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激光位移传感器HC26系列可替代OPTEX奥泰斯CD33系列
微型数显的激光位移传感器HC16系列可替代OPTEX奥泰斯CD22系列
经济型国产激光位移传感器HC-Q系列可替代Panasonic松下HG-C系列
双张检测超声波传感器针对纸张、纸板箱、金属双层粘合检测HUA系列
高速高精度激光位移传感器LTP系列 可替代keyence基恩士LK-G系列
光谱共焦位移传感器/同轴光位移传感器LT-C系列 可替代基恩士CL-3000系列
激光测振传感器测量超声手术刀及换能器振动频率
光纤式激光多普勒测振仪
高精度便携式激光测振仪
带可见红色指引光的5Mhz高频激光测振传感器
手持式激光多普勒振动分析仪
6米大测量距离超声波测距传感器HU6000系列
4米大测量范围超声波测距传感器HU4000系列
2米测量距离超声波测距传感器HU2000系列
1米测量距离超声波测距传感器HU1000系列
500mm测量距离超声波测距传感器HU500系列
300mm测量距离超声波测距传感器HU300系列
不锈钢+PTFE外壳,耐腐蚀超声波测距传感器UCC系列
高精度短距离超声波测距传感器HU120/HU200系列
国产4K响应频率的激光位移传感器HCM系列
带RS485通讯的经济型激光位移传感器HC6系列
光谱共焦探头LTC400 测量范围10±0.2mm,线性精度0.12um
光谱共焦位移传感器LTC1200探头 测量范围20±0.6mm,线性误差0.3um
Φ8mm微型光谱共焦探头LTC3000 测量范围7±1.5mm,线性误差0.6um
光谱共焦位移探头LTC4000F 测量范围38±2mm,线性误差0.8um
光谱共焦位移探头LTC4000N 测量范围14.5±2mm,线性误差0.8um
光谱共焦位移探头LTC6000,测量范围40±3mm,线性误差1.2um
光谱共焦位移探头LTC7000 测量范围45±3.5mm,线性误差1.4um
10mm大量程光谱共焦位移探头LTC10000 测量范围50±5mm,线性误差2um
侧出光光谱共焦探头LTCR1500 测量范围5.75±0.75mm,线性误差0.3um
侧出光光谱共焦探头LTCR1500N 测量范围3±0.75mm,线性误差0.3um
显微激光测振仪
3D闪测传感器HPS-DBL60
3D线光谱共焦传感器HPS-LCX1000同轴光设计实现无盲区检测
小量程高精度3D线光谱共焦传感器HPS-LCF1000
中量程3D线光谱共焦传感器HPS-LCF2000
大量程3D线光谱共焦传感器HPS-LCF3000
3D视觉控制器
光谱干涉_白光干涉_膜厚测量_纳米膜厚测量 白光干涉测厚传感器LT-ITS系列
光谱共焦传感器探头LTC600,范围6.5±0.3mm,线性误差0.18um
1nm重复精度的白光干涉测厚仪LTS系列,可测厚度范围1-100um
光谱共焦传感器探头LTC2600,范围15±1.3mm,线性误差0.3um
超大角度光谱共焦探头LTC2400 测量范围9±1.2mm,测量角度60°
大量程光谱共焦位移探头LTC16000 测量范围55±8mm,线性误差2um
大量程光谱共焦位移探头LTC20000 测量范围55±10mm,线性误差2um
长距离光谱共焦位移探头LTC50000,测量范围100±25mm,线性误差5um
纳米级分辨率超高精度激光干涉测距仪
超高速相机/摄像机SH6系列
高速高清相机/高速高清相机摄像机SH6-2、SH6-5系列
超高清摄像机SH6-21系列具备210Gbps的有效带宽
精灵系列高速摄像机SH2-2系列 体积小巧性能强悍
Mini系列高速摄像机SH3-1系列
单通道光谱共焦控制器LT-CCS
双通道光谱共焦控制器LT-CCD
四通道光谱共焦控制器LT-CCF
8/12/16通道高速光谱共焦控制器LT-CCH
光谱共焦探头LTC100 测量范围8±0.05mm,线性精度0.03um
光谱共焦探头LTC2000测量范围50±1mm,线性精度0.6um
光谱共焦探头LTC7000L,测量范围47±3.5,线性精度1.4um
长距离光谱共焦探头LTC7000S,测量范围70±3.5mm,线性精度1.4um
