服务热线: 0510-88155119
13301510675@163.com
Language
产品名称:

光谱干涉_白光干涉_膜厚测量_纳米膜厚测量 白光干涉测厚传感器LT-ITS系列

上市日期: 2023-02-10

       光谱干涉测量传感器基于薄膜干涉原理,薄膜可以是透明固体、液体或由两块玻璃所夹的气体薄层。入射光经薄膜上表面反射后得第一束光,折射光经薄膜下表面反射,又经上表面折射后得第二束光,这两束光在薄膜的同侧,由同一入射光振动分出,是相干光,属分振幅干涉。当由一组波长组成的白光入射到薄膜上时,某些波长的光被增强,而某些波长的光则被减弱。通过对混合的两个波前产生的光干涉条纹进行光谱分光,测算干涉信号的频率光谱,计算解析出被测样品的厚度(或层间隙)。

Top / 精选推荐
  • 发布时间: 2023 - 12 - 09
    10kHz的超快采样速度LT-ITS采用了高亮度的彩色光源、高效率的光学镜组和高灵敏度的电子器件,能够实现行业领先的采样 速度,从而帮助客户提高测量效率和加快产线的节拍。+20nm的超高线性精度独立设计的高空间分辨率的白光干涉光学探头,能够带来极为出色的线性特性。基于干涉原理的测厚探头,无原理层面引入的非线性因素,只需要考虑光谱分析过程中的非线性误差。1nm的超高重复精度采用高灵敏度、高信噪比的元器件,同时在探头中实现内部信号数字化,大大减小了噪声干扰。同时基于干涉的测厚方式能够大大提高传感器对外部扰动的抑制能力。
  • 发布时间: 2021 - 04 - 20
    高韧性线缆,配备至机器人时也可放心使用。完全符合 IP67 标准的连接器,在潮湿或粉尘较多的现场环境中也可放心使用,传感头也完全符合 IP67 标准。光量自动调节功能,有效提高光亮调整的灵敏度,自动根据不同被测物的反光度调节激光亮度范围。定制物镜可将不规则的光束消除,同时将畸变的影响降至最低,大幅提高测量系统的线性精度。
  • 发布时间: 2023 - 09 - 10
    光栅接触式位移传感器可广泛运用于航天,机械,玻璃,汽车,轴承,冶金,塑料,化工以及科研院校等国民经济各行各业,用来测量伸长,振动,物体厚度,膨胀等的高技术产品。光栅接触式位移传感器具有优良的性能,适用于质量控制和计量应运中的高精度,高重复性的测量。输出为RS232,也可外配集线器和显示器以及控制器实现多种输出,集线器和显示器以及控制器采用12-24V供电,集线器可拼装使用,输出信号为标准的可被计算机或PLC使用的modbus输出。
  • 发布时间: 2019 - 07 - 07
    业界小型的位移传感器内置4位数显的显示器金属/塑料外壳可选分辨率:1μm
About Us
关于泓川科技
专业从事激光位移传感器,激光焊缝跟踪系统研发及销售的科技公司
中国 · 无锡 · 总部地址:无锡新吴区天山路6号
销售热线:0510-88155119 
图文传真:0510-88152650
Working Time
我们的工作时间
周一至周五:8:00-18:00
周六至周日:9:00-15:00
Shown 企业秀 More
  • 1
    2023 - 08 - 21
    摘要:本报告提出了一种利用高精度激光位移传感器测量物体振动的方案。通过测量被测物的位移量,并确定振动的时间点,可以计算出振动频率和振动模式。相比多普勒测振仪,激光位移传感器具有更低的成本,在低频范围内(1000Hz以下)可以进行振动测量。本方案详细介绍了方案设计、设备选择、实验验证以及成本核算,并通过实验数据和算法验证了方案的可行性和准确性。引言物体振动是许多领域的重要研究对象,包括机械、汽车、航空航天等。传统的多普勒测振仪可以用于高频振动测量,但其成本较高,对于低频振动测量(1000Hz以下)不适用。因此,本方案提出了一种利用高精度激光位移传感器测量物体振动的方案,以满足低频振动测量的需求。方案设计利用高精度激光位移传感器测量物体振动的方案设计如下:2.1 设备选择选择一台高精度激光位移传感器,具备以下特点:高测量精度:具备亚微米级的测量精度,满足振动测量的要求。高响应频率:能够以高速响应的方式进行位移测量,捕捉到物体振动的细微变化。宽测量范围:具备较大的测量范围,适应不同物体振动的需求。2.2 传感器布置与测量原理将激光位移传感器布置在被测物体附近,并对其进行校准和调试。在物体振动过程中,传感器测量物体的位移量。传感器工作原理基于激光光束照射到物体表面,测量光斑的位置随时间的变化,从而获得物体的位移信息。2.3 数据处理与振动频率计算根据传感器测得的位移量数据,通过数据处理和信...
