摘要光谱共焦位移传感器是一种高精度、非接触式的光电位移传感器，广泛应用于光学镜片检测、半导体制造、医疗器械生产等多个领域。本文详细阐述了光谱共焦位移传感器的制造技术，包括生产技术细节、工艺流程以及需要注意的具体事项，为相关领域的研发和生产提供参考。引言随着精密仪器制造业的发展，对...
摘要随着3D曲面玻璃在智能手机、平板电脑等电子产品中的广泛应用，对其弧高、平面厚度及平面度的精确测量成为保证产品质量和用户体验的关键。本文详细介绍了一种基于白光光谱共焦位移传感器的高精度测量方法，该方法结合移动扫描机构、视觉定位系统及先进的数据处理算法，实现了对3D玻璃弧高的快速...
摘要 本文针对微小筒状工件（直径4毫米，内径3毫米，深度4毫米）的深度及底部厚度测量问题，提出了一种基于光谱共焦位移传感器的双头对射测量方法。该方法有效解决了传统激光三角位移传感器因筒状结构导致的回光遮挡问题。然而，工件表面的镀膜工艺（厚度5~10微米）对测量精度提出...
在现代电子工业中，三防漆作为一种重要的防护材料，被广泛应用于PCB线路板的保护。三防漆的厚度控制直接关系到产品的性能与可靠性。然而，三防漆的厚度通常非常薄，一般在50微米到200微米之间，甚至更薄，这对测量技术提出了极高的要求。本文将详细介绍如何利用光谱共焦位移传感器实现三防漆厚...
在当今精密制造与检测领域，对微小尺寸变化的精确测量需求日益增长。特别是在半导体制造、微纳加工、光学元件检测等高端应用中，对测量误差的严格要求往往达到纳米级。面对这一挑战，国内自主研发的LTC100光谱共焦位移传感器以其卓越的性能脱颖而出，不仅实现了30nm以下的测量误差，还保证了...
摘要在精密制造业中，陶瓷材料的平面度控制是确保产品质量的关键环节之一，尤其是对于直径达200mm的圆形陶瓷表面。本文旨在探讨利用光谱共焦位移传感器进行高精度平面度测量的方法，通过详细阐述测量原理、设备选择、实验设计、数据处理及误差分析，展示该技术在陶瓷圆盘表面平面度评估中的优越性...
摘要本文介绍了一种利用单点光谱共焦位移传感器结合高精度三维扫描移动平台，对晶圆表面进行全面扫描检测的方法。该方法旨在以较低的成本实现高精度表面瑕疵与加工精度的检测，特别适用于对表面质量要求极高的半导体制造行业。通过详细阐述测量原理、系统构成、操作步骤及数据分析方法，本文展示了该技...
在现代化工业生产中，确保每一个零部件的精确性是实现产品高质量、高性能的基石。特别是在电动工具领域，按钮配件的行程精度直接关系到工具的操作体验、安全性能及使用寿命。传统检测方法虽能基本满足需求，但在追求极致精度的今天，其局限性日益凸显。本文将以一次针对电动工具按钮配件行程检测的技术...
光谱共焦位移传感器是一种利用光谱干涉测量物体位移和形变的高精度测量设备。为了确保测量的准确性和稳定性，暗校准（DARK）操作的执行及其有效掌握是至关重要的。首先，我们需要明确什么时候需要进行暗校准。主要场景包括系统重新连接、环境温度变动10℃以上以及传感器图像出现异常跳动起伏等情...
表面粗糙度是描述表面微观轮廓的基本参数，对于评价产品性能至关重要。在机械加工、薄膜制备、微纳机电系统以及光学精密加工等领域，表面粗糙度是评价产品性能的重要指标之一。为了提高加工检测效率，实现尺寸形位公差与微观轮廓的同平台测量，本文提出一种基于光谱共焦位移传感器的在线集成表面粗糙度...