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白光干涉测厚传感器在晶圆水膜厚度测量中的应用及操作步骤详解

2024 - 01 - 21

白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备，广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理，通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光（白光）投射到待测薄膜表面上，并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射，两个反射面之间的光程差会导致不同波长（颜色）的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱，可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度测量中具有以下优势：1. 测量范围广：能够测量几微米到1mm左右范围的厚度。2. 小光斑和高速测量：采用SLD（Superluminescent Diode）作为光源，具有小光斑和高速测量的特点，能够实现快速准确的测量。下面是使用白光干涉测厚仪测量晶圆上水膜厚度的详细步骤：1. 准备工作：确保待测晶圆样品表面清洁平整，无杂质和气泡。2. 参数设置：调整白光干测厚涉仪到合适的工作模式，并确定合适的测量参数和光学系统设置。根据具体要求选择光谱范围、采集速度等参数。3. 样品放置：将待测晶圆放置在白光干涉测厚仪的测量台上，并固定好位置，使其与光学系统保持稳定的接触。确保样品与测量台平行，并避免外界干扰因素。4. 启动测量：启动白光干涉测厚仪，开始测量水膜厚度。通过记录和分析返回光的光谱，可以得到晶圆上水膜的厚度信息。可以通过软件实时显示和记录数据。5. 连续监测：对于需要连续监测晶圆上水膜厚度变...
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泓川科技LTC2600与基恩士CL-P015光谱共焦传感器全方位对比及国产替代

2025 - 03 - 22

一、核心性能参数对比：精度与场景适配性参数泓川科技LTC2600（标准版）泓川LTC2600H（定制版）基恩士CL-P015（标准版）参考距离15 mm15 mm15 mm测量范围±1.3 mm±1.3 mm±1.3 mm光斑直径9/18/144 μm（多模式）支持定制（最小φ5 μm）ø25 μm（单点式）重复精度50 nm50 nm100 nm线性误差±0.49 μm（标准模式）分辨率0.03 μm0.03 μm0.25 μm（理论值）防护等级IP40IP67（定制）IP67耐温范围0°C ~ +50°C-20°C ~ +200°C（定制）0°C ~ +50°C真空支持不支持支持（10^-3 Pa，定制）支持（10^-6 Pa，标准版）重量228 g250 g（高温版）180 g性能深度解析精度碾压：LTC2600的重复精度（50 nm）显著优于CL-P015（100 nm），线性误差（光斑灵活性：LTC2600支持多光斑模式（最小φ5 μm定制），可兼顾微小目标检测与粗糙面稳定性；CL-P015仅提供单点式光斑（ø25 μm），适用场景受限。环境适应性：CL-P015标准版支持超高真空（10^-6 Pa），但C2600通过...
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激光测量技术在（ADAS）驾驶辅助系统的应用案例（一）

2025 - 01 - 16

一、引言1.1 研究背景与目的在汽车行业迈向智能化与自动化的进程中，先进驾驶辅助系统（ADAS）作为关键技术，正发挥着愈发重要的作用。ADAS 凭借多种传感器与智能算法，能够实时监测车辆周边环境，为驾驶员提供预警与辅助控制，极大地提升了驾驶的安全性与舒适性。本报告旨在深入剖析《ADAS 相关工具核心功能 & 技术》中所涉及的 ADAS 相关工具应用案例，通过详细描述各案例的具体应用场景、工作原理及达成的效果，深度挖掘这些工具在汽车制造及 ADAS 系统开发过程中的重要价值，为行业内相关人员提供具有实际参考意义的信息，助力推动 ADAS 技术的进一步发展与广泛应用。 1.2 研究方法与数据来源本报告通过对《ADAS 相关工具核心功能 & 技术》进行全面细致的整理与深入分析，从中系统地提取出各类 ADAS 相关工具的应用案例。在分析过程中，对每个案例的技术原理、应用场景以及所实现的功能进行了详细阐述，并结合实际情况进行了深入探讨。本文所引用的 ADAS 相关工具的应用案例及技术原理均来自《ADAS 相关工具核心功能 & 技术》文档，该文档为此次研究提供了丰富且详实的一手资料，确保了研究的准确性与可靠性。二、车载相机应用案例剖析2.1 底部填充胶涂抹高度测量2.1.1 案例描述在汽车电子制造中，车载相机的底部填充胶涂抹高度对于确保相机的...
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激光位移传感器内部组成单元的作用是什么？

