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白光干涉测厚传感器在晶圆水膜厚度测量中的应用及操作步骤详解

2024 - 01 - 21

白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备，广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理，通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光（白光）投射到待测薄膜表面上，并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射，两个反射面之间的光程差会导致不同波长（颜色）的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱，可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度测量中具有以下优势：1. 测量范围广：能够测量几微米到1mm左右范围的厚度。2. 小光斑和高速测量：采用SLD（Superluminescent Diode）作为光源，具有小光斑和高速测量的特点，能够实现快速准确的测量。下面是使用白光干涉测厚仪测量晶圆上水膜厚度的详细步骤：1. 准备工作：确保待测晶圆样品表面清洁平整，无杂质和气泡。2. 参数设置：调整白光干测厚涉仪到合适的工作模式，并确定合适的测量参数和光学系统设置。根据具体要求选择光谱范围、采集速度等参数。3. 样品放置：将待测晶圆放置在白光干涉测厚仪的测量台上，并固定好位置，使其与光学系统保持稳定的接触。确保样品与测量台平行，并避免外界干扰因素。4. 启动测量：启动白光干涉测厚仪，开始测量水膜厚度。通过记录和分析返回光的光谱，可以得到晶圆上水膜的厚度信息。可以通过软件实时显示和记录数据。5. 连续监测：对于需要连续监测晶圆上水膜厚度变...
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泓川科技LTC2600与基恩士CL-P015光谱共焦传感器全方位对比及国产替代

2025 - 03 - 22

一、核心性能参数对比：精度与场景适配性参数泓川科技LTC2600（标准版）泓川LTC2600H（定制版）基恩士CL-P015（标准版）参考距离15 mm15 mm15 mm测量范围±1.3 mm±1.3 mm±1.3 mm光斑直径9/18/144 μm（多模式）支持定制（最小φ5 μm）ø25 μm（单点式）重复精度50 nm50 nm100 nm线性误差±0.49 μm（标准模式）分辨率0.03 μm0.03 μm0.25 μm（理论值）防护等级IP40IP67（定制）IP67耐温范围0°C ~ +50°C-20°C ~ +200°C（定制）0°C ~ +50°C真空支持不支持支持（10^-3 Pa，定制）支持（10^-6 Pa，标准版）重量228 g250 g（高温版）180 g性能深度解析精度碾压：LTC2600的重复精度（50 nm）显著优于CL-P015（100 nm），线性误差（光斑灵活性：LTC2600支持多光斑模式（最小φ5 μm定制），可兼顾微小目标检测与粗糙面稳定性；CL-P015仅提供单点式光斑（ø25 μm），适用场景受限。环境适应性：CL-P015标准版支持超高真空（10^-6 Pa），但C2600通过...
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激光测量技术在（ADAS）驾驶辅助系统的应用案例（一）

2025 - 01 - 16

一、引言1.1 研究背景与目的在汽车行业迈向智能化与自动化的进程中，先进驾驶辅助系统（ADAS）作为关键技术，正发挥着愈发重要的作用。ADAS 凭借多种传感器与智能算法，能够实时监测车辆周边环境，为驾驶员提供预警与辅助控制，极大地提升了驾驶的安全性与舒适性。本报告旨在深入剖析《ADAS 相关工具核心功能 & 技术》中所涉及的 ADAS 相关工具应用案例，通过详细描述各案例的具体应用场景、工作原理及达成的效果，深度挖掘这些工具在汽车制造及 ADAS 系统开发过程中的重要价值，为行业内相关人员提供具有实际参考意义的信息，助力推动 ADAS 技术的进一步发展与广泛应用。 1.2 研究方法与数据来源本报告通过对《ADAS 相关工具核心功能 & 技术》进行全面细致的整理与深入分析，从中系统地提取出各类 ADAS 相关工具的应用案例。在分析过程中，对每个案例的技术原理、应用场景以及所实现的功能进行了详细阐述，并结合实际情况进行了深入探讨。本文所引用的 ADAS 相关工具的应用案例及技术原理均来自《ADAS 相关工具核心功能 & 技术》文档，该文档为此次研究提供了丰富且详实的一手资料，确保了研究的准确性与可靠性。二、车载相机应用案例剖析2.1 底部填充胶涂抹高度测量2.1.1 案例描述在汽车电子制造中，车载相机的底部填充胶涂抹高度对于确保相机的...
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激光位移传感器如何对薄膜进行测厚？

