在超高精密加工中,在线测量(OMM)系统是实现高效轮廓补偿和改善加工条件的有效装置。在此,我们报告了一个新的OMM系统与共焦彩色探针在五轴超高精密机床上构造使用实时位置捕获方法。使用个人计算机同步捕获探头和机床位置,以产生轮廓测量数据。长期和短期稳定性、微阶跃响应和重复性测试表明...
摘要:为了实现50nm左右回转误差测量,设计了一种新型非接触式测量系统,该系统采用光谱共焦位移传感器,通过反向法获得回转轴系径向回转误差、标准球圆度误差。标准球圆度误差测量值与标称值的最大差值为5nm,表明该测量系统的测量精度能够满足设计要求。关键词:回转误差;光谱共焦位移传感器...
摘要:为了提高加工检测效率,实现尺寸形位公差与微观轮廓的同平台测量,提出一种基于光谱共焦位移传感器在现场坐标测量平台上集成表面粗糙度测量的方法。搭建实验测量系统且在Lab VIEW平台上开发系统的硬件通讯控制模块,并配套了高斯轮廓滤波处理及表面粗糙度的评价环境,建立了非接触的表面...
光谱共焦传感器可以提供结合最高精度和高速的最新现代技术。这些特性使这些多功能距离和位移传感器非常适合工业 4.0 的高要求。在工业 4.0 的世界中,传感器必须能够进行高速测量并提供高精度结果,以确保可靠的质量保证。光学测量技术是非接触式的,独立于目标材料和表面特性,因此它们对生...