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光谱共焦位移传感器制造技术详解

2024 - 12 - 11

摘要光谱共焦位移传感器是一种高精度、非接触式的光电位移传感器，广泛应用于光学镜片检测、半导体制造、医疗器械生产等多个领域。本文详细阐述了光谱共焦位移传感器的制造技术，包括生产技术细节、工艺流程以及需要注意的具体事项，为相关领域的研发和生产提供参考。引言随着精密仪器制造业的发展，对于工业生产测量的要求越来越高。光谱共焦位移传感器以其高精度、非接触式、实时无损检测等特性，成为解决这一问题的有效手段。本文旨在详细介绍光谱共焦位移传感器的制造技术，包括关键零部件的选择、生产工艺流程以及制造过程中需要注意的事项。一、光谱共焦位移传感器的基本原理光谱共焦位移传感器由光源、分光镜、光学色散镜头组、小孔以及光谱仪等部分组成。传感器通过色散镜头将位移信息转换成波长信息，再利用光谱仪进行光谱分解，反解得出被测位移。其中，色散镜头作为光学部分完成了波长和位移的一一映射，是传感器的核心部件。二、关键零部件的选择1. 光源选择白光LED作为光源，其光谱分布范围广泛，能够满足不同测量需求。同时，白光LED具有寿命长、稳定性好等优点，适合用于工业生产环境。2. 色散镜头色散镜头是光谱共焦位移传感器的关键部件，其性能直接影响传感器的测量精度和分辨率。在选择色散镜头时，需要考虑其轴向色散与波长之间的线性度、色散范围以及镜头材料等因素。3. 光谱仪光谱仪用于接收通过小孔的光信号，并确定其波长，从而实现位移分辨。在选择...
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国产替代深度解析：泓川科技 HC8-050 与松下 HG-C1050 激光位移传感器的技术对比与应用价值

2025 - 04 - 13

在工业自动化领域，精密测量是保障产品质量与生产效率的核心环节。泓川科技 HC8-050 与松下 HG-C1050 作为两款主流的中短距离激光位移传感器，在电子制造、精密加工、自动化检测等领域应用广泛。本文将从技术参数、核心性能、应用场景等维度展开深度对比，揭示 HC8-050 在特定场景下的显著优势及高性价比。一、基础技术参数：精准定位性能差异参数HC8-050HG-C1050差异分析测量范围50±15mm（35-65mm）50±15mm（35-65mm）两者一致，覆盖中短距离精密测量场景。重复精度15μm30μmHC8-050 的重复精度比 HG-C1050 提升 50%，适用于对微小位移敏感的精密检测（如芯片封装、精密轴承测量）。光点直径70μm约 70μm光斑尺寸相同，但 HC8-050 通过光学优化，在低反射率表面的光斑识别能力更强。线性度±0.1%F.S.±0.1%F.S.线性度一致，满足工业级测量精度要求。温度特性±0.05%F.S/℃±0.03%F.S/℃HG-C1050 理论温漂略优，但 HC8-050 通过硬件散热与软件温补算法，实际在高温环境（如 80℃）下稳定性更优。工作温度-10~50℃（支持 80℃长期使用）-10~45℃HC8-050 突破行业常规，通过特殊设计可在 80℃高温环境稳定运行，而 ...
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光谱共焦传感器在IC芯片测量领域的应用剖析（上）

2025 - 01 - 20

一、引言1.1 研究背景与意义在当今数字化时代，IC 芯片作为现代电子设备的核心部件，其重要性不言而喻。从智能手机、电脑到汽车电子、工业控制，乃至新兴的人工智能、物联网等领域，IC 芯片无处不在，如同电子设备的 “大脑”，掌控着设备的运行与功能实现。其发展水平不仅是衡量一个国家科技实力的重要标志，更在全球经济竞争中占据着关键地位。近年来，IC 芯片产业呈现出蓬勃发展的态势。随着摩尔定律的持续推进，芯片的集成度不断提高，尺寸愈发微小，性能却实现了质的飞跃。与此同时，5G、人工智能、大数据等新兴技术的迅猛发展，为 IC 芯片产业注入了强大的发展动力，市场对芯片的需求呈现出爆发式增长。在 IC 芯片制造的复杂流程中，精确测量起着举足轻重的作用，如同工匠手中精准的量具，确保每一个环节都达到极高的精度标准。从芯片设计阶段的版图测量，到制造过程中的光刻、蚀刻、沉积等工艺的尺寸控制，再到封装测试阶段对芯片外形、引脚等的精确测量，每一步都离不开高精度测量技术的支撑。只有通过精确测量，才能保证芯片的性能、良率以及可靠性，满足市场对高质量芯片的严苛要求。光谱共焦传感器作为一种先进的测量技术，凭借其独特的工作原理和卓越的性能优势，在 IC 芯片测量领域展现出了巨大的潜力。它能够实现对芯片表面形貌、厚度、尺寸等参数的高精度非接触测量，为芯片制造提供了可靠的数据支持。这种高精度测量对于提高芯片制造工艺的精度...
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泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览