2023 - 03 - 09

激光位移传感器被广泛应用于各种领域中。其中一个很有用的应用是测量薄膜厚度。这种传感器可以在离表面很近的距离下进行高精度测量，因此非常适合这种应用。本文将介绍激光位移传感器如何用于测量薄膜厚度，包括测量方法、测量原理和市场应用。一、测量方法测量薄膜厚度的基本思路是利用激光位移传感器测量薄膜前后表面的距离差，然后通过几何公式计算出薄膜厚度。在实际操作中，测量方法大致可分为以下几种：1. 手持式测量手持式测量通常用于快速的现场检测。用户只需要将激光位移传感器靠近待测表面，然后通过读取显示屏上的数值判断薄膜厚度是否符合要求。这种方法不需要复杂的设备和步骤，非常易于使用。但是由于人手的震动和误差等因素，手持式测量的精度相对较低，只适用于需求不是特别高的场合。2. 自动化在线测量自动化在线测量一般用于工业生产线上的质量控制。这种方法需要将激光位移传感器与自动化设备相连接，将测量数据传递给计算机进行分析。在这种情况下，测量过程可以完全自动化，精度也可以得到保证。但是相对于手持式测量来说，这种方法需要的设备和技术要求更高，成本也更高。3. 显微镜下测量显微镜下测量常用于对细小薄膜厚度的测量。在这种情况下，用户需要将激光位移传感器与显微镜相结合进行测量。由于显微镜的存在，可以大大增强测量精度。但是相对于其他两种方法，这种方法需要的设备更多，并且技巧要求也更高。二、测量原理激光位移传感器利用的是激光三...
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光学传感器：薄膜涂布生产工艺的革新驱动力（下）

2025 - 01 - 14

四、光学传感器应用对薄膜涂布生产的影响4.1 提升生产效率4.1.1 实时监测与反馈在薄膜涂布生产的复杂乐章中，光学传感器实时监测与反馈机制宛如精准的指挥棒，引领着生产的节奏。凭借其卓越的高速数据采集能力，光学传感器能够如同闪电般迅速捕捉涂布过程中的关键参数变化。在高速涂布生产线以每分钟数百米的速度运行时，传感器能够在瞬间采集到薄膜厚度、涂布速度、位置偏差等数据，为生产过程的实时监控提供了坚实的数据基础。这些采集到的数据如同及时的情报，被迅速传输至控制系统。控制系统则如同智慧的大脑，对这些数据进行深入分析。一旦发现参数偏离预设的理想范围，控制系统会立即发出指令，如同指挥官下达作战命令，对涂布设备的相关参数进行精准调整。当检测到薄膜厚度略微超出标准时，控制系统会迅速调整涂布头的压力，使涂布量精确减少，确保薄膜厚度回归正常范围。这种实时监测与反馈机制的存在，使得生产过程能够始终保持在最佳状态。它避免了因参数失控而导致的生产中断和产品质量问题，如同为生产线安装了一个智能的 “稳定器”。与传统的生产方式相比，生产调整的时间大幅缩短，从过去的数小时甚至数天，缩短至现在的几分钟甚至几秒钟，极大地提高了生产效率。4.1.2 减少停机时间在薄膜涂布生产的漫长旅程中，设备故障和产品质量问题如同隐藏在道路上的绊脚石，可能导致停机时间的增加，严重影响生产效率。而光学传感器的实时监测功能，就像一位警惕的卫...
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光谱共焦传感器在激光隐切技术（激光隐形切割）晶圆切割中发挥了哪些作用？