2020 - 09 - 16

激光位移传感器的性能与应用功能已得到不断完善与提升，它在食品、钢铁以及冶金等加工领域都实现了广泛应用。这是因为激光位移传感器精度非常高，无论选用哪一种测量方法都不会造成较大偏差，现在就激光位移传感器各内部组成单元的作用是什么作简要阐述：1.处理器单元处理脉冲信号激光位移传感器内置数字处理器单元，通过数字处理器单元的控制与分析便于迅速计算出传感器和被测物之间的距离。光束在接收元件的位置后便会通过模拟以及数字电路处理并且通过微处理器分析获得相应的输出值，同时在模拟窗口按比例输出标准信号数据。2.激光发射器发射检测脉冲激光位移传感器是利用激光发射器发射数百万个脉冲到待检测物中并返回至接收器。因为激光发射器是测距、测位移必不可缺的重要组成单元，现今绝大多数的激光发射器都具有相干性好、平行度好以及亮度高等多重特性，故而它可确保所发射的脉冲具有恒定的强度以及稳定的行进路线。3.回波处理单元处理回波脉冲信号回波处理单元是激光位移传感器较为重要的组成部分之一。它的主要作用是将被测物返回的脉冲进行必要的处理，故而它可辅助位移传感器完成对振动、直径以及距离等精密几何数据的分析与处理，许多的检测者更是将它大量应用于长距离检测领域。激光位移传感器是高科技作用下新型的非接触性测量装置，许多人也是基于此而密切关注激光位移传感器西安。而据相关反馈表明激光位移传感器的处理器单元会实时处理各类脉冲信号，它的激光发射...
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激光测距传感器的现场使用建议包括哪些内容

2020 - 09 - 17

激光测距传感器既特别适宜应用于各类形状物体的位置、尺寸以及长宽高的测量，同时又特别适宜测试部分在轨道上运动的物体位置、速度以及长度等相关参数。许多人非常疑惑激光测距传感器发出的什么光线，事实上它们所发出的是光脉冲，现在就激光测距传感器的现场使用建议包括哪些内容作简要阐述：1.确定模拟输出量的稳定性激光测距传感器是通过光学发射系统和光学接受系统实现的，故而在现场测试需要确定模拟输出量的稳定性。若是模拟量输出不稳定，那么有可能导致信号强度低于固定标准值，这时需要现场检查待测目标的反射率情况，从而使其拥有足够强的信号强度。2.经常检查激光点的位置和亮度在现场应用激光测距传感器测量工业起重机的定位以及进行轨道式车辆定位测量时，要注意经常检查激光点的位置和亮度。如果激光点偏离轨道式车辆或者工业起重机指定的测量区域，那么就需要及时进行调整，避免偏差过大影响测量结果。3.露天测量需增加遮阳防雨罩据了解现今绝大多数的激光测距传感器都是用于露天测量。为了避免激光测距传感器在露天测量时受到风雨点或者过高温度环境的影响，建议增加遮阳防雨装置后再行测量，同时现场测量时还应尽量保证具有良好的通风散热性能。激光测距传感器的应用范围已随其性能的提升而不断扩展，因此现今无论是大型测距器还是小型激光测距传感器都得到广泛应用。激光测距传感器在现场使用时除了需要注意确定模拟输出量的稳定性，同时还需要经常检查激光点的位置...
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如何实现工厂自动化的安全防护，再烟草物流锂电行业。

2022 - 12 - 01

在烟草分级及仓储环节中有大量的自动化设备，比如高速往复运动的穿梭车堆垛机等，如何建立完善的安全预防措施，保障作业人员的人身安全是企业在思考的方向，我们在烟草工业内部系统里面已经积累了众多的成功案例，我们会通过机械安全控制以及电器这三个维度来帮助企业进行评估，具体的改造场景有，立库输送管道出入口防护百度极速可在经过现场评估后我们会给客户出具评估报告和推荐的安全整改。机械设备，例如马舵机，泄漏机缠绕机等在快消品行业是广泛存在的，特别是码作机器，经常需要操作人员频繁介入该区域应用的工业机器人运行速度快存在着较高的安全隐患，在转运站码垛技术入口，经常采用一套光幕和光电传感器来实现屏蔽功能，从而实现人物分离，在这个应用中，以物体在传中带上面时，车场光电传感器，从而激活，屏蔽功能，当你为触发屏蔽功能很简单，有些操作人员会拿纸箱或者其他东西遮挡这个光电传感器，从而很容易就操纵了这个屏蔽功能，存在着很大的安全隐患，针对这个问题，我们开发出创新高效的是入口防护替代方案，智能门控系统，无锡屏蔽传感器就和实现pp功能，这项专利技术是基于。专利技术是激光幕，使出入口防务变得更加高效...
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选择激光测距传感器应用于地震预报可实现哪些作用