2025 - 09 - 05

高精度测量传感器全系列：赋能精密制造，适配多元检测需求聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点，我们推出全系列高性能测量传感器，覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景，以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心，为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍：1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器：半导体材料测厚专属核心用途：专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料设计，精准实现晶圆等器件的厚度测量。性能优点：精度卓越：±0.1μm 线性精度 + 2nm 重复精度，确保测量数据稳定可靠；量程适配：覆盖 10μm2mm 测厚范围，满足多数半导体材料检测需求；高效高速：40kHz 采样速度，快速捕捉厚度数据，适配在线检测节奏；灵活适配：宽范围工作距离设计，可灵活匹配不同规格的检测设备与场景。2. 分体式对焦传感器：半导体 / 面板缺陷检测的 “高速对焦助手”核心用途：针对半导体、面板领域的高精度缺陷检测场景，提供高速实时对焦支持，尤其适配显微对焦类检测设备。性能优点：对焦速度快：50kHz 高速对焦，同步匹配缺陷检测的实时性需求；对焦精度高：0.5μm 对焦精度，保障缺陷成像清晰、检测无偏差；设计灵活：分体式结构，可根据检测设备的安装空间与布局灵活调整，降低适配难度。3. LT-R 反射膜厚仪：极薄膜厚检测的 “精密管家”核心用途：专注于极薄膜...
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电容式传感器的基本原理与特性

2022 - 12 - 05

今天我们来讲一下电容式传感器的原理，首先什么是电容传感器呢？电容传感器主要是一种开关传感器，可以检测活动区附近的材料因为这些材料会影响电场。现在您可以通过一些简短的动画进行了解。电容式传感器的主要优势，他们完全不受材料的颜色，表面特性的影响。在某些条件下甚至可以透壁检测。并且对空气中的污染物不灵敏，例如灰尘，另外重要的一点是，他们工作是完全不受任何类型背景光的影响。那么在使用电容式传感器时应该考虑哪些方面呢？首先要考虑的是所检测物体的湿度或者尺寸可能发生变化。还需要考虑一些典型的开关频率。当然您还需要关注激光位移传感器之间的距离。最重要的一点是激光位移传感器开关距离以及特定材料的绝缘常量。关于电容式传感器，我们还需要来了解哪些其他方面呢？它有三个主要的应用领域，首先是容量控制，这里可以看到一个简单的图片，也是包装行业的一个事例，图中的两个传感器底部和顶部各有一个。可用于检测罐装高度的高位和低位，从而开始和停止估计流程，另外一个主要应用领域是内装物控制在这个图片里，你可以看到典型的就是检测牛奶或者一些食品的人，物体内部包装的产品的容量，检测各个包装中是否存在冲突，这里电容式传感器的用处是最后一个应用是主要应用在状态控制，图中的只是可以看到这里是通过太阳能行业的一个示例，来了解电...
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高精度激光位移传感器在桥梁结构监控中的关键应用