  • 2
    2024 - 01 - 21
    在制造业、航空航天、光学制造等行业中,准确地测量工件表面的平整度和倾斜度对于产品质量、设备性能和工程安全至关重要。为了适应这一需求,本文将详细介绍运用高精度激光位移传感器进行非接触测量工件倾斜度的具体操作步骤、应用领域以及如何通过实例演示其测量原理和效果。首先,测量设备的配置环节。需要准备3到5个高精度激光位移传感器,并配合用于数据分析处理的微机软件。在开始测量之前,传感器需要先行进行标定,以一个已知的标准平面作为参照进行校准,并让所有传感器的数值归零。这一步骤保证了测量过程的准确性,也为后续的数据分析奠定了基础。进行实测时,将待测工件放置在需要测量的表面上。根据物体表面的倾斜情况,每个传感器所显示的数值会出现差距。后续,我们可以通过微机软件读取这些二次数据,进行处理,从而精确地得出倾斜度和平整度等参数。值得注意的是,我们选择3-5个传感器进行测量的原因是,三个传感器可以保证确定一个平面的最少需求。在成本允许的情况下,增加到五个传感器进行多点测量,可以有效提高测量的准确性和稳定性。另外,在使用过程中,对传感器的同步性有很高的要求,尤其是采样速度。最好达到5k以上,以便实时调整待测表面,使得调整结果更精准,并且满足实时性的需求。当然,高精度激光位移传感器的应用领域非常广泛。在制造业,尤其是汽车制造业和机械加工行业中,通过测量工件表面的倾斜度和平整度,可以有效进行质量控制和生产过程优化...
  • 3
    2023 - 02 - 20
    1、激光位移传感器在轮胎转速测量中有重要作用。通常,一台汽车的轮胎都包含有激光位移传感器,它可以准确地测量出车轮的输出速度。该传感器利用轮胎上绕着水平或垂直线的激光点来测量轮胎行驶距离和变速器输出转速,从而确定变速比。此外,它还能准确地测量车轮上的前后运动,特别是对于汽车行驶的直线行驶和转弯的控制都有着重要的作用。2、激光位移传感器在防撞技术中也得到了广泛应用。它通常会被安装在前脸和侧面,通过测量前脸物体和周围物体的距离来调整外防撞车身和限速 门控驾驶,从而有效地防止汽车发生碰撞,保护汽车行驶的安全。 3、激光位移传感器在停车技术中也得到了广泛应用。它不仅可以测量汽车行驶距离、角度和速度,还可以准确地记录汽车在停车时的位置,并在遇到障 害的情况下立即触发保护电路或自动脱离,从而避免发生碰撞事故。 4、激光位移传感器也被广泛用于汽车行驶辅助系统中,它可以准确地测量出汽车行驶距离、方向及车速, 为汽车驾驶员提供实时信息,以增加驾驶操控质量,帮助驾驶员进行准确的行驶安排和调整。 5、激光位移传感器也在汽车悬挂系统中得到应用,它可以测量每个车轮的距离及方向,并建立一个三维的实时图像 。这种三维的实时图像可以非常准确地反映出汽车悬挂系统的表现,从而使汽车行驶的平稳性和操控性都大大提高。6、激光位移传感器还可用于汽车智能辅助驾驶系统中, 这种系统结合了导航、安全显...
  • 4
    2023 - 09 - 16