侧面出光的光谱共焦探头LTCR4000,量程2mm,线性精度1.2um
侧面出光大量程光谱共焦传感器LTCR5000,量程5mm,线性精度2um
投受光分离型高精度激光位移传感器LTPD08
投受光分离型高精度激光位移传感器LTPD15
投受光分离型高精度激光位移传感器LTPD50
0.5um超高精度的激光位移传感器LTP025
可替代基恩士的LK-H系列激光位移传感器LTP030
160Khz采样频率的高速激光位移传感器LTP080
实现全零件国产化的高精度激光位移传感器LTP070
带网口通讯可连接上位机软件的高精度激光位移传感器LTP150
200mm量程的高精度高速激光位移传感器LTP400
可抗强光适用于户外的大量程高精度激光位移传感器LTP450
1米大量程,测量精度可达0.5mm的激光三角位移传感器LTP1000
2米超大量程 高精度高速激光位移传感器LTP1500
2D/3D线激光轮廓仪HL-8020,Z轴(高度) 26.6±3.2mm X轴(宽度) 13mm
2D/3D线激光轮廓仪HL-8040,Z轴(高度) 38±4.4mm X轴(宽度) 16mm
2D/3D线激光轮廓仪HL-8060,Z轴(高度) 62±11mm X轴(宽度) 32mm
2D/3D线激光轮廓仪HL-8080,Z轴(高度) 76.5±28.5mm X轴(宽度) 77mm
2D/3D线激光轮廓仪HL-8200,Z轴(高度) 248±58mm X轴(宽度) 105mm
2D/3D线激光轮廓仪HL-8400,Z轴(高度) 370-118/+350mm X轴(宽度) 239mm
2D/3D线激光轮廓仪HL-8900,Z轴(高度) 930±471mm X轴(宽度) 556mm
激光轮廓仪控制器HL-8000
汽车零件内孔内管壁缺陷激光检测系统
LTM-030激光位移10mm量程5um线性精度,0.25um重复精度,50Khz响应速度
LTM-050激光位移20mm量程10um线性精度,0.4um重复精度,50Khz响应速度
LTM-085激光位移40mm量程40um线性精度,0.8um重复精度,50Khz响应速度
LTM-150激光位移150mm量程150um线性精度,2um重复精度,50Khz响应速度
LTM-250激光位移300mm量程300um线性精度,10um重复精度,50Khz响应速度
LTM-400激光位移400mm量程400um线性精度,15um重复精度,50Khz响应速度
LTM-800激光位移1000mm量程100um线性精度,45um重复精度,50Khz响应速度
0.05nm超高重复精度的白光干涉测厚仪LT-R系列,最薄可测厚度20nm。
单通道高速32Khz光谱共焦控制器LT-CPS
双通道高速16Khz光谱共焦控制器LT-CPD
四通道高速光谱共焦控制器LT-CPF
3.8mm直径探针型光谱共焦传感器探头LTCR1500NZ
8mm直径微型光谱共焦传感器LTCR1500NZ 轴向出光
小体积大量程,8mm测量范围光谱共焦传感器LTC8000
小体积大量程,尾部短化设计光谱共焦传感器LTC8000W
可耐200度高温环境的光谱共焦传感器LTC2600H,重复精度30nm
可耐200℃高温环境的光谱共焦传感器LTC10000H,量程10mm,精度0.2um
20mm大量程耐高温200摄氏度光谱共焦传感器LTC20000H
可替代基恩士LK-H025的国产激光位移传感器LTP020
纳米级精度可测位移&厚度的LTS-I系列红外干涉传感器
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专业从事激光位移传感器,激光焊缝跟踪系统研发及销售的科技公司
中国 · 无锡 · 总部地址:无锡新吴区天山路6号
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1
突破精度极限:LTC100光谱共焦位移传感器——国产高精度测量的新标杆30nm精度
2024
-
11
-
20