2020 - 09 - 18

据相关科技资讯反馈表明激光测距传感器应用的身影遍及汽车、海事以及生产等多个领域，它借助激光光束与待测点之间的传播时间来确认其距离的远近。事实上激光测距传感器应用性能已得到众多用户的广泛肯定与认可，现在就选择激光测距传感器应用于地震预报可实现哪些作用作简要阐述：1.便于及时掌握地震源的距离远近激光测距传感器可基于不同的波长对地震源进行准确测量，从而便于监测者能及时掌握地震源的距离远近。这种激光测距传感器具有探测距离远以及远距离测距精度高等特性，故而将其对准地震源或地震带便于准确获知地震源的距离远近，同时它的这些特性还便于进行大地控制测量。2.便于实时动态监测地震状况激光测距传感器之所以能在地震预报中实现高频应用，还在于它可实时动态监测地震状况。因为激光测距拥有更快的反应速度，它只要从被测物体中获得一个回波就可进行距离测量，而周边环境所产生的回波将被忽略，因此监测人员就可根据实时的回波信息了解地震源的移动状况。3.便于提前预防以及转移人群据相关调查反馈表明选择激光测距传感器应用于地震预报有助于大幅度降低地震损失。因为通过地震源的预报与探测便于监控根据地震的移动速度以及移动距离调整计划，并且根据地震的强度提前进行预防与转移人群。据了解部分激光测距传感器还被广泛应用于测量导弹以及人造卫星等空间目标的距离大小，但是这需要订购特定的激光测距传感器型号方可使用。据了解现今越来越多的地震预报选择应...
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机器人控制为什么更适宜选用激光位移传感器

2020 - 09 - 21

激光位移传感器的作用原理主要是利用激光的高方向性、高单色性以及高亮度等特点来实现无接触测量，它有助于大幅度提升位移测量的精度和可靠性。故而现今越来越多的应用场所都在积极寻求可靠性更高的国产激光位移传感器，现在就机器人控制为什么更适宜选用激光位移传感器作简要阐述：1.确保机器人拥有更强的抗振冲击能力据相关介绍表明现今越来越多的机器人在结构设计之初都会优先考虑使用激光位移传感器。因为这种位移传感器具有更强的抗振冲击能力，众所周知机器人在行驶过程中可能会因为碰到障碍物而导到受到重大冲击，为了能确保它在大冲击下仍拥有稳定的性能，那么选用抗振冲击能力较强的激光位移传感器是较为明智的选择。2.促使机器人控制拥有更加稳定的输出信号机器人控制优先选用激光位移传感器的原因还在于，它可促使机器人在控制作业中拥有更加稳定的输出信号。因为位移传感器是基于三角测量原理而设计并且大量应用了数字化背景抑制技术，因此有助于大幅度提升抗干扰能力，确保输出信号稳定且无干扰。3. 确保机器人拥有EMI屏蔽特性机器人控制载入激光位移传感器的原因在于它有助于实现EMI屏蔽功能。因为激光位移传感器是利用红光激光以及小清晰的光斑实现位移移动控制，在机器人控制中基本不会出现EMI干扰现象，将它应用于机器人控制也助于提升其EMI屏蔽特性。激光位移传感器的普及与应用逐步取代了旧时的位移测量方式，事实上这是激光位移传感器发展的新思路。...