    大家好,今天给大家详细说明下目前我们市面上用的激光位移传感器内部构造及详细原理、应用、市场种类、及未来发展,我在网上搜索了很多资料,发现各大平台或者厂商提供的信息大多千篇一律或者式只言片语,要么是之说出大概原理,要买只讲出产品应用,对于真正想了解激光位移传感器三角回差原理的朋友们来说总是没有用办法说透,我今天花点时间整理了各大平台的大牛们的解释,再结合自己对产品这么多年来的认识,整理出以下这篇文章,希望能给想要了解这种原理的小伙伴一点帮助!好了废话不多说我们直接上干货首先我们要说明市面上的激光测量位移或者距离的原理有很多,比如最常用的激光三角原理,TOF时间飞行原理,光谱共焦原理和相位干涉原理,我们今天给大家详细介绍的是激光三角测量法和激光回波分析法,激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量,而激光回波分析法则用于远距离测量,下面分别介绍激光三角测量原理和激光回波分析原理。让我们给大家分享一个激光位移传感器原理图,一般激光位移传感器采用的基本原理是光学三角法:半导体激光器:半导体激光器①被镜片②聚焦到被测物体⑥。反射光被镜片③收集,投射到CMOS阵列④上;信号处理器⑤通过三角函数计算阵列④上的光点位置得到距物体的距离。一 、激光位移传感器原理之激光三角测量法原理1.激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面,经物体反射的激光通过接收器镜头,被内部的CCD线性相机接收,根据...
  • 5
    2024 - 01 - 21
    白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备,广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理,通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光(白光)投射到待测薄膜表面上,并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射,两个反射面之间的光程差会导致不同波长(颜色)的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱,可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度测量中具有以下优势:1. 测量范围广:能够测量几微米到1mm左右范围的厚度。2. 小光斑和高速测量:采用SLD(Superluminescent Diode)作为光源,具有小光斑和高速测量的特点,能够实现快速准确的测量。下面是使用白光干涉测厚仪测量晶圆上水膜厚度的详细步骤:1. 准备工作:确保待测晶圆样品表面清洁平整,无杂质和气泡。2. 参数设置:调整白光干测厚涉仪到合适的工作模式,并确定合适的测量参数和光学系统设置。根据具体要求选择光谱范围、采集速度等参数。3. 样品放置:将待测晶圆放置在白光干涉测厚仪的测量台上,并固定好位置,使其与光学系统保持稳定的接触。确保样品与测量台平行,并避免外界干扰因素。4. 启动测量:启动白光干涉测厚仪,开始测量水膜厚度。通过记录和分析返回光的光谱,可以得到晶圆上水膜的厚度信息。可以通过软件实时显示和记录数据。5. 连续监测:对于需要连续监测晶圆上水膜厚度变...
  • 6
    2023 - 02 - 20
    相位法激光测距传感器是一种用于测量距离的传感器,它使用衰减激光来测量距离。激光在一个激光发射器中发出,并由一个接收器接收。激光发射持续一段时间,称为测量时间,根据接收信号的强度和相位推导出一般的相对距离和数据。       激光距离传感器的原理有点像各种闪烁的表盘表,只是发射的激光光源更小而且激光传播时间更短,所以更快。传感器通过测量当激光发出后多久接收到信号来测量物体之间的相对位置,也就是距离。由于抛物线和容积衰减,激光越远越弱,为了准确测量距离,必须使用准确的激光,并且随着距离的增加接收性能衰减越多,因此必须调整传感器的接收阈值,以确保可以正确测量所需的距离。       当激光被发射出去时,传感器会记录发射的时间,当激光被接收时,传感器记录激光接收的时间。然后,将发射时间和接收时间相减,就可以得到大约的信号传播时间,就可以用它来测量形成到目标物体的距离。       然而,如果电路中的任何一部分停顿,传感器就不能正确测量距离,可能会产生一些不准确的测量。因此,为了防止这种情况的发生,许多传感器使用了自适应滤波器,可以有效地滤除由尘埃、碰撞或干扰引起的杂散信号,从而确保测量准确。       相位法激光测距传感器具有较低...