在当今精密制造与检测领域,对微小尺寸变化的精确测量需求日益增长。特别是在半导体制造、微纳加工、光学元件检测等高端应用中,对测量误差的严格要求往往达到纳米级。面对这一挑战,国内自主研发的LTC100光谱共焦位移传感器以其卓越的性能脱颖而出,不仅实现了30nm以下的测量误差,还保证了光斑直径小于2μm,为高精度测量领域树立了新的国产标杆。技术亮点:超高精度测量:LTC100采用先进的光谱共焦技术,通过精确控制光源发射的多波长光束与被测物体表面反射光之间的干涉现象,实现位移的高精度测量。其核心算法通过复杂的光谱分析与相位解调技术,有效消除了环境干扰和系统误差,确保测量误差稳定控制在30nm以下。微小光斑设计:传感器内置的精密光学系统采用高数值孔径物镜,结合优化的光束整形技术,实现了小于2μm的光斑直径,使得在微小结构或特征上的测量成为可能,显著提高了测量的空间分辨率。测试数据与算法公式:LTC100的性能验证基于严格的实验室测试与现场应用反馈。以下为其关键测试数据:线性度:在0-10mm测量范围内,线性偏差小于±5nm,确保测量的稳定性和可靠性。重复性:连续测量同一位置100次,标准差小于10nm,证明其高重复性和一致性。分辨率:理论上可达0.1nm,实际测量中受环境因素影响,但依旧保持在1nm左右,远超行业平均水平。核心算法公式简述如下:d=2λ0⋅2πΔϕ其中,d为被测位移...
2
泓川科技 LTP 系列激光位移传感器全国产化制造流程细节全披露
2025
-
06
-
22
一、国产化背景与战略意义在全球供应链竞争加剧的背景下,激光位移传感器作为工业自动化核心测量部件,其国产化生产对打破技术垄断、保障产业链安全具有重要战略意义。泓川科技 LTP 系列依托国内完整的光学、电子、机械产业链体系,实现了从核心零部件到整机制造的全流程国产化,彻底解决了接口卡脖子问题,产品精度与稳定性达到国际先进水平,同时具备更强的成本竞争力与定制化服务能力。二、核心部件全国产化组成体系(一)光学系统组件激光发射单元激光二极管:采用深圳镭尔特光电 655nm 红光 PLD650 系列(功率 0.5-4.9mW)及埃赛力达 905nm 红外三腔脉冲激光二极管,支持准直快轴压缩技术,波长稳定性 ±0.1nm,满足工业级高稳定性需求。准直透镜:选用杭州秋籁科技 KEWLAB CL-UV 系列,表面粗糙度 光学滤光片:深圳激埃特光电定制窄带滤光片,红外截止率 99.9%,有效消除环境光干扰。激光接收单元光电探测器:上海欧光电子代理 OTRON 品牌 PSD 位置敏感探测器,分辨率达 0.03μm(如 LTPD08 型号),北京中教金源量子点探测器正在实现自主替代。聚焦透镜组:福州合创光电高精度分光棱镜,偏振消光比 1000:1,配合广州明毅电子阳极氧化支架,确保光路同轴度≤5μm。(二)电子电路组件信号处理模块微处理器:龙芯中科 3A5000 工业级芯片,支持 - 40℃...
3
基于非接触传感器的材料单双张检测方案
2023
-
09
-
30
引言:在搬送薄片材料时,准确辨别材料的单双张对于生产流程的顺利进行至关重要。即使材料的材质发生了变化,我们仍然可以利用非接触传感器实现稳定的检测。本文介绍了两种常用方式:激光位移传感器和超声波传感器,在机械搬运过程中通过测量材料的厚度来判断其单双张状态。主体:1. 激光位移传感器方案:(a)准备工作:安装两个激光位移传感器,使其形成对射式布置。在中间放置一张标准厚度的材料,并通过上位机软件进行校准设定。(b)测量与校准:激光位移传感器通过测量材料的厚度,获得距离总和,并与设定的固定差值进行比较。当机械搬运过程中出现误差导致厚度与之前的距离数据明显不同时,激光位移传感器将发出错误信号,指示材料为双张状态。2. 超声波传感器方案:(a)准备工作:使用对射式超声波传感器,并先安装一张标准材料来校准基准能量。(b)测量与判断:超声波传感器利用能量穿透原理,通过测量接收端收取到的能量来判断材料的状态。当材料为单张时,接收端将收到接近基准值的能量;而当材料为双张或多张时,接收端收到的能量明显小于标准值,此时超声波传感器将发出报警信号。3. 激光位移传感器方案的优势:- 高精度测量:激光位移传感器具有高精度,可以精确测量材料的厚度变化,从而能够准确判断材料的单双张状态。- 实时监测:传感器反应速度快,并可以实时检测材料的厚度变化,确保在搬运过程中能够及时发现错误信号并进行处理。- 非接触式:激光...
