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产品名称:

显微激光测振仪

上市日期: 2022-10-27

一款结合激光测振传感器和数字显微镜的一体化测量系统,

可广泛使用在微结构的振动特性测量领域中,如显微材料测试、半导体领域测试和微机电测试。

产品优势:

• 影像指示测量位置 

 • 光学变焦、数字变焦,最大放大倍数450倍 

 • 1310nm 测量光+ 655nm 红光指示 

 • 测量光斑大小 <100um 

 • X/Y/Z 三维调节能力 

 • 振动检测分辨率 ≤1nm 

 • DC~2.5MHz 测量范围 

 • 支持同步触发测量 

 • 最大振动量测量能力 20m/s


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  • 发布时间: 2023 - 12 - 09
    10kHz的超快采样速度LTS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光学镜组和高灵敏度的电子器件,能够实现行业领先的采样 速度,从而帮助客户提高测量效率和加快产线的节拍。+20nm的超高线性精度独立设计的高空间分辨率的白光干涉光学探头,能够带来极为出色的线性特性。基于干涉原理的测厚探头,无原理层面引入的非线性因素,只需要考虑光谱分析过程中的非线性误差。1nm的超高重复精度采用高灵敏度、高信噪比的元器件,同时在探头中实现内部信号数字化,大大减小了噪声干扰。同时基于干涉的测厚方式能够大大提高传感器对外部扰动的抑制能力。
  • 发布时间: 2021 - 09 - 06
    基于调频连续波(FMCW)的相干接收原理,高精度的测距。实现微米级的远距准确测距。通过集成光学原理实现超高精度的测量硅基光电集成技术,一体化的光学封装技术,实现半导体激光器和探测器集成统一光学传感模组。非凡的抗干扰性和稳定性不受材质颜色、环境光等干扰同轴测量无死角轻量、便携无需控制器、放大器等,只一个传感器即可测量。数字化 可与多个开放式现场网络兼容。检测不受限通过物体的表面反射或遮光量进行检测,可检测大多数物体(玻璃、金属、塑料、木料及液体等)。长距离 高功率传感器,轻松进行长距离检测。非接触采用激光非接触测量方法,对被测设备无任何影响且不会产生接触划痕。寿命较长,无需进行维护。同轴回光 支持狭小空间间隙检测。高精度 小光斑可精确检测小微型物体。稳定检测 根据工件设置最优的激光发射功率以及增益。
  • 发布时间: 2021 - 08 - 12
    泓川科技LTC全系列光谱共焦传感器,量程横跨±0.05mm至±25mm,0.02%FS线性精度+30kHz超高速采样,支持Φ1.7μmΦ400μm三级光斑配置。深孔内壁(LTCR侧向出光)、透明多层测厚(LTC7000S)、超高温场景(200°C定制)全覆盖,适配21kHz高速控制器(LT-CCH)及16通道同步系统。专为半导体晶圆、新能源极片、航空航天精密件、医疗植入物等高端制造领域提供国产高性价比替代方案,重新定义工业检测新标准!
  • 发布时间: 2021 - 04 - 20
    高韧性线缆,配备至机器人时也可放心使用。完全符合 IP67 标准的连接器,在潮湿或粉尘较多的现场环境中也可放心使用,传感头也完全符合 IP67 标准。光量自动调节功能,有效提高光亮调整的灵敏度,自动根据不同被测物的反光度调节激光亮度范围。定制物镜可将不规则的光束消除,同时将畸变的影响降至最低,大幅提高测量系统的线性精度。
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专业从事激光位移传感器,激光焊缝跟踪系统研发及销售的科技公司
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  • 1