  • 7
    2023 - 09 - 25
    由于半导体生产工艺的复杂性和精密性,对晶圆切割的技术要求极高,传统的机械切割方式已经无法满足现代电子行业的需求。在这种情况下,光谱共焦位移传感器配合激光隐切技术(激光隐形切割)在晶圆切割中发挥了重要作用。以下将详细介绍这种新型高效切割技术的应用案例及其优势。原理:利用小功率的激光被光谱共焦位移传感器设定的预定路径所导,聚焦在直径只有100多纳米的光斑上,形成巨大的局部能量,然后根据这个能量将晶圆切割开。光谱共焦位移传感器在切割过程中实时检测切口深度和位置,确保切口的深广和位置的精确性。激光隐切与光谱共焦位移传感器结合的应用案例:以某种先进的半导体制程为例,晶圆经过深刻蚀、清洗、扩散等步骤后,需要进行精确切割。在这个过程中,首先,工程师根据需要的切割图案在软件上设定好切割路径,然后切割机通过光谱共焦位移传感器引导激光按照预定的路径且此过程工程师可以实时观察和测量切口深度和位置。优点:这种技术最大的优势就是它能够实现超微细切割,避免了大功率激光对芯片可能会带来的影响。另外,因为切割的深度和位置可以实时调控,这 法也非常具有灵活性。同时,由于使用光谱共焦位移传感器精确控制切割的深度和位置,所以切割出来的晶圆表面平整,质量更好。总的来看,光谱共焦位移传感器配合激光隐切在晶圆切割中的应用,不仅提升了生产效率,减少了废品率,而且大幅度提升了产品质量,对于当前和未来的半导体行业都将是一个革新的技...
  • 8
    2024 - 03 - 05
    非接触式激光位移传感器在生产线上的应用具有多方面的优势,下面将从精度、速度、可靠性、灵活性和安全性等方面进行逐一分析,并通过具体的应用场景来说明其应用价值。同时,还会与传统的接触式传感器进行比较,以突显非接触式激光位移传感器的独特优势。精度:非接触式激光位移传感器采用激光三角测量法,具有极高的测量精度。例如,在半导体制造过程中,需要精确控制薄膜的厚度,非接触式激光位移传感器可以实现微米级的测量精度,从而确保产品质量。相比之下,传统接触式传感器可能会因为接触力度的不同而影响测量精度。速度:非接触式激光位移传感器具有快速响应的特点,可以在生产线上实现高速测量。例如,在包装机械中,需要实时监测包装材料的位置和速度,非接触式激光位移传感器可以迅速捕捉到这些变化,从而确保包装过程的顺利进行。而传统接触式传感器可能会因为接触摩擦等因素而影响测量速度。可靠性:非接触式激光位移传感器无需与目标物体直接接触,因此可以避免因摩擦、磨损等因素导致的传感器损坏。此外,非接触式传感器还具有较好的抗干扰能力,可以在恶劣的生产环境中稳定工作。相比之下,传统接触式传感器更容易受到环境因素的影响而出现故障。灵活性:非接触式激光位移传感器可以适应不同的测量需求,通过调整激光发射角度、接收透镜焦距等参数,可以实现不同距离、不同角度的测量。此外,非接触式传感器还可以与计算机、PLC等设备进行连接,实现自动化控制和数据处理...
Message 最新动态
在测量被透明物体覆盖的目标时,环境照明补偿和透视测量是如何帮助提高测量准确性的? 2024 - 03 - 05 在测量被透明物体覆盖的目标时,环境照明补偿和透视测量是提高测量准确性的重要手段。这些技术的应用,在智能手机等电子设备的制造过程中,具有至关重要的作用。首先,让我们来探讨一下环境照明补偿的作用。在生产线环境中,照明条件往往并不稳定,这会对测量精度产生严重影响。环境照明补偿技术通过自动调整传感器参数,以补偿外部光照条件的变化,使得测量系统能在不同的照明条件下都能保持稳定的测量性能。这就使得我们在测量被透明物体(如手机屏幕)覆盖的目标时,能够得到更为准确的结果。其次,透视测量技术则能够解决透明物体对测量造成的干扰。由于透明物体会让部分光线穿过,使得传统的测量技术难以准确捕捉目标的位置和形状。而透视测量技术则能够通过特殊的光学设计和算法处理,使得传感器能够“看透”透明物体,直接对其背后的目标进行测量。这样,我们就可以在不接触目标的情况下,对其进行准确的测量。在智能手机等电子设备的制造过程中,这两种技术都有着广泛的应用。例如,在手机屏幕的生产过程中,环境照明补偿技术可以帮助我们确保屏幕在各种光线条件下都能显示清晰。而透视测量技术则可以用于测量手机屏幕下的各种元器件,如触摸屏、摄像头等,确保它们的位置和尺寸都符合设计要求。此外,这两种技术还可以结合使用,以提高测量的精度和效率。例如,我们可以先使用透视测量技术确定目标的位置,然后使用环境照明补偿技术对其进行精确测量。这样,我们不仅可以得到更准确...
