参考距离:9mm
测量范围:±1.2mm
光斑直径:Φ5.5μm
测量角度:±60°
静态噪声*2:20nm
线性误差:<±0.48μm
横向分辨率:2.7μm
外径*长度:φ94*267.5mm
重量:2350g
最小可测厚度:5% of F.S.
温度特征:<0.03% of F.S./℃
防护等级:IP40
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