    2023 - 02 - 21
    激光位移传感器是一种用于测量距离和轮廓表面的自动光学传感技术。它的工作原理是发射激光束,激光束被目标表面或区域反射,然后光束返回所需的时间被转换为距离测量。它的主要应用是尺寸计量,可以精确测量长度、距离和粗糙度轮廓。激光位移传感器也用于工业自动化、机器人和机器视觉应用。什么是激光位移传感器?       激光位移传感器是一种用于测量距离和轮廓表面的自动光学传感技术。该系统通过从激光源发射激光来工作。然后,该激光束从目标表面或区域反射回来。然后,光束覆盖距离和返回所花费的时间被转换为距离测量或轮廓。激光位移传感器通常由三个主要部分组成:*激光源*光学探测器*处理器      激光源通常是激光二极管,其波长适合于目标区域及其光学特性。激光二极管产生激光束,该激光束被引导到目标表面或区域上。然后光束被反射回检测器。根据应用,可以用一定范围的脉冲频率调制光束。光束由光学检测器检测。检测器将光转换成电信号,然后将其发送到处理器。然后处理器处理信息并将测量数据发送到数字显示器或计算机。然后,数据可用于进一步分析或控制自动化过程。历史:       激光位移传感器最初是在20世纪70年代开发的,是麻省理工学院研究项目的一部分。这项研究由美国陆军研究实验室和美国空军赖特实验室赞助。该技术最...
  • 2
    2025 - 01 - 09
    一、光谱共焦传感技术解密光谱共焦技术的起源,要追溯到科学家们对传统成像精度局限的深刻洞察。在 20 世纪 70 年代,传统成像在精密测量领域遭遇瓶颈,为突破这一困境,基于干涉原理的光谱共焦方法应运而生,开启了高精度测量的新篇章。进入 80 年代,科研人员不断改进仪器设计,引入特殊的分光元件,如同给传感器装上了 “精密滤网”,精准分辨不同波长光信号;搭配高灵敏度探测器,将光信号转化为精确数字信息。同时,计算机技术强势助力,实现数据快速处理、动态输出测量结果,让光谱共焦技术稳步走向成熟。90 年代,纳米技术、微电子学蓬勃发展,对测量精度要求愈发苛刻。科研团队迎难而上,开发新算法、模型优化测量,减少误差;增设温度控制、机械振动抑制功能,宛如为传感器打造 “稳定护盾”,确保在复杂实验环境下结果稳定可靠,至此,光谱共焦技术成为精密测量领域的关键力量。添加图片注释,不超过 140 字(可选)二、HCY 光谱共焦传感器工作原理(一)核心原理阐释HCY 光谱共焦传感器的核心在于巧妙运用光学色散现象。当内部的白光点光源发出光线后,光线会迅速射向精密的透镜组。在这里,白光如同被解开了神秘面纱,依据不同波长被精准地色散开来,形成一道绚丽的 “彩虹光带”。这些不同波长的光,各自沿着独特的路径前行,最终聚焦在不同的高度之上,构建起一个精密的测量范围 “标尺”。当光线抵达物体表面,会发生反射,其中特定波长的光...
  • 3
    2025 - 09 - 02
    泓川科技激光位移传感器产品技术报告尊敬的客户: 感谢您对泓川科技激光位移传感器产品的关注与信任。为帮助您全面了解我司产品,现将激光位移传感器相关技术信息从参数指标、设计原理、结构设计等八大核心维度进行详细说明,为您的选型、使用及维护提供专业参考。一、参数指标我司激光位移传感器涵盖 LTP400 系列与 LTP450 系列,各型号核心参数经纳米级高精度激光干涉仪标定验证,确保数据精准可靠,具体参数如下表所示:表 1:LTP400EA参数表参数类别具体参数LTP400EA备注基础测量参数测量中心距离400mm以量程中心位置计算(*1)量程200mm-重复精度(静态)3μm测量标准白色陶瓷样件,50kHz 无平均,取 65536 组数据均方根偏差(*2)线性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用纳米级激光干涉仪标定(*3)光源与光斑光源类型-激光功率可定制,部分型号提供 405nm 蓝光版本(*4)光束直径聚焦点光斑 Φ300μm中心位置直径,两端相对变大(*5)电气参数电源电压DC9-36V-功耗约 2.5W-短路保护反向连接保护、过电流保护-输出与通信模拟量输出(选配)电压:0-5V/010V/-1010V;电流:420mA探头可独立提供电压、电流与 RS485 输出(*6)通讯接口RS485 串口、TCP/IP 网口可选配模拟电压 / 电流输出模块(*7)响应...
