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白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备,广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理,通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光(白光)投射到待测薄膜表面上,并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射,两个反射面之间的光程差会导致不同波长(颜色)的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱,可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度测量中具有以下优势:1. 测量范围广:能够测量几微米到1mm左右范围的厚度。2. 小光斑和高速测量:采用SLD(Superluminescent Diode)作为光源,具有小光斑和高速测量的特点,能够实现快速准确的测量。下面是使用白光干涉测厚仪测量晶圆上水膜厚度的详细步骤:1. 准备工作:确保待测晶圆样品表面清洁平整,无杂质和气泡。2. 参数设置:调整白光干测厚涉仪到合适的工作模式,并确定合适的测量参数和光学系统设置。根据具体要求选择光谱范围、采集速度等参数。3. 样品放置:将待测晶圆放置在白光干涉测厚仪的测量台上,并固定好位置,使其与光学系统保持稳定的接触。确保样品与测量台平行,并避免外界干扰因素。4. 启动测量:启动白光干涉测厚仪,开始测量水膜厚度。通过记录和分析返回光的光谱,可以得到晶圆上水膜的厚度信息。可以通过软件实时显示和记录数据。5. 连续监测:对于需要连续监测晶圆上水膜厚度变化的情况,可以设置相应的测量间隔和数据采集系统,以实现实时监测和记录。根据实际需求,可以进行定时测量或连续测量,以便及时获取水膜厚度变化的趋势。总结:白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备,可用于测量晶圆上水膜的厚度。在操作过程中,准备工作、参数设置、样品放置和启动测量是关键步骤。通过详细分析返回光的光谱,可以得到晶圆上水膜的厚度信息。对于需要连续监测的情况,可设置相应的测量间隔和数据采集系统,实现...
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更新日期: 2024 - 01 - 21
在制造业、航空航天、光学制造等行业中,准确地测量工件表面的平整度和倾斜度对于产品质量、设备性能和工程安全至关重要。为了适应这一需求,本文将详细介绍运用高精度激光位移传感器进行非接触测量工件倾斜度的具体操作步骤、应用领域以及如何通过实例演示其测量原理和效果。首先,测量设备的配置环节。需要准备3到5个高精度激光位移传感器,并配合用于数据分析处理的微机软件。在开始测量之前,传感器需要先行进行标定,以一个已知的标准平面作为参照进行校准,并让所有传感器的数值归零。这一步骤保证了测量过程的准确性,也为后续的数据分析奠定了基础。进行实测时,将待测工件放置在需要测量的表面上。根据物体表面的倾斜情况,每个传感器所显示的数值会出现差距。后续,我们可以通过微机软件读取这些二次数据,进行处理,从而精确地得出倾斜度和平整度等参数。值得注意的是,我们选择3-5个传感器进行测量的原因是,三个传感器可以保证确定一个平面的最少需求。在成本允许的情况下,增加到五个传感器进行多点测量,可以有效提高测量的准确性和稳定性。另外,在使用过程中,对传感器的同步性有很高的要求,尤其是采样速度。最好达到5k以上,以便实时调整待测表面,使得调整结果更精准,并且满足实时性的需求。当然,高精度激光位移传感器的应用领域非常广泛。在制造业,尤其是汽车制造业和机械加工行业中,通过测量工件表面的倾斜度和平整度,可以有效进行质量控制和生产过程优化,提高产品的性能和精度。在建筑工程中,通过测量地基的倾斜度和平整度,可以为建筑物的稳定性和安全性提供有效保障。在航空航天领域,通过检测飞机表面的倾斜度和平整度,可以确保飞机的稳定性和飞行安全。而在光学元件的生产制造中,通过测量元件表面的倾斜度和平整度,有助于提高光学系统的精度和性能,并提高产品质量。总结起来,高精度激光位移传感器在非接触测量工件倾斜度中的应用及其重要性不言而喻。只要正确选取传感器数...