4
光谱共焦位移传感器的那些事儿
2024
-
12
-
22
引言光谱共焦传感器凭借非接触、高精度、高效率等优势,成为几何量精密测量的前沿技术。本文将从原理到应用,系统解析这一技术的核心价值与发展趋势。一、核心工作原理:当光波成为标尺1.1 光波与位移的精准映射通过色散物镜将宽光谱光源分解为不同波长的光,各波长光在轴向形成阶梯状焦点阵列。当物体表面反射特定波长时,光谱仪捕捉该波长,通过预设的波长-位移对应模型实现亚微米级定位。1.2 关键技术突破轴向色散线性度:通过组合SKIO、H-ZLAF52A等特殊玻璃材料,实现波长与位移判定系数R²0.97的线性关系衍射极限优化:ZEMAX仿真优化后,焦点RMS半径低至1.552μm(文献案例)抗干扰设计:棱镜-光栅分光技术消除谱线弯曲,提升检测稳定性二、核心组件架构组件功能特性技术指标案例宽光谱光源覆盖450-700nm波段色散范围达3.9mm(超大量程型号)色散物镜正负透镜组分离结构2mm量程下数值孔径0.3,FWHM光谱检测仪高速CCD/CMOS传感器线扫描速率达24mm/s,分辨率0.8μm三、扫描方式演进3.1 点扫描(传统方案)优势:单点精度达纳米级局限:10mm线长扫描耗时分钟级,数据重构复杂3.2 线扫描(革新方案)效率提升:单次扫描覆盖24mm线长,较点扫描提速300%工业适配:3mm轴向量程满足多数工业件检测需求四、应用场景全景图4.1 当前主流应用微观检测:半导体晶圆表面...
5
有没有量程1米,测量精度误差1mm的国产激光位移传感器,频率5Khz以上?
2025
-
06
-
19
有!LTM 系列三款国产激光位移传感器满足需求在工业检测领域,量程 1 米、精度误差 1mm、频率 5KHz 以上的激光位移传感器是高端测量的刚需,而国产传感器常因精度或频率不足被进口品牌垄断。无锡泓川科技的 LTM2-800W、LTM3-800W、LTM5-800W 三款产品,不仅全面覆盖上述指标,更以进口品牌一半的成本优势,成为国产替代的优选方案。以下从性能参数、优劣分析、场景适配及成本对比展开详细介绍。一、核心性能参数对比型号LTM2-800WLTM3-800WLTM5-800W参考距离800mm800mm800mm测量范围±500mm(总量程 1000mm)±500mm(总量程 1000mm)±500mm(总量程 1000mm)光斑尺寸450×6000μm450×6000μm450×6000μm重复精度45μm45μm45μm线性误差采样频率5KHz10KHz31.25KHz工业接口485 串口 / 模拟信号(二选一)以太网 / 485 串口 / 模拟信号以太网 / 485 串口 / 模拟信号光源660nm,Max.50mW660nm,Max.50mW660nm,Max.50mW防护等级IP67IP67IP67工作温度0~+50℃0~+50℃0~+50℃功耗约 2.0W约 2.0W约 2.0W二、产品优势分析(一)...