  • 4
    2023 - 10 - 11
    激光测距传感器对射技术在自动化生产线上的应用愈发广泛,今天我们将介绍一个基于两台激光测距传感器上下对射来检测橡胶带接缝的案例。在橡胶带的生产过程中,橡胶带的接缝是一个非常关键的部位。由于橡胶带在运输行走的过程中,其厚度会随着接缝的存在而变化。接缝是由两个橡胶带重叠在一起形成的,因此接缝的厚度显然会大于橡胶带本身。为了保证产品质量和生产效率,我们需要及时准确地检测并计数橡胶带的接缝。我们采用了两台激光测距传感器进行上下对射的方式来实现这一目标。具体操作如下:首先,将一台激光测距传感器安装在橡胶带上方,另一台安装在橡胶带下方,使得两台传感器之间垂直对射。通过激光束的反射和接收时间的测量,可以获取到橡胶带表面和接缝的距离信息。当橡胶带的接缝位置经过测距传感器时,根据上文提到的厚度大于阈值的特点,我们可以通过一个内部的比较器来判断是否检测到了接缝。当橡胶带的厚度数据高于预设的阈值时,比较器将输出一个开关量信号,表示接缝位置被检测到。通过这种方式,我们不需要具体测量接缝的厚度数值,只需要一个开关量信号,就可以实现对橡胶带接缝位置质量的检测和接缝数量的计数。这对于保证产品质量、提高生产效率具有重要意义。总结起来,利用两台激光测距传感器上下对射的方法,结合内部的比较器功能,我们可以实现对橡胶带接缝位置的检测。这种技术应用既简单又有效,可以在自动化生产线中广泛应用,提高生产效率并确保产品质量的稳定...
  • 5
    2025 - 01 - 04
    在工业生产的众多环节中,板材厚度测量的重要性不言而喻。无论是建筑领域的钢梁结构、汽车制造的车身板材,还是电子设备的外壳,板材的厚度都直接关乎产品质量与性能。哪怕是微小的厚度偏差,都可能引发严重的安全隐患或使用问题。传统的板材厚度测量方法,如卡尺测量、超声波测量等,各有弊端。卡尺测量效率低、易受人为因素干扰;超声波测量则在精度和稳定性上有所欠缺,面对高精度需求时常力不从心。而激光位移传感器的出现,为板材厚度测量带来了革命性的变化。它宛如一位精准的 “测量大师”,凭借先进的激光技术,实现非接触式测量,不仅精度极高,还能快速、稳定地获取数据,有效规避了传统测量方式的诸多问题。接下来,让我们一同深入探究,两台激光位移传感器是如何默契配合,精准测量板材片材厚度的。激光位移传感器测厚原理大揭秘当谈及利用两台激光位移传感器对射安装测量板材片材厚度的原理,其实并不复杂。想象一下,在板材的上下方各精准安置一台激光位移传感器,它们如同两位目光犀利的 “卫士”,紧紧 “盯” 着板材。上方的传感器发射出一道激光束,这束激光垂直射向板材的上表面,而后经板材上表面反射回来。传感器凭借内部精密的光学系统与信号处理单元,迅速捕捉反射光的信息,并通过复杂而精准的算法,计算出传感器到板材上表面的距离,我们暂且将这个距离记为 。与此同时,下方的传感器也在同步运作。它发射的激光束射向板材的下表面,同样经过反射、捕捉与计算...
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    2026 - 07 - 24