2024 - 01 - 21

保障桥梁的安全运行与结构稳定性是城市交通安全的重要链接，而高精度激光位移传感器正是完成此项任务的关键装备之一。在桥梁结构监测中，它们凭借其非接触式高精度测量原理，对桥梁的位移、变形、振动等关键参数进行实时监测，为桥梁健康管理提供重要依据。首先，在桥梁的挠度和变形监测中，激光位移传感器扮演着非常重要的角色。通过将传感器安装在结构的关键位置，可以实时地观察并记录桥梁的挠度、沉降和扭曲等变化情况，这些数据能够提供对桥梁健康状况的即时反馈，帮助维修人员及时发现并对异常变形现象进行处理。其次，激光位移传感器还能作为振动监测工具，为桥梁的刚度和自然频率评估提供重要依据。该传感器通过测量桥梁的振频、振型和振幅等参数，可以生成宝贵的结构振动数据。在桥梁出现异常振动现象时，它们可以实时检测并发出预警信号，为桥梁维护人员提供对策指引，确保桥梁的安全使用。最后，激光位移传感器在桥梁结构损伤检测与诊断中也展现出重要的价值。通过对激光位移传感器采集到的振动信号进行分析，可以提取出桥梁的频率响应函数和模态特征等关键信息。进一步地，这些特征可以与桥梁设计时的标准特征进行对比，以检测桥梁是否存在损伤或疲劳等问题。这也使得激光位移传感器能够在桥梁微小的结构变化初始阶段就进行预警和诊断，从而帮助维护人员采取及时的维修或加固措施，有效延长桥梁的使用寿命。总体来看，高精度激光位移传感器在桥梁结构监控中起关键作用。无论是挠...
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泓川科技LTM3/LTM5 激光位移传感器重塑网口TCP/IP通讯测量生态-从高速通讯到智能交互的全维度突破

2025 - 05 - 13

一、破局万元壁垒：3000-4000 元网口传感器开启普惠智能时代在工业传感器领域，具备以太网（网口）输出功能的激光位移传感器长期被海外品牌以万元价格垄断，成为自动化升级的 “卡脖子” 环节。无锡泓川科技携LTM3（10kHz 采样）与 LTM5（31.25kHz 超高速采样）系列强势破局，以3000-4000 元核心定价，将高精度网口测量设备从 “奢侈品” 变为 “工业标配”，让中小企业也能畅享高速通讯与智能测控的双重红利。二、网口通讯革命：重新定义工业数据交互的 “速度与智慧”1. 百兆级极速传输：毫秒级捕捉动态世界LTM3/LTM5 搭载的以太网接口支持 TCP/IP 协议，数据传输速率达 100Mbps，较传统 485 串口（115.2kbps）快 800 倍，比模拟信号（易受干扰、刷新率低）更实现质的飞跃：高频动态测量：LTM5-050 在锂电池极片涂布生产中，以 31.25kHz 超高速采样实时追踪极片厚度波动，网口同步输出微米级数据（重复精度 0.6μm），配合上位机软件实时绘制厚度曲线，异常波动响应时间＜1ms，确保涂布精度一致性提升 99%。多传感器组网：单台 PLC 可通过网口同时接入 100 + 台 LTM3 传感器，构建密集测量阵列（如汽车车身全尺寸扫描），数据吞吐量较 485 方案提升 50 倍，系统延迟降低至微秒级。2.&...
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基于非接触传感器的材料单双张检测方案

2023 - 09 - 30

引言：在搬送薄片材料时，准确辨别材料的单双张对于生产流程的顺利进行至关重要。即使材料的材质发生了变化，我们仍然可以利用非接触传感器实现稳定的检测。本文介绍了两种常用方式：激光位移传感器和超声波传感器，在机械搬运过程中通过测量材料的厚度来判断其单双张状态。主体：1. 激光位移传感器方案：（a）准备工作：安装两个激光位移传感器，使其形成对射式布置。在中间放置一张标准厚度的材料，并通过上位机软件进行校准设定。（b）测量与校准：激光位移传感器通过测量材料的厚度，获得距离总和，并与设定的固定差值进行比较。当机械搬运过程中出现误差导致厚度与之前的距离数据明显不同时，激光位移传感器将发出错误信号，指示材料为双张状态。2. 超声波传感器方案：（a）准备工作：使用对射式超声波传感器，并先安装一张标准材料来校准基准能量。（b）测量与判断：超声波传感器利用能量穿透原理，通过测量接收端收取到的能量来判断材料的状态。当材料为单张时，接收端将收到接近基准值的能量；而当材料为双张或多张时，接收端收到的能量明显小于标准值，此时超声波传感器将发出报警信号。3. 激光位移传感器方案的优势：- 高精度测量：激光位移传感器具有高精度，可以精确测量材料的厚度变化，从而能够准确判断材料的单双张状态。- 实时监测：传感器反应速度快，并可以实时检测材料的厚度变化，确保在搬运过程中能够及时发现错误信号并进行处理。- 非接触式：激光...