2023 - 09 - 25

由于半导体生产工艺的复杂性和精密性，对晶圆切割的技术要求极高，传统的机械切割方式已经无法满足现代电子行业的需求。在这种情况下，光谱共焦位移传感器配合激光隐切技术（激光隐形切割）在晶圆切割中发挥了重要作用。以下将详细介绍这种新型高效切割技术的应用案例及其优势。原理：利用小功率的激光被光谱共焦位移传感器设定的预定路径所导，聚焦在直径只有100多纳米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后根据这个能量将晶圆切割开。光谱共焦位移传感器在切割过程中实时检测切口深度和位置，确保切口的深广和位置的精确性。激光隐切与光谱共焦位移传感器结合的应用案例：以某种先进的半导体制程为例，晶圆经过深刻蚀、清洗、扩散等步骤后，需要进行精确切割。在这个过程中，首先，工程师根据需要的切割图案在软件上设定好切割路径，然后切割机通过光谱共焦位移传感器引导激光按照预定的路径且此过程工程师可以实时观察和测量切口深度和位置。优点：这种技术最大的优势就是它能够实现超微细切割，避免了大功率激光对芯片可能会带来的影响。另外，因为切割的深度和位置可以实时调控，这法也非常具有灵活性。同时，由于使用光谱共焦位移传感器精确控制切割的深度和位置，所以切割出来的晶圆表面平整，质量更好。总的来看，光谱共焦位移传感器配合激光隐切在晶圆切割中的应用，不仅提升了生产效率，减少了废品率，而且大幅度提升了产品质量，对于当前和未来的半导体行业都将是一个革新的技...
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非接触式激光传感器在生产线上的应用有哪些优势？

2024 - 03 - 05

非接触式激光位移传感器在生产线上的应用具有多方面的优势，下面将从精度、速度、可靠性、灵活性和安全性等方面进行逐一分析，并通过具体的应用场景来说明其应用价值。同时，还会与传统的接触式传感器进行比较，以突显非接触式激光位移传感器的独特优势。精度：非接触式激光位移传感器采用激光三角测量法，具有极高的测量精度。例如，在半导体制造过程中，需要精确控制薄膜的厚度，非接触式激光位移传感器可以实现微米级的测量精度，从而确保产品质量。相比之下，传统接触式传感器可能会因为接触力度的不同而影响测量精度。速度：非接触式激光位移传感器具有快速响应的特点，可以在生产线上实现高速测量。例如，在包装机械中，需要实时监测包装材料的位置和速度，非接触式激光位移传感器可以迅速捕捉到这些变化，从而确保包装过程的顺利进行。而传统接触式传感器可能会因为接触摩擦等因素而影响测量速度。可靠性：非接触式激光位移传感器无需与目标物体直接接触，因此可以避免因摩擦、磨损等因素导致的传感器损坏。此外，非接触式传感器还具有较好的抗干扰能力，可以在恶劣的生产环境中稳定工作。相比之下，传统接触式传感器更容易受到环境因素的影响而出现故障。灵活性：非接触式激光位移传感器可以适应不同的测量需求，通过调整激光发射角度、接收透镜焦距等参数，可以实现不同距离、不同角度的测量。此外，非接触式传感器还可以与计算机、PLC等设备进行连接，实现自动化控制和数据处理...
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泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 国产激光位移传感器替代进口基恩士 IL-S025 的技术可行性研究

2025 - 03 - 27

1. 引言在工业自动化领域，激光位移传感器是实现高精度非接触测量的核心器件。基恩士 IL-S025 作为市场主流产品，以其 1μm 重复精度和稳定性能著称。然而，随着国产传感器技术的突破，泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 型号凭借更高的性能参数和经济性，为用户提供了新的选择。本文将从技术参数、性能表现、应用场景等方面，深入对比分析两者的替代可行性。 2. 核心技术参数对比参数基恩士 IL-S025泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W对比结论重复精度1μm0.25μm（LTM3-030）/ 0.25μm（LTM3-030W）LTM3 系列更优（4 倍精度提升）线性误差±0.075% F.S.（±5mm 范围）LTM3-030W 更优（接近 IL-S025）测量范围±5mm（参考距离 25mm）±5mm（参考距离 30mm）等效采样频率3kHz（采样周期 0.33ms）10kHzLTM3 系列更优（3倍速度提升）光斑尺寸25×1200μm（线性光斑）Φ35μm（M3-030）/ Φ35×400μm（M3-030W）LTM3 系列光斑更小（点光斑更聚焦）光源类型660nm 激光（Class 2）655nm 激光（Class 2）等效接口配置需外接放大器单元（支持 EtherNet/IP 等）...