    1 行业概述 半导体 “量检测” 一般指半导体制造过程中的测量与检测(Metrology & Inspection),涵盖对晶圆和芯片进行尺寸测量、缺陷检测、测试分析等环节。这类设备通过精密仪器和软件,在晶圆制造从光刻到封装的各阶段对关键参数和缺陷进行检测,把控产品良率。由于半导体元件的微缩和复杂化,量测与检测成为保障产品性能和良率的核心环节,被视为芯片制造的“质量保障”命脉。这些设备广泛应用于硅晶圆制造线的各步骤,以及封装测试、印刷电路板检测等领域,确保从晶圆到成品的每一阶段满足严格的技术规范。例如,在晶圆制造中,自动检测系统可识别光刻中的缺陷、量测线宽和膜厚,在封装中 AOI 和 X 射线检测设备可发现封装内部的焊点空洞等缺陷。 半导体 “量检测” 存在诸多难点,主要体现在检测精度要求高、检测速度与效率的平衡、缺陷检测难度大等方面。这些技术难点直接推高了行业准入门槛,促使企业加大研发投入,同时也推动了检测设备向智能化、自动化方向发展。高效精准的检测技术已成为提升产品良率、降低生产成本的关键,正在重塑半导体行业的市场竞争格局。 市场规模及发展 随着半导体行业的持续增长,对检测设备的需求也稳步上升。据统计,2021 年全球半导体量测与检测设备市场规模约为 73 亿美元,预计 2031 年将增长至 133 亿美元,年复合增长率约 6.2%。...
  • 7
    2025 - 01 - 20
    五、应用优势深度解析5.1 提升测量精度与效率光谱共焦传感器在 IC 芯片测量中,能够实现快速、高精度的测量,这一特性极大地提升了生产效率。其工作原理基于独特的光学共焦成像和光谱解析技术,使其能够精准地捕捉到芯片表面的细微特征和尺寸变化。在测量芯片关键尺寸时,如线宽和间距,光谱共焦传感器可以达到亚微米级甚至更高的精度,能够精确测量出极其微小的尺寸偏差,为芯片制造工艺的精细控制提供了有力保障。同时,该传感器具备快速的数据采集和处理能力。在实际生产线上,它可以在短时间内对大量芯片进行测量,大大减少了检测时间。与传统测量方法相比,光谱共焦传感器能够实现自动化、连续测量,无需人工频繁干预,有效提高了生产效率,满足了大规模生产对测量速度和精度的双重要求。 5.2 降低成本与风险采用光谱共焦传感器进行 IC 芯片测量,有助于显著降低生产成本与风险。一方面,高精度的测量能够有效减少因尺寸偏差或其他质量问题导致的废品率。在芯片制造过程中,废品的产生不仅意味着原材料的浪费,还会增加后续的返工成本和时间成本。光谱共焦传感器通过精确检测,能够及时发现芯片制造过程中的问题,帮助制造商在早期阶段采取纠正措施,避免生产出大量不合格产品,从而降低了废品率,节约了生产成本。另一方面,通过对芯片制造过程的实时监测和反馈,光谱共焦传感器能够帮助制造商优化生产工艺,提高生产效率,减少不必要的资源浪费。例如,在...
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    2025 - 10 - 21
    在工业精密测量中,传统红光激光位移传感器常受高反射、半透明、高温红热等特殊场景限制,而蓝光光源(405nm 波长)凭借独特物理特性实现突破。以下通过 “一问一答” 形式,详解蓝光传感器的优势、原理构造,并结合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解决特殊环境测量难题。1. 蓝光光源激光位移传感器相比传统红光,核心优势是什么?蓝光传感器的核心优势源于 405nm 波长的物理特性,相比传统 655nm 左右的红光,主要体现在三方面:更高横向分辨率:根据瑞利判据,光学分辨率与波长成反比。蓝光波长仅为红光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光学系统下横向分辨率可提升约 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 蓝光版光斑最小达 Φ18μm),适配芯片针脚、晶圆等微米级结构测量。