标题：光谱共焦位移传感器：实现非接触测量的无影响性能摘要：光谱共焦位移传感器是一种先进的测量设备，利用共焦技术和光谱分析相结合，能够实现对被测物体的非接触测量，并且不受被测物体材质、颜色、透明度、反光度等因素的影响。本文将详细介绍光谱共焦位移传感器的原理和优越性，展示它在各个领域...
在高精度的生产工序中，薄膜偏差是一项极为重要的控制指标。由于微观材料结构的敏感性，稍有偏差就可能会导致产品的细微变形，从而引发性能下降、使用寿命缩短等一系列问题。因此，对薄膜偏差的精确检测与实时调控具有至关重要的意义。对于这样的需求，光谱共焦位移传感器便能发挥出它重要的作用。通过...
由于半导体生产工艺的复杂性和精密性，对晶圆切割的技术要求极高，传统的机械切割方式已经无法满足现代电子行业的需求。在这种情况下，光谱共焦位移传感器配合激光隐切技术（激光隐形切割）在晶圆切割中发挥了重要作用。以下将详细介绍这种新型高效切割技术的应用案例及其优势。原理：利用小功率的激光...
在真空环境下应用光谱共焦位移传感器的可行性一直是一个备受关注的问题。真空环境的特殊性决定了对传感器的要求与常规环境有所不同。本篇文章将围绕真空环境下光谱共焦位移传感器的应用可行性展开讨论，并进一步深入探讨传感器在不同真空环境下的要求和变化。首先，真空环境下的应用对传感器的热产生要...
2.0/4.5mm透明玻璃测厚，使用C10000探头，放置在二维工作台上记录左右移动的极差范围，如下表：测量方案：运动机构控制探头沿内壁进行扫描，通过运动机构编码器触发控制器采样，获取待测点位置数据和高度数据（即探头测量值），对扫描得到的轮廓进行计算分析，得到粗糙度。风险项：1....
细说光谱共焦传感器相对三角回差原理激光位移传感器的优点 更小的测量盲区:同轴式测量配置， 避免了激光三角传感器的角度限制， 缩小测量盲区，适合复杂细微结构（如深沟槽结构等） 的测量。更高精度的尺寸及位移复现能力。 ...
在超高精密加工中，在线测量(OMM)系统是实现高效轮廓补偿和改善加工条件的有效装置。在此，我们报告了一个新的OMM系统与共焦彩色探针在五轴超高精密机床上构造使用实时位置捕获方法。使用个人计算机同步捕获探头和机床位置，以产生轮廓测量数据。长期和短期稳定性、微阶跃响应和重复性测试表明...
摘要:为了实现50nm左右回转误差测量，设计了一种新型非接触式测量系统，该系统采用光谱共焦位移传感器，通过反向法获得回转轴系径向回转误差、标准球圆度误差。标准球圆度误差测量值与标称值的最大差值为5nm，表明该测量系统的测量精度能够满足设计要求。关键词:回转误差;光谱共焦位移传感器...
摘要:为了提高加工检测效率，实现尺寸形位公差与微观轮廓的同平台测量，提出一种基于光谱共焦位移传感器在现场坐标测量平台上集成表面粗糙度测量的方法。搭建实验测量系统且在Lab VIEW平台上开发系统的硬件通讯控制模块，并配套了高斯轮廓滤波处理及表面粗糙度的评价环境，建立了非接触的表面...