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更新日期: 2024 - 01 - 21
机器视觉检测智能化程度高,这一点毋庸置疑,不仅能节约不少人力成本,还对该领域内的检测格局产生着潜移默化的影响,故销售态势一再提升。一般情况下建议客户详细参阅机器视觉检测的选购事项,容易构建出清晰准确的选购思路,尽可能减少选购期间遇到的误区。提醒在正式选购前,将该检测方式的特点掌握到位,能避免遗漏掉细小环节。1、拥有较高灵敏度令不少客户反复纠结的问题是如何选择好的机器视觉检测,如果能及时明确清楚灵敏度的高低,就能把不达标的检测仪器剔除在选项之外。机器视觉检测不像市场中的普通检测设备,即便被检测物体的距离隔得很远,也丝毫不影响检测功能的正常发挥。2、得出的测量数据精准但凡经过机器视觉检测后的物品所得出的相应数据相对比较精准,参考价值高,这也是很多客户选择它的理由,如果数据存在较大偏差,很有可能会导致参数出错。现阶段,专门负责研发机器视觉检测的机构仍在做调试工作,旨在进一步升级其性能。3、日常维护工作简单机器视觉检测对应的维护工作并没有想象中那般繁杂,真正操作过的人才感触较深,与普通设备的维护工作并无二致,定期实施的难度不大。售卖机器视觉检测的机构也会及时提醒客户,依次注明需注意的维护重点,客户只用按部就班执行即可。大多数人从未静心探究过机器视觉检测的特点,可在本文的帮助下明晰模糊的认知体系,重新看待机器视觉检测的独特之处。很多人在采购期间容易犯的错误是违背客观事实,做不到实事求是,导致...
发布时间: 2020 - 05 - 29
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机器视觉检测对普通人而言比较陌生,毕竟平常接触机会不多,即便真正见到该检测设备,恐怕也不知道它肩负的职责和发挥的主要作用。对于有意向采购或考察的客户,亟待解决的关键点便是如何选择好的机器视觉检测,有经验的采购商知道该如何选取。鉴于很多人认知模糊,下文会着重强调该检测具备的三大优势。1、非接触式测量更安全关于机器视觉检测的选购事项建议消费者在采购之前知晓清楚,以免因错误理解而陷入采购误区,例如机器视觉检测秉持的接触方式。市面上以此技术为主的装置,无需碰触需要被检测的物体,便可完成整个检测任务,全程用时短,安全性高。2、可测量的物体类别多样相较于传统观念内的检测设备,机器视觉检测无论从精度还是响应的灵敏度,均占据着重要位置,可测量的物体多种多样。机器视觉检测自问世以来,一直以较高的性价比和丰富功能著称,逐渐从默默无闻的状态成为颇受消费者欢迎的检测类装置。3、能保持长期稳定态势但凡是出自正规大厂之手的机器视觉检测,一旦启动将始终保持稳定运行态势,这一点比较难得,要知道机器视觉检测对应的物体类别不等,安装的场景也各不相同。如果自身承受力差,难以满足长时间的运行需求,恐怕不利于自身销售。大部分人从未静心探究过机器视觉检测具备的主要优势,只浅显的了解到该检测方式的一些参数,这种认知程度远远不够,不利于后续针对机器视觉检测的采购。作为功能多样的检测设备,目前被应用的领域也得到了扩张,专门研究该检...
发布时间: 2020 - 05 - 29
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检测工作在日常生活中的重要性不言而喻,表现出的市场潜力巨大,催生出以机器视觉检测为主的仪器,旨在化解检测环节遇到的各类棘手问题。心细的客户会着重探究机器视觉检测的选购事项,希望能尽快理清处于模糊状态的选购思路。鉴于大部分人对该检测方式的疑问多,以下内容会围绕着选择它的理由做全面阐述。1、可应用于多种场景由于机器视觉检测的自动化水准较高对应的型号规格也较为丰富,经常被安装在一些危险系数高的场景中,能直接代替人力完成检测工作。另外一部分场景对检测要求严格,普通人眼难以达到如此严苛的标准,唯有依靠机器视觉检测的力量才能完成检测。2、操控方式容易掌握单从机器视觉检测的字面意思上便能推断出其原理,强化了机器人在检测阶段可发挥的作用,规避了人为检测的漏洞和隐患,运用方式灵活。正规的机器视觉检测会专门附上操作说明指南,依次明确了操作重点之后,能在短时内轻松掌握操控方式。3、检测效率维持在较高水准机器视觉检测相当于普通装置的升级版,前者无论从先进性还是功能方面,均有较大改观,尤其是令客户担心的检测效率,也维持在较高水准。机器视觉检测还能实现不间断的运行,这一点是人力无法企及的,也避免造成生产方面的延误。如何选择好的机器视觉检测是个令客户困扰的关键性问题,从上文切入的角度上能得到相应启发。可先认准生产机器视觉检测的靠谱机构,需将横向对比工作落实到位。另外也要关注该检测方式的实际售价,特别是采购量大的...