6
光谱共焦传感器在IC芯片测量领域的应用剖析(上)
2025
-
01
-
20
一、引言1.1 研究背景与意义在当今数字化时代,IC 芯片作为现代电子设备的核心部件,其重要性不言而喻。从智能手机、电脑到汽车电子、工业控制,乃至新兴的人工智能、物联网等领域,IC 芯片无处不在,如同电子设备的 “大脑”,掌控着设备的运行与功能实现。其发展水平不仅是衡量一个国家科技实力的重要标志,更在全球经济竞争中占据着关键地位。近年来,IC 芯片产业呈现出蓬勃发展的态势。随着摩尔定律的持续推进,芯片的集成度不断提高,尺寸愈发微小,性能却实现了质的飞跃。与此同时,5G、人工智能、大数据等新兴技术的迅猛发展,为 IC 芯片产业注入了强大的发展动力,市场对芯片的需求呈现出爆发式增长。在 IC 芯片制造的复杂流程中,精确测量起着举足轻重的作用,如同工匠手中精准的量具,确保每一个环节都达到极高的精度标准。从芯片设计阶段的版图测量,到制造过程中的光刻、蚀刻、沉积等工艺的尺寸控制,再到封装测试阶段对芯片外形、引脚等的精确测量,每一步都离不开高精度测量技术的支撑。只有通过精确测量,才能保证芯片的性能、良率以及可靠性,满足市场对高质量芯片的严苛要求。光谱共焦传感器作为一种先进的测量技术,凭借其独特的工作原理和卓越的性能优势,在 IC 芯片测量领域展现出了巨大的潜力。它能够实现对芯片表面形貌、厚度、尺寸等参数的高精度非接触测量,为芯片制造提供了可靠的数据支持。这种高精度测量对于提高芯片制造工艺的精度...
7
泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览
2025
-
09
-
05
高精度测量传感器全系列:赋能精密制造,适配多元检测需求聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点,我们推出全系列高性能测量传感器,覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景,以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心,为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍:1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器:半导体材料测厚专属核心用途:专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料设计,精准实现晶圆等器件的厚度测量。性能优点:精度卓越:±0.1μm 线性精度 + 2nm 重复精度,确保测量数据稳定可靠;量程适配:覆盖 10μm2mm 测厚范围,满足多数半导体材料检测需求;高效高速:40kHz 采样速度,快速捕捉厚度数据,适配在线检测节奏;灵活适配:宽范围工作距离设计,可灵活匹配不同规格的检测设备与场景。2. 分体式对焦传感器:半导体 / 面板缺陷检测的 “高速对焦助手”核心用途:针对半导体、面板领域的高精度缺陷检测场景,提供高速实时对焦支持,尤其适配显微对焦类检测设备。性能优点:对焦速度快:50kHz 高速对焦,同步匹配缺陷检测的实时性需求;对焦精度高:0.5μm 对焦精度,保障缺陷成像清晰、检测无偏差;设计灵活:分体式结构,可根据检测设备的安装空间与布局灵活调整,降低适配难度。3. LT-R 反射膜厚仪:极薄膜厚检测的 “精密管家”核心用途:专注于极薄膜...
8
激光位移传感器在汽车行业各种应用案例
2023
-
02
-
20
1、激光位移传感器在轮胎转速测量中有重要作用。通常,一台汽车的轮胎都包含有激光位移传感器,它可以准确地测量出车轮的输出速度。该传感器利用轮胎上绕着水平或垂直线的激光点来测量轮胎行驶距离和变速器输出转速,从而确定变速比。此外,它还能准确地测量车轮上的前后运动,特别是对于汽车行驶的直线行驶和转弯的控制都有着重要的作用。2、激光位移传感器在防撞技术中也得到了广泛应用。它通常会被安装在前脸和侧面,通过测量前脸物体和周围物体的距离来调整外防撞车身和限速 门控驾驶,从而有效地防止汽车发生碰撞,保护汽车行驶的安全。 3、激光位移传感器在停车技术中也得到了广泛应用。它不仅可以测量汽车行驶距离、角度和速度,还可以准确地记录汽车在停车时的位置,并在遇到障 害的情况下立即触发保护电路或自动脱离,从而避免发生碰撞事故。 4、激光位移传感器也被广泛用于汽车行驶辅助系统中,它可以准确地测量出汽车行驶距离、方向及车速, 为汽车驾驶员提供实时信息,以增加驾驶操控质量,帮助驾驶员进行准确的行驶安排和调整。 5、激光位移传感器也在汽车悬挂系统中得到应用,它可以测量每个车轮的距离及方向,并建立一个三维的实时图像 。这种三维的实时图像可以非常准确地反映出汽车悬挂系统的表现,从而使汽车行驶的平稳性和操控性都大大提高。6、激光位移传感器还可用于汽车智能辅助驾驶系统中, 这种系统结合了导航、安全显...
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蓝光光源激光位移传感器:优势、原理与特殊场景解决方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制...