激光三角测量法是如何实现对透明物体测量的?折射率校正在这个过程中起到了什么作用? 2024 - 03 - 05 激光三角测量法:精确测量透明物体的科技新突破在精密测量领域,激光三角测量法已成为一种非常重要的技术手段。这种测量方法尤其适用于透明物体的测量,因为它可以有效地解决透明物体测量中的诸多难题。本文将详细介绍激光三角测量法的原理、步骤,以及折射率校正在此过程中所起到的关键作用。一、激光三角测量法的原理激光三角测量法是一种基于光学三角测量原理的非接触式测量方法。其基本原理是:半导体激光器发出的激光束照射在目标物体上,接收器透镜聚集目标物体反射的光线并聚焦到感光元件上。当目标物体与测量设备之间的距离发生改变时,通过接收器透镜的反射光的位置也会相应改变,光线聚焦在感光元件上的部分也会有所不同。通过精确测量这些变化,就可以得出目标物体的位移、形状等参数。二、激光三角测量法的步骤设定参照距离:首先,需要设定一个参照距离,即在此距离下,激光束与感光元件之间的位置关系已知且稳定。照射激光:然后,通过半导体激光器发出激光束,照射在待测的透明物体上。接收反射光:接收器透镜会聚集从透明物体反射回来的光线,并将其聚焦到感光元件上。分析数据:当透明物体移动或形状发生变化时,反射光在感光元件上的位置也会发生变化。通过精确分析这些变化,就可以得出透明物体的位移、形状等参数。三、折射率校正的作用在测量透明物体时,一个关键的问题是需要考虑光的折射现象。由于透明物体的折射率与空气不同,光线在从空气进入透明物体时会发生折射...
非接触式激光传感器在生产线上的应用有哪些优势? 2024 - 03 - 05 非接触式激光位移传感器在生产线上的应用具有多方面的优势,下面将从精度、速度、可靠性、灵活性和安全性等方面进行逐一分析,并通过具体的应用场景来说明其应用价值。同时,还会与传统的接触式传感器进行比较,以突显非接触式激光位移传感器的独特优势。精度:非接触式激光位移传感器采用激光三角测量法,具有极高的测量精度。例如,在半导体制造过程中,需要精确控制薄膜的厚度,非接触式激光位移传感器可以实现微米级的测量精度,从而确保产品质量。相比之下,传统接触式传感器可能会因为接触力度的不同而影响测量精度。速度:非接触式激光位移传感器具有快速响应的特点,可以在生产线上实现高速测量。例如,在包装机械中,需要实时监测包装材料的位置和速度,非接触式激光位移传感器可以迅速捕捉到这些变化,从而确保包装过程的顺利进行。而传统接触式传感器可能会因为接触摩擦等因素而影响测量速度。可靠性:非接触式激光位移传感器无需与目标物体直接接触,因此可以避免因摩擦、磨损等因素导致的传感器损坏。此外,非接触式传感器还具有较好的抗干扰能力,可以在恶劣的生产环境中稳定工作。相比之下,传统接触式传感器更容易受到环境因素的影响而出现故障。灵活性:非接触式激光位移传感器可以适应不同的测量需求,通过调整激光发射角度、接收透镜焦距等参数,可以实现不同距离、不同角度的测量。此外,非接触式传感器还可以与计算机、PLC等设备进行连接,实现自动化控制和数据处理...
Copyright ©2005 - 2013 无锡泓川科技有限公司

1

犀牛云提供企业云服务
Our Link
X
3

SKYPE 设置

4

阿里旺旺设置

等待加载动态数据...

等待加载动态数据...

5

电话号码管理

  • 0510-88155119
6

二维码管理

等待加载动态数据...

等待加载动态数据...

展开