发布时间: 2020 - 05 - 28
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仔细比对会发现,机器视觉检测的效率和精度远超出人为检测,尤其是历经很长一段时间的发展,操作上的漏洞被尽数弥补,实用性一步步增强。采购意向强烈的客户会纠结如何选择好的机器视觉检测,若能及时筛查出口碑良好的制造商,就能在短时间内获得准确答案。不单单要把目光聚焦在选购阶段,使用该检测的注意事项也得悉数掌握。1、注意设定与被检测物体间的距离机器视觉检测的选购事项包括对型号和规格的挑选,把重点放在检测装置本身的行为不可取,理应先明确清楚安装场景的实际要求。当依据正确规程完成所有安装步骤后,注意设定机器视觉检测与被测物体间的距离,远近要适宜,避免造成检测上的偏差。2、保证电量持续稳定的输入机器视觉检测期间对电量的输入有一定要求,既要确保持续稳定的输入,又要防止断电等不利情形的发生,提前做好应对措施。输入机器视觉检测的电量一旦出现不稳情况,将对实际检测工作造成较大阻碍,从而造成时间和精力上的浪费。3、发现异常情况要立即停止运行平时观察机器视觉检测的运行状态,能够总结出一套规律,也将学会如何辨别机器视觉检测的运行是否正常,需要一双能敏锐观察的眼睛。倘若发现机器视觉检测存在异常状况,此时需立即停止运行,对设备加以全方位检查,避免问题扩大化。上文简要概述了使用机器视觉检测的注意事项,全部是使用者易忽略的部分,殊不知不恰当的行为会缩短机器视觉检测的寿命。当与相应的销售人员交流时,多询问关于检测的细节和易...
发布时间: 2020 - 05 - 28
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2024 - 01 - 21
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白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备,广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理,通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光(白光)投射到待测薄膜表面上,并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射,两个反射面之间的光程差会导致不同波长(颜色)的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱,可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度...
2024 - 01 - 21
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在制造业、航空航天、光学制造等行业中,准确地测量工件表面的平整度和倾斜度对于产品质量、设备性能和工程安全至关重要。为了适应这一需求,本文将详细介绍运用高精度激光位移传感器进行非接触测量工件倾斜度的具体操作步骤、应用领域以及如何通过实例演示其测量原理和效果。首先,测量设备的配置环节。需要准备3到5个高精度激光位移传感器,并配合用于数据分析处理的微机软件。在开始测量之前,传感器需要先行进行标定,以一个...
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  • 185
    2020 - 05 - 29
    机器视觉检测智能化程度高,这一点毋庸置疑,不仅能节约不少人力成本,还对该领域内的检测格局产生着潜移默化的影响,故销售态势一再提升。一般情况下建议客户详细参阅机器视觉检测的选购事项,容易构建出清晰准确的选购思路,尽可能减少选购期间遇到的误区。提醒在正式选购前,将该检测方式的特点掌握到位,能避免遗漏掉细小环节。1、拥有较高灵敏度令不少客户反复纠结的问题是如何选择好的机器视觉检测,如果能及时明确清楚灵敏度的高低,就能把不达标的检测仪器剔除在选项之外。机器视觉检测不像市场中的普通检测设备,即便被检测物体的距离隔得很远,也丝毫不影响检测功能的正常发挥。2、得出的测量数据精准但凡经过机器视觉检测后的物品所得出的相应数据相对比较精准,参考价值高,这也是很多客户选择它的理由,如果数据存在较大偏差,很有可能会导致参数出错。现阶段,专门负责研发机器视觉检测的机构仍在做调试工作,旨在进一步升级其性能。3、日常维护工作简单机器视觉检测对应的维护工作并没有想象中那般繁杂,真正操作过的人才感触较深,与普通设备的维护工作并无二致,定期实施的难度不大。售卖机器视觉检测的机构也会及时提醒客户,依次注明需注意的维护重点,客户只用按部就班执行即可。大多数人从未静心探究过机器视觉检测的特点,可在本文的帮助下明晰模糊的认知体系,重新看待机器视觉检测的独特之处。很多人在采购期间容易犯的错误是违背客观事实,做不到实事求是,导致...