更强信号稳定性:蓝光单光子能量达 3.06eV,远高于红光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡胶、有机涂层)表面,能激发出更强散射信号;同时穿透性更低,仅在材料表层作用,避免内部折射干扰,适合表面精准测量。更优抗干扰能力:蓝光波段与红热辐射(500nm 以上)、户外强光(可见光为主)重叠度低,搭配专用滤光片后,可有效隔绝高温物体自发光、阳光直射等干扰,这是红光难以实现的。2. 蓝光激光位移传感器的原理构造是怎样的?为何能实现高精度测量?蓝光传感器的高精度的核心是 “光学设计 + 信号处理 + ...
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半导体行业测量与检测现状--白皮书 (1) 2026 - 07 - 24 1 行业概述 半导体 “量检测” 一般指半导体制造过程中的测量与检测(Metrology & Inspection),涵盖对晶圆和芯片进行尺寸测量、缺陷检测、测试分析等环节。这类设备通过精密仪器和软件,在晶圆制造从光刻到封装的各阶段对关键参数和缺陷进行检测,把控产品良率。由于半导体元件的微缩和复杂化,量测与检测成为保障产品性能和良率的核心环节,被视为芯片制造的“质量保障”命脉。这些设备广泛应用于硅晶圆制造线的各步骤,以及封装测试、印刷电路板检测等领域,确保从晶圆到成品的每一阶段满足严格的技术规范。例如,在晶圆制造中,自动检测系统可识别光刻中的缺陷、量测线宽和膜厚,在封装中 AOI 和 X 射线检测设备可发现封装内部的焊点空洞等缺陷。 半导体 “量检测” 存在诸多难点,主要体现在检测精度要求高、检测速度与效率的平衡、缺陷检测难度大等方面。这些技术难点直接推高了行业准入门槛,促使企业加大研发投入,同时也推动了检测设备向智能化、自动化方向发展。高效精准的检测技术已成为提升产品良率、降低生产成本的关键,正在重塑半导体行业的市场竞争格局。 市场规模及发展 随着半导体行业的持续增长,对检测设备的需求也稳步上升。据统计,2021 年全球半导体量测与检测设备市场规模约为 73 亿美元,预计 2031 年将增长至 133 亿美元,年复合增长率约 6.2%。...
LTP 系列激光位移传感器全国产化之路 —— 从技术依赖到自主可控的心路历程 2026 - 04 - 12 作为一名深耕精密传感行业十余年的从业者,我全程参与了泓川科技 LTP 系列高速高精度激光三角位移传感器的全国产化攻坚。这段从 “全盘进口” 到 “100% 自主可控” 的历程,不仅是一款产品的突围,更是中国高端工业传感器打破封锁、实现自立自强的真实缩影。当前,中国已是全球最大的制造业基地与工业传感器消费市场,智能制造、半导体、锂电、汽车电子等领域对纳米级位移测量的需求呈爆发式增长。而激光三角位移传感器作为精密测控的 “核心标尺”,长期被欧美日品牌垄断 —— 高端型号依赖进口核心器件,不仅采购成本高出 30%-50%,交期动辄 3-6 个月,更面临供应链断供、技术卡脖子的致命风险。在国产替代成为国家战略、产业链安全重于一切的今天,高端传感器的全国产化,早已不是选择题,而是关乎制造业根基的必答题。LTP 系列的国产化之路,正是在这样的时代背景下,一群中国传感人用坚守与突破,写下的硬核答卷。一、初心与觉醒:从 “拿来主义” 到 “必须自主” 的心路转折回望 LTP 系列的起点,我们和国内绝大多数同行一样,深陷核心部件全面依赖进口的困境。早年做激光位移传感器,我们奉行 “集成路线”:激光器选日本某品牌的 655nm 半导体激光管,光学镜头采购德国高精度玻璃透镜,信号处理芯片用美国 TI 的高精度 ADC,就连光电探测器、滤波片也全部依赖进口。这套方案成熟稳定,但代价沉重:核心部件被供应商卡...
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