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激光测距传感器

光谱共焦位移传感器

激光测振动传感器

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泓川科技 LTP 系列激光位移传感器全国产化制造流程细节全披露 2025 - 06 - 22 一、国产化背景与战略意义在全球供应链竞争加剧的背景下，激光位移传感器作为工业自动化核心测量部件，其国产化生产对打破技术垄断、保障产业链安全具有重要战略意义。泓川科技 LTP 系列依托国内完整的光学、电子、机械产业链体系，实现了从核心零部件到整机制造的全流程国产化，彻底解决了接口卡脖子问题，产品精度与稳定性达到国际先进水平，同时具备更强的成本竞争力与定制化服务能力。二、核心部件全国产化组成体系（一）光学系统组件激光发射单元激光二极管：采用深圳镭尔特光电 655nm 红光 PLD650 系列（功率 0.5-4.9mW）及埃赛力达 905nm 红外三腔脉冲激光二极管，支持准直快轴压缩技术，波长稳定性 ±0.1nm，满足工业级高稳定性需求。准直透镜：选用杭州秋籁科技 KEWLAB CL-UV 系列，表面粗糙度光学滤光片：深圳激埃特光电定制窄带滤光片，红外截止率 99.9%，有效消除环境光干扰。激光接收单元光电探测器：上海欧光电子代理 OTRON 品牌 PSD 位置敏感探测器，分辨率达 0.03μm（如 LTPD08 型号），北京中教金源量子点探测器正在实现自主替代。聚焦透镜组：福州合创光电高精度分光棱镜，偏振消光比 1000:1，配合广州明毅电子阳极氧化支架，确保光路同轴度≤5μm。（二）电子电路组件信号处理模块微处理器：龙芯中科 3A5000 工业级芯片，支持 - 40℃...

有没有量程1米，测量精度误差1mm的国产激光位移传感器，频率5Khz以上？ 2025 - 06 - 19 有！LTM 系列三款国产激光位移传感器满足需求在工业检测领域，量程 1 米、精度误差 1mm、频率 5KHz 以上的激光位移传感器是高端测量的刚需，而国产传感器常因精度或频率不足被进口品牌垄断。无锡泓川科技的 LTM2-800W、LTM3-800W、LTM5-800W 三款产品，不仅全面覆盖上述指标，更以进口品牌一半的成本优势，成为国产替代的优选方案。以下从性能参数、优劣分析、场景适配及成本对比展开详细介绍。一、核心性能参数对比型号LTM2-800WLTM3-800WLTM5-800W参考距离800mm800mm800mm测量范围±500mm（总量程 1000mm）±500mm（总量程 1000mm）±500mm（总量程 1000mm）光斑尺寸450×6000μm450×6000μm450×6000μm重复精度45μm45μm45μm线性误差采样频率5KHz10KHz31.25KHz工业接口485 串口 / 模拟信号（二选一）以太网 / 485 串口 / 模拟信号以太网 / 485 串口 / 模拟信号光源660nm，Max.50mW660nm，Max.50mW660nm，Max.50mW防护等级IP67IP67IP67工作温度0~+50℃0~+50℃0~+50℃功耗约 2.0W约 2.0W约 2.0W二、产品优势分析（一）...

泓川科技HC26激光位移传感器：高性价国产比替代奥泰斯CD33的优选方案 2025 - 06 - 09 在工业精密测量领域，无锡泓川科技的HC26系列激光位移传感器凭借出色的性能参数与显著的成本优势，成为替代奥泰斯CD33系列的高竞争力选择。以下从核心性能、特殊应用适配性及成本三方面进行对比分析：一、核心性能参数对标（HC26 vs CD33）参数泓川HC26系列奥泰斯CD33 (行业标准)HC26优势重复精度2μm (30mm款) → 50μm (195mm款)通常1~3μm (高端款)接近主流精度线性度±0.1%F.S.±0.05%~0.1%F.S.达到同级水平响应时间最快333μs (多档可调)通常500μs~1ms速度更快输出接口RS485(Modbus RTU)+模拟量(4-20mA/0-10V)类似接口组合同等兼容性防护等级IP67 (防尘防水)IP67/IP65同等工业防护温度特性0.05%F.S/℃0.03~0.05%F.S/℃稳定性接近注：HC26提供4种基准距离型号（30/50/85/195mm），覆盖小量程高精度（±4mm@30mm）至大量程（±99.98mm@195mm）场景，满足CD33主流应用范围。二、核心替代优势：全系支持正反射安装HC26系列所有型号均内置正反射光路设计，解决CD33在特殊材质检测中的痛点：镜面材料：通过正反射接收强光信号，避免漫反射信号微弱导致的测量失效。透明材质（如玻璃、薄...

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