  • 186
    2020 - 09 - 07
    激光测距传感器大多在民用工业和道路指挥系统当中使用,因为它可以根据激光的反射速度来判断物体的移动状态,尤其对于平面并不大的物体测速时间更快,还可以临时的测速,还可以进行相应的取证,但业内人士称该种传感器在军事领域也有许多应用,那么红外激光测距传感器‍在军事领域有哪些应用呢?1、轻型便携式脉冲激光测距仪轻型便携式脉冲激光测距传感器包括步兵和炮兵侦察用的手持式以及前沿侦察和前沿对空控制双用途的目标指示器,对上述用途的系统要求机动灵活、重复轻、体积小、用电池组作电源、可靠性和维修性高以及单一产品的成本低等。现代战争中由以前单一的步兵、炮兵独立作战发展到有步兵、炮兵和海军陆战队组成的特种部队联合作战,武器系统也由单一的地炮、高炮逐渐采用多功能综合高技术。因此防水激光测距传感器模块‍也由单一测距功能的便携式、手持式发展到激光测距、红外瞄准的昼夜观测仪以及激光测距、目标指示、红外瞄准的激光红外目标指示器等。2、地面车载脉冲激光测距仪地面车载脉冲激光测距仪包括坦克、步兵战车、火控、对空防御、火炮或导弹制导火控以及目前发展的地面车载激光测距仪目标指示器等。激光测距传感器制成的设备技术性能测程大、测距精度高、目标分辨大,光测距仪在坦克火控系统中的应用是提供弹道轨迹的超仰角修正信息和因逆风或目标移动引起的方位角校正信息以及距离信息。步兵战车主要是使用激光测距传感器去测量目标是否在反坦克导弹的距离内,其...
  • 187
    2018 - 04 - 20
    成功选择与目标需求匹配的固定式条码阅读器,用户有三个主要判据:工作距离、标签尺寸和接口设备。工作距离指阅读时扫描器与标签之间的距离,扫描距离可以从零到若干英尺,阅读距离由固定式条码阅读器决定;标签尺寸指被阅读的条码的整个宽度。选购绝对可靠的固定式条码阅读器时有哪些需要注意的事情?一、注意工作距离固定式条码阅读器的景深必须明确定义。一般说来,零售业、办公室、和工厂应用中使用接触式阅读,而仓库、分配和运输应用中则典型的采用远距离阅读方式三种类型固定式条码阅读器的景深有很大差别,由它们的命名可以看出,接触式光笔需要与标签表面相接触景深的差异通过固定式条码阅读器的价格可以体现出来。二、注意标签尺寸标签密度指条或空单元的最小宽度。在选择固定式条码阅读器时,一定要知道被扫描的条码的整个宽度。在大多数情况下,固定式条码阅读器能够阅读的条码的最大宽度受到其开口宽度的限制,一些特制的用于阅读大型的固定式条码阅读器需要被专门设计。三、注意图像译码数年前,阅读器的解码和通讯功能需要分别由独立的设备来完成。条码阅读器将一个激光校准信号或光笔仿真信号输出到一个外部的译码箱。现在,固定式条码阅读器制造商们已经将三种类型的条码阅读器的解码部件集成为一部分,即固定式条码阅读器。译码输出扫描器使用一个插件,提供了与码箱完全相同性能,而且价格更低。因此,每一方面用户都要作不同的考虑。这三种因素相互关联,都影响着固定式...