2025
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10
-
21
在工业精密测量中,传统红光激光位移传感器常受高反射、半透明、高温红热等特殊场景限制,而蓝光光源(405nm 波长)凭借独特物理特性实现突破。以下通过 “一问一答” 形式,详解蓝光传感器的优势、原理构造,并结合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解决特殊环境测量难题。1. 蓝光光源激光位移传感器相比传统红光,核心优势是什么?蓝光传感器的核心优势源于 405nm 波长的物理特性,相比传统 655nm 左右的红光,主要体现在三方面:更高横向分辨率:根据瑞利判据,光学分辨率与波长成反比。蓝光波长仅为红光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光学系统下横向分辨率可提升约 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 蓝光版光斑最小达 Φ18μm),适配芯片针脚、晶圆等微米级结构测量。更强信号稳定性:蓝光单光子能量达 3.06eV,远高于红光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡胶、有机涂层)表面,能激发出更强散射信号;同时穿透性更低,仅在材料表层作用,避免内部折射干扰,适合表面精准测量。更优抗干扰能力:蓝光波段与红热辐射(500nm 以上)、户外强光(可见光为主)重叠度低,搭配专用滤光片后,可有效隔绝高温物体自发光、阳光直射等干扰,这是红光难以实现的。2. 蓝光激光位移传感器的原理构造是怎样的?为何能实现高精度测量?蓝光传感器的高精度的核心是 “光学设计 + 信号处理 + ...
泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览
2025
-
09
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05
高精度测量传感器全系列:赋能精密制造,适配多元检测需求聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点,我们推出全系列高性能测量传感器,覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景,以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心,为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍:1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器:半导体材料测厚专属核心用途:专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料设计,精准实现晶圆等器件的厚度测量。性能优点:精度卓越:±0.1μm 线性精度 + 2nm 重复精度,确保测量数据稳定可靠;量程适配:覆盖 10μm2mm 测厚范围,满足多数半导体材料检测需求;高效高速:40kHz 采样速度,快速捕捉厚度数据,适配在线检测节奏;灵活适配:宽范围工作距离设计,可灵活匹配不同规格的检测设备与场景。2. 分体式对焦传感器:半导体 / 面板缺陷检测的 “高速对焦助手”核心用途:针对半导体、面板领域的高精度缺陷检测场景,提供高速实时对焦支持,尤其适配显微对焦类检测设备。性能优点:对焦速度快:50kHz 高速对焦,同步匹配缺陷检测的实时性需求;对焦精度高:0.5μm 对焦精度,保障缺陷成像清晰、检测无偏差;设计灵活:分体式结构,可根据检测设备的安装空间与布局灵活调整,降低适配难度。3. LT-R 反射膜厚仪:极薄膜厚检测的 “精密管家”核心用途:专注于极薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全国产激光位移传感器
2025
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09
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泓川科技激光位移传感器产品技术报告尊敬的客户: 感谢您对泓川科技激光位移传感器产品的关注与信任。为帮助您全面了解我司产品,现将激光位移传感器相关技术信息从参数指标、设计原理、结构设计等八大核心维度进行详细说明,为您的选型、使用及维护提供专业参考。一、参数指标我司激光位移传感器涵盖 LTP400 系列与 LTP450 系列,各型号核心参数经纳米级高精度激光干涉仪标定验证,确保数据精准可靠,具体参数如下表所示:表 1:LTP400EA参数表参数类别具体参数LTP400EA备注基础测量参数测量中心距离400mm以量程中心位置计算(*1)量程200mm-重复精度(静态)3μm测量标准白色陶瓷样件,50kHz 无平均,取 65536 组数据均方根偏差(*2)线性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用纳米级激光干涉仪标定(*3)光源与光斑光源类型-激光功率可定制,部分型号提供 405nm 蓝光版本(*4)光束直径聚焦点光斑 Φ300μm中心位置直径,两端相对变大(*5)电气参数电源电压DC9-36V-功耗约 2.5W-短路保护反向连接保护、过电流保护-输出与通信模拟量输出(选配)电压:0-5V/010V/-1010V;电流:420mA探头可独立提供电压、电流与 RS485 输出(*6)通讯接口RS485 串口、TCP/IP 网口可选配模拟电压 / 电流输出模块(*7)响应...
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