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泓川科技 LTP 系列激光位移传感器全国产化制造流程细节全披露 2025 - 06 - 22 一、国产化背景与战略意义在全球供应链竞争加剧的背景下，激光位移传感器作为工业自动化核心测量部件，其国产化生产对打破技术垄断、保障产业链安全具有重要战略意义。泓川科技 LTP 系列依托国内完整的光学、电子、机械产业链体系，实现了从核心零部件到整机制造的全流程国产化，彻底解决了接口卡脖子问题，产品精度与稳定性达到国际先进水平，同时具备更强的成本竞争力与定制化服务能力。二、核心部件全国产化组成体系（一）光学系统组件激光发射单元激光二极管：采用深圳镭尔特光电 655nm 红光 PLD650 系列（功率 0.5-4.9mW）及埃赛力达 905nm 红外三腔脉冲激光二极管，支持准直快轴压缩技术，波长稳定性 ±0.1nm，满足工业级高稳定性需求。准直透镜：选用杭州秋籁科技 KEWLAB CL-UV 系列，表面粗糙度光学滤光片：深圳激埃特光电定制窄带滤光片，红外截止率 99.9%，有效消除环境光干扰。激光接收单元光电探测器：上海欧光电子代理 OTRON 品牌 PSD 位置敏感探测器，分辨率达 0.03μm（如 LTPD08 型号），北京中教金源量子点探测器正在实现自主替代。聚焦透镜组：福州合创光电高精度分光棱镜，偏振消光比 1000:1，配合广州明毅电子阳极氧化支架，确保光路同轴度≤5μm。（二）电子电路组件信号处理模块微处理器：龙芯中科 3A5000 工业级芯片，支持 - 40℃...

有没有量程1米，测量精度误差1mm的国产激光位移传感器，频率5Khz以上？ 2025 - 06 - 19 有！LTM 系列三款国产激光位移传感器满足需求在工业检测领域，量程 1 米、精度误差 1mm、频率 5KHz 以上的激光位移传感器是高端测量的刚需，而国产传感器常因精度或频率不足被进口品牌垄断。无锡泓川科技的 LTM2-800W、LTM3-800W、LTM5-800W 三款产品，不仅全面覆盖上述指标，更以进口品牌一半的成本优势，成为国产替代的优选方案。以下从性能参数、优劣分析、场景适配及成本对比展开详细介绍。一、核心性能参数对比型号LTM2-800WLTM3-800WLTM5-800W参考距离800mm800mm800mm测量范围±500mm（总量程 1000mm）±500mm（总量程 1000mm）±500mm（总量程 1000mm）光斑尺寸450×6000μm450×6000μm450×6000μm重复精度45μm45μm45μm线性误差采样频率5KHz10KHz31.25KHz工业接口485 串口 / 模拟信号（二选一）以太网 / 485 串口 / 模拟信号以太网 / 485 串口 / 模拟信号光源660nm，Max.50mW660nm，Max.50mW660nm，Max.50mW防护等级IP67IP67IP67工作温度0~+50℃0~+50℃0~+50℃功耗约 2.0W约 2.0W约 2.0W二、产品优势分析（一）...

泓川科技HC26激光位移传感器：高性价国产比替代奥泰斯CD33的优选方案 2025 - 06 - 09 在工业精密测量领域，无锡泓川科技的HC26系列激光位移传感器凭借出色的性能参数与显著的成本优势，成为替代奥泰斯CD33系列的高竞争力选择。以下从核心性能、特殊应用适配性及成本三方面进行对比分析：一、核心性能参数对标（HC26 vs CD33）参数泓川HC26系列奥泰斯CD33 (行业标准)HC26优势重复精度2μm (30mm款) → 50μm (195mm款)通常1~3μm (高端款)接近主流精度线性度±0.1%F.S.±0.05%~0.1%F.S.达到同级水平响应时间最快333μs (多档可调)通常500μs~1ms速度更快输出接口RS485(Modbus RTU)+模拟量(4-20mA/0-10V)类似接口组合同等兼容性防护等级IP67 (防尘防水)IP67/IP65同等工业防护温度特性0.05%F.S/℃0.03~0.05%F.S/℃稳定性接近注：HC26提供4种基准距离型号（30/50/85/195mm），覆盖小量程高精度（±4mm@30mm）至大量程（±99.98mm@195mm）场景，满足CD33主流应用范围。二、核心替代优势：全系支持正反射安装HC26系列所有型号均内置正反射光路设计，解决CD33在特殊材质检测中的痛点：镜面材料：通过正反射接收强光信号，避免漫反射信号微弱导致的测量失效。透明材质（如玻璃、薄...

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