  • 188
    2018 - 07 - 28
    科技水平的迅猛发展使得激光安全扫描仪的种类愈加繁多,很大一部分需要使用激光安全扫描仪的企业在面对市面上琳琅满目的安全扫描仪器设备之时往往不知该作何选择。但是如若广大工业企业能够对业内领先的激光安全扫描仪的选型依据予以了解便会给实际选购带来诸多帮助。依据一、防护介质的性状激光安全扫描仪在不同的工业企业中实际应用的场景也不完全一致,那么需要防护具体介质的性状自然不会完全相同。故而工业企业在对激光安全扫描仪选型之时一定要事先确定该仪器后期所需防护的具体介质,并且要根据防护介质的性状来选择适合防护该介质的扫描仪。依据二、扫描的准确性目前市面上现存的有多种类型不同的激光安全扫描仪,诸如可移动的激光安全扫描仪以及固定的扫描仪等等类型。但是无论工业企业选购何种类型的激光安全扫描仪都是为了减少生产过程中的潜在安全隐患,因此在实际选型的过程中一定要对仪器扫描的准确度予以关注。依据三、使用场景激光安全扫描仪经过不断的技术革新和发展已经衍生出了多种的型号,不同型号的扫描仪适合使用的场景和功能作用也不完全一致。因此工业企业在对激光安全扫描仪选型之时便需要将使用场景考虑到内,最终选择一个适合在场景中使用的扫描仪。上述内容便是对激光安全扫描仪的选型依据所做的介绍。事实上每一个需要使用低价的激光安全扫描仪的工业企业都有必要掌握上面所介绍的三个选型依据,只有这样才能够有效提高选购到一款适合自身企业使用的扫描仪的概...
  • 189
    2019 - 02 - 26
    激光位移传感器在多个现代化的自动加工和先进工艺应用领域中有不可或缺的功能,通过当下比较先进的3d激光技术实现了更加高效和可靠的工艺表现,目前一些大品牌激光位移传感器厂家的成长和进步也给社会相关产业提供了信心,所以说这些深受顾客欢迎的激光位移传感器设备品牌商在很多方面也做得越来越好了。就此本文重点分析一下影响激光位移传感器仪器治疗的几个主要因素:1、用到的制造材料激光位移传感器至关重要的材料就是传感器和实现整个稳定功能的各个组成部分,那么不管是基础材料还是各类器材的质量和性能都将与设备的各部分呈现效果息息相关,特别是对于激光位移传感器的稳定性及安全保障等方面的影响非常深远。2、用到的技术适配性而目前激光位移传感器相关的技术发展得比较迅速的同时也呈现了多样化的类别,而影响到激光位移传感器质量的因素就包括其技术是否适合该类产品的设计应用。也就是说激光位移传感器开发人员应当明白其应用领域的具体性能功能要求。3、品控环节的管理效果激光位移传感器和任何的自动化加工设备仪器一样都是需要精密的工艺制造出来,而出产呈现的质量的关键性阶段就是品控工作的先进性以及与当下市场现状的适配度,而大品牌靠谱的激光位移传感器机构的品控管理一直都是值得多个行业学习的。如此可见影响到激光位移传感器仪器多方面质量的因素存在于多个方面,比较基础的肯定就是用于制造该传感器各个部分的配置和元件的材料了,以及所用到的核心传感技...
  • 190
    2019 - 11 - 28
    现如今,激光焊接机器人的应用已然是越来越广泛,之所以如此,就是因为其中使用了激光焊缝跟踪系统。激光焊缝跟踪系统是可以在焊接时对焊缝轨迹进行严密跟踪控制的,所以能够确保焊接更加精准。那么口碑好的激光焊缝跟踪系统是如何跟踪焊缝的呢?1、对焊缝轮廓预测量激光焊缝跟踪系统会通过视觉系统预先对工件进行测量,其目的就是为了更好地利用焊缝轮廓信息。在做这一步时,激光焊缝跟踪系统会控制机器人以较低的速度沿着焊缝的延伸方向运动,再通过机械手末端的相机来捕获和识别图像的特征点以及坐标,然后将空间坐标信息传送到控制器进行预测量。2、拐点识别与拐角辨认焊缝轮廓由拐角与直线段组成,为了获得更好的跟踪性能,激光焊缝跟踪系统会在不同的轮廓段使用不同的控制策略,并且,为了辨认拐角区域的位置,还会快速有效地对拐点进行识别,以保证可以对焊缝进行有效跟踪。3、实时焊缝跟踪激光焊缝跟踪系统会根据视觉系统的检测和判断进行跟踪运动。每一次的检测循环都会识别一个特征点,检测过后系统会进行判断,并根据不同的轮廓部分采用不同的控制策略。为了使激光焊缝跟踪系统更加稳定,在两个相邻的检测点之间插补合适个数的插补点以确保相邻的运动点之间的距离足够小。使用激光焊接不仅有效降低材料消耗,也能大幅提高焊接的效率,所以在现代化的生产过程中激光焊接应用的越来越普遍,为了让激光焊接的质量更好,厂家往往会配合专业的激光焊缝跟踪系统来使用,通过各种手段...