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蓝光光源激光位移传感器：优势、原理与特殊场景解决方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工业精密测量中，传统红光激光位移传感器常受高反射、半透明、高温红热等特殊场景限制，而蓝光光源（405nm 波长）凭借独特物理特性实现突破。以下通过 “一问一答” 形式，详解蓝光传感器的优势、原理构造，并结合泓川科技 LTP 系列定制方案，看其如何解决特殊环境测量难题。1. 蓝光光源激光位移传感器相比传统红光，核心优势是什么？蓝光传感器的核心优势源于 405nm 波长的物理特性，相比传统 655nm 左右的红光，主要体现在三方面：更高横向分辨率：根据瑞利判据，光学分辨率与波长成反比。蓝光波长仅为红光的 62%（405nm/655nm≈0.62），相同光学系统下横向分辨率可提升约 38%，能形成更小光斑（如泓川 LTP025 蓝光版光斑最小达 Φ18μm），适配芯片针脚、晶圆等微米级结构测量。更强信号稳定性：蓝光单光子能量达 3.06eV，远高于红光的 2.05eV。在低反射率材料（如橡胶、有机涂层）表面，能激发出更强散射信号；同时穿透性更低，仅在材料表层作用，避免内部折射干扰，适合表面精准测量。更优抗干扰能力：蓝光波段与红热辐射（500nm 以上）、户外强光（可见光为主）重叠度低，搭配专用滤光片后，可有效隔绝高温物体自发光、阳光直射等干扰，这是红光难以实现的。2. 蓝光激光位移传感器的原理构造是怎样的？为何能实现高精度测量？蓝光传感器的高精度的核心是 “光学设计 + 信号处理 + ...

泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览 2025 - 09 - 05 高精度测量传感器全系列：赋能精密制造，适配多元检测需求聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点，我们推出全系列高性能测量传感器，覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景，以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心，为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍：1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器：半导体材料测厚专属核心用途：专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料设计，精准实现晶圆等器件的厚度测量。性能优点：精度卓越：±0.1μm 线性精度 + 2nm 重复精度，确保测量数据稳定可靠；量程适配：覆盖 10μm2mm 测厚范围，满足多数半导体材料检测需求；高效高速：40kHz 采样速度，快速捕捉厚度数据，适配在线检测节奏；灵活适配：宽范围工作距离设计，可灵活匹配不同规格的检测设备与场景。2. 分体式对焦传感器：半导体 / 面板缺陷检测的 “高速对焦助手”核心用途：针对半导体、面板领域的高精度缺陷检测场景，提供高速实时对焦支持，尤其适配显微对焦类检测设备。性能优点：对焦速度快：50kHz 高速对焦，同步匹配缺陷检测的实时性需求；对焦精度高：0.5μm 对焦精度，保障缺陷成像清晰、检测无偏差；设计灵活：分体式结构，可根据检测设备的安装空间与布局灵活调整，降低适配难度。3. LT-R 反射膜厚仪：极薄膜厚检测的 “精密管家”核心用途：专注于极薄膜...

多方面研究泓川科技LTP系列大量程全国产激光位移传感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移传感器产品技术报告尊敬的客户：感谢您对泓川科技激光位移传感器产品的关注与信任。为帮助您全面了解我司产品，现将激光位移传感器相关技术信息从参数指标、设计原理、结构设计等八大核心维度进行详细说明，为您的选型、使用及维护提供专业参考。一、参数指标我司激光位移传感器涵盖 LTP400 系列与 LTP450 系列，各型号核心参数经纳米级高精度激光干涉仪标定验证，确保数据精准可靠，具体参数如下表所示：表 1：LTP400EA参数表参数类别具体参数LTP400EA备注基础测量参数测量中心距离400mm以量程中心位置计算（*1）量程200mm-重复精度（静态）3μm测量标准白色陶瓷样件，50kHz 无平均，取 65536 组数据均方根偏差（*2）线性度±0.03%F.S.（F.S.=200mm）采用纳米级激光干涉仪标定（*3）光源与光斑光源类型-激光功率可定制，部分型号提供 405nm 蓝光版本（*4）光束直径聚焦点光斑 Φ300μm中心位置直径，两端相对变大（*5）电气参数电源电压DC9-36V-功耗约 2.5W-短路保护反向连接保护、过电流保护-输出与通信模拟量输出（选配）电压：0-5V/010V/-1010V；电流：420mA探头可独立提供电压、电流与 RS485 输出（*6）通讯接口RS485 串口、TCP/IP 网口可选配模拟电压 / 电流输出模块（*7）响应...

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