感器就和实现pp功能，这项专利技术是基于。专利技术是激光幕，使出入口防务变得更加高效...
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涂布行业目前主流的非接触式测厚方案一览

2023 - 09 - 11

非接触测量涂布厚度的行业报告摘要：本报告将介绍非接触测量涂布厚度的行业应用场景及解决方案。涂布厚度的准确测量在多个行业中至关重要，如带钢、薄膜、造纸、无纺布、金属箔材、玻璃和电池隔膜等行业。传统的测量方法存在一定的局限性，而非接触测量技术的应用可以提供更准确、高效的测量解决方案。本报告将重点介绍X射线透射法、红外吸收法和光学成像测量方法这三种主要的非接触测量解决方案，并分析其适用场景、原理和优势。引言涂布厚度是涂覆工艺中的一个重要参数，对于保证产品质量和性能具有重要意义。传统的测量方法，如接触式测量和传感器测量，存在一定局限性，如易受污染、操作复杂和不适用于特定行业。而非接触测量方法以其高精度、实时性和便捷性成为行业中的理想选择。行业应用场景涂布厚度的非接触测量方法适用于多个行业，包括但不限于以下领域：带钢：用于热镀锌、涂覆和镀铝等行业，对涂层和薄膜的厚度进行测量。薄膜：用于光学、电子、半导体等行业，对各种功能薄膜的厚度进行测量。造纸：用于测量纸张的涂布、涂胶和覆膜等工艺中的厚度。无纺布：用于纺织和过滤行业，对无纺布的厚度进行测量。金属箔材：用于食品包装、电子器件等行业，对箔材的厚度进行测量。玻璃：用于建筑和汽车行业，对玻璃的涂层厚度进行测量。电池隔膜：用于电池制造行业，对隔膜的厚度进行测量。解决方案一：X射线透射法X射线透射法是一种常用的非接触涂布厚度测量方法，其测量原理基于射线...

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光谱共焦位移传感器

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蓝光光源激光位移传感器：优势、原理与特殊场景解决方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工业精密测量中，传统红光激光位移传感器常受高反射、半透明、高温红热等特殊场景限制，而蓝光光源（405nm 波长）凭借独特物理特性实现突破。以下通过 “一问一答” 形式，详解蓝光传感器的优势、原理构造，并结合泓川科技 LTP 系列定制方案，看其如何解决特殊环境测量难题。1. 蓝光光源激光位移传感器相比传统红光，核心优势是什么？蓝光传感器的核心优势源于 405nm 波长的物理特性，相比传统 655nm 左右的红光，主要体现在三方面：更高横向分辨率：根据瑞利判据，光学分辨率与波长成反比。蓝光波长仅为红光的 62%（405nm/655nm≈0.62），相同光学系统下横向分辨率可提升约 38%，能形成更小光斑（如泓川 LTP025 蓝光版光斑最小达 Φ18μm），适配芯片针脚、晶圆等微米级结构测量。更强信号稳定性：蓝光单光子能量达 3.06eV，远高于红光的 2.05eV。在低反射率材料（如橡胶、有机涂层）表面，能激发出更强散射信号；同时穿透性更低，仅在材料表层作用，避免内部折射干扰，适合表面精准测量。更优抗干扰能力：蓝光波段与红热辐射（500nm 以上）、户外强光（可见光为主）重叠度低，搭配专用滤光片后，可有效隔绝高温物体自发光、阳光直射等干扰，这是红光难以实现的。2. 蓝光激光位移传感器的原理构造是怎样的？为何能实现高精度测量？蓝光传感器的高精度的核心是 “光学设计 + 信号处理 + ...

泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览 2025 - 09 - 05 高精度测量传感器全系列：赋能精密制造，适配多元检测需求聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点，我们推出全系列高性能测量传感器，覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景，以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心，为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍：1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器：半导体材料测厚专属核心用途：专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料设计，精准实现晶圆等器件的厚度测量。性能优点：精度卓越：±0.1μm 线性精度 + 2nm 重复精度，确保测量数据稳定可靠；量程适配：覆盖 10μm2mm 测厚范围，满足多数半导体材料检测需求；高效高速：40kHz 采样速度，快速捕捉厚度数据，适配在线检测节奏；灵活适配：宽范围工作距离设计，可灵活匹配不同规格的检测设备与场景。2. 分体式对焦传感器：半导体 / 面板缺陷检测的 “高速对焦助手”核心用途：针对半导体、面板领域的高精度缺陷检测场景，提供高速实时对焦支持，尤其适配显微对焦类检测设备。性能优点：对焦速度快：50kHz 高速对焦，同步匹配缺陷检测的实时性需求；对焦精度高：0.5μm 对焦精度，保障缺陷成像清晰、检测无偏差；设计灵活：分体式结构，可根据检测设备的安装空间与布局灵活调整，降低适配难度。3. LT-R 反射膜厚仪：极薄膜厚检测的 “精密管家”核心用途：专注于极薄膜...

多方面研究泓川科技LTP系列大量程全国产激光位移传感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移传感器产品技术报告尊敬的客户：感谢您对泓川科技激光位移传感器产品的关注与信任。为帮助您全面了解我司产品，现将激光位移传感器相关技术信息从参数指标、设计原理、结构设计等八大核心维度进行详细说明，为您的选型、使用及维护提供专业参考。一、参数指标我司激光位移传感器涵盖 LTP400 系列与 LTP450 系列，各型号核心参数经纳米级高精度激光干涉仪标定验证，确保数据精准可靠，具体参数如下表所示：表 1：LTP400EA参数表参数类别具体参数LTP400EA备注基础测量参数测量中心距离400mm以量程中心位置计算（*1）量程200mm-重复精度（静态）3μm测量标准白色陶瓷样件，50kHz 无平均，取 65536 组数据均方根偏差（*2）线性度±0.03%F.S.（F.S.=200mm）采用纳米级激光干涉仪标定（*3）光源与光斑光源类型-激光功率可定制，部分型号提供 405nm 蓝光版本（*4）光束直径聚焦点光斑 Φ300μm中心位置直径，两端相对变大（*5）电气参数电源电压DC9-36V-功耗约 2.5W-短路保护反向连接保护、过电流保护-输出与通信模拟量输出（选配）电压：0-5V/010V/-1010V；电流：420mA探头可独立提供电压、电流与 RS485 输出（*6）通讯接口RS485 串口、TCP/IP 网口可选配模拟电压 / 电流输出模块（*7）响应...

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