  • 191
    2020 - 06 - 12
    客户要求: 在全部预期运动范围内检验车辆座椅系统的运行情况解决方案: L-GAGE® LE550激光测量传感器为何选择邦纳?范围与分辨率 ——在距离目标达600 mm的情况下,传感器的测量精度达0.5 mm;在距离目标小于1000 mm的情况下,测量精度小于1 mm传感器的性能优于价格相似的其它三角测量传感器,而成本低于功能相当的传感器该公司得以在其设施中部署LE550,部署成本仅为被取代的传感器的一半左右某家为汽车行业供货的公司为一条运动型多用途车辆的通用作业线生产电动座椅系统。车辆制造商要求这些系统在发货前全面运行并且可以直接用于安装。在组装过程中,要进行检验以测量座椅高度调节、向前和向后运动以及直立和倾斜运动。每项检验要使用两个传感器。传感器脱离输送线部署,以确保座椅易于进入和自由移动。在检验期间,座椅与传感器的最大距离可能达到一米。该公司一直在用的传感器的单价为1000美元。而只更新一个检测站中传感器的费用就高达6000美元。整个设施内设有多个检测站,该公司希望找到更具成本效益,而且能在远处进行精确测量的传感器。在比较性能和成本后,该公司选择了L-GAGE®LE550激光传感器。LE550传感器可以在一米外检测到小至1 mm的变化,但其价格仅为被取代的传感器价格的一半左右。利用线性阵列技术和激光三角测量,LE550可以在10...
  • 192
    2020 - 07 - 27
    据相关资讯报料近些年激光测距传感器在建筑、工业以及林业等各领域的应用得到广泛关注。特别是激光测距传感器在制造业的应用更是得到众多客户的肯定与赞许,这是因为激光测距传感器使众多制造企业优化了制造流程并且简化了制造手续,现在就激光测距传感器与光电防撞测距传感器具有哪些不同作简要阐述:1.测距原理不同测距传感器根据适用类型以及适用范围的不同可采用多类不同的传感器。其中激光测距传感器就是其中一种较为常见的传感器,这类传感器主要是基于超声波传播特性为基础而特别打造的测距传感器,光电防撞测距传感器则是基于飞行时间法为原则的测距传感器。2.测距适用范围不同激光测距传感器与光电防撞测距传感器的不同还表现在各自的测距适用范围上。光电防撞测距传感器更适用于轨道输送系统专业防碰撞作业任务中;而激光测距传感器则无任何的适用局限性,它既适用于汽车及零部件加工业,也可适用于装配与处理行业。3.测距能力不同据大量的统计分析数据表明激光测距传感器相比光电防撞测距传感器拥有更好的测距性能。光电防撞测距传感器更适宜应用于弯道运行测距;而激光测距传感器的测距性能则不受地理位置、物体表面以及颜色等环境的影响。据大量的统计数据表明激光测距传感器的应用范围已遍及机械及特殊设备制造业、纺织及造纸工业、汽车及零部件等多个不同的行业。人们对于激光测距传感器应用也有了更深的了解,有不少人发现激光测距传感器与光电防撞测距传感器的不同主...
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白光干涉测厚传感器在晶圆水膜厚度测量中的应用及操作步骤详解 2024 - 01 - 21 白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备,广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理,通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光(白光)投射到待测薄膜表面上,并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射,两个反射面之间的光程差会导致不同波长(颜色)的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱,可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度测量中具有以下优势:1. 测量范围广:能够测量几微米到1mm左右范围的厚度。2. 小光斑和高速测量:采用SLD(Superluminescent Diode)作为光源,具有小光斑和高速测量的特点,能够实现快速准确的测量。下面是使用白光干涉测厚仪测量晶圆上水膜厚度的详细步骤:1. 准备工作:确保待测晶圆样品表面清洁平整,无杂质和气泡。2. 参数设置:调整白光干测厚涉仪到合适的工作模式,并确定合适的测量参数和光学系统设置。根据具体要求选择光谱范围、采集速度等参数。3. 样品放置:将待测晶圆放置在白光干涉测厚仪的测量台上,并固定好位置,使其与光学系统保持稳定的接触。确保样品与测量台平行,并避免外界干扰因素。4. 启动测量:启动白光干涉测厚仪,开始测量水膜厚度。通过记录和分析返回光的光谱,可以得到晶圆上水膜的厚度信息。可以通过软件实时显示和记录数据。5. 连续监测:对于需要连续监测晶圆上水膜厚度变...
运用高精度激光位移传感器进行非接触测量工件倾斜度的应用与实践 2024 - 01 - 21 在制造业、航空航天、光学制造等行业中,准确地测量工件表面的平整度和倾斜度对于产品质量、设备性能和工程安全至关重要。为了适应这一需求,本文将详细介绍运用高精度激光位移传感器进行非接触测量工件倾斜度的具体操作步骤、应用领域以及如何通过实例演示其测量原理和效果。首先,测量设备的配置环节。需要准备3到5个高精度激光位移传感器,并配合用于数据分析处理的微机软件。在开始测量之前,传感器需要先行进行标定,以一个已知的标准平面作为参照进行校准,并让所有传感器的数值归零。这一步骤保证了测量过程的准确性,也为后续的数据分析奠定了基础。进行实测时,将待测工件放置在需要测量的表面上。根据物体表面的倾斜情况,每个传感器所显示的数值会出现差距。后续,我们可以通过微机软件读取这些二次数据,进行处理,从而精确地得出倾斜度和平整度等参数。值得注意的是,我们选择3-5个传感器进行测量的原因是,三个传感器可以保证确定一个平面的最少需求。在成本允许的情况下,增加到五个传感器进行多点测量,可以有效提高测量的准确性和稳定性。另外,在使用过程中,对传感器的同步性有很高的要求,尤其是采样速度。最好达到5k以上,以便实时调整待测表面,使得调整结果更精准,并且满足实时性的需求。当然,高精度激光位移传感器的应用领域非常广泛。在制造业,尤其是汽车制造业和机械加工行业中,通过测量工件表面的倾斜度和平整度,可以有效进行质量控制和生产过程优化...
高精度激光位移传感器在桥梁结构监控中的关键应用 2024 - 01 - 21 保障桥梁的安全运行与结构稳定性是城市交通安全的重要链接,而高精度激光位移传感器正是完成此项任务的关键装备之一。在桥梁结构监测中,它们凭借其非接触式高精度测量原理,对桥梁的位移、变形、振动等关键参数进行实时监测,为桥梁健康管理提供重要依据。首先,在桥梁的挠度和变形监测中,激光位移传感器扮演着非常重要的角色。通过将传感器安装在结构的关键位置,可以实时地观察并记录桥梁的挠度、沉降和扭曲等变化情况,这些数据能够提供对桥梁健康状况的即时反馈,帮助维修人员及时发现并对异常变形现象进行处理。其次,激光位移传感器还能作为振动监测工具,为桥梁的刚度和自然频率评估提供重要依据。该传感器通过测量桥梁的振频、振型和振幅等参数,可以生成宝贵的结构振动数据。在桥梁出现异常振动现象时,它们可以实时检测并发出预警信号,为桥梁维护人员提供对策指引,确保桥梁的安全使用。最后,激光位移传感器在桥梁结构损伤检测与诊断中也展现出重要的价值。通过对激光位移传感器采集到的振动信号进行分析,可以提取出桥梁的频率响应函数和模态特征等关键信息。进一步地,这些特征可以与桥梁设计时的标准特征进行对比,以检测桥梁是否存在损伤或疲劳等问题。这也使得激光位移传感器能够在桥梁微小的结构变化初始阶段就进行预警和诊断,从而帮助维护人员采取及时的维修或加固措施,有效延长桥梁的使用寿命。总体来看,高精度激光位移传感器在桥梁结构监控中起关键作用。